Способ изготовления сеткотрафаретов Советский патент 1981 года по МПК G03F1/02 

(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СЕТКОТРАФАРЕТОВ

1

Изобретение относится к фотомеха нической репродукции печатных форм, а именно к технологии изготовления сеткотрафаретов для нанесения рисунка печатных проводников на печатных платах, либо подложках интегральных схем,

Известны способы изготовления сеткотрафаретов, включающие закрепление металлической сетки в жесткой рамке, покрытие сетки светочувствительной эмульсией, экспонирование ;эмульсии через фотошаблон, проявление, В процессе проявления эмульсия на прозрачных участках удаляется, а оставшаяся на сетке эмульсия образует маску соответствующей топологии 1 .

Основным недостатком известного способа является недолговечность сеткотрафарета.

С целью повышения тиражестойкости сеткотрафаретов после проявления на .непрозрачных участках сеткотрафарета удаляют светочувствительную эмульсию, затем на эти участки гальванически наносят металлическое покрытие до полного зараутания ячеек сетки и удаляют

светочувствительную эмульсию с остальных участков сетки.

Для нанесения защитной краски на фольгированную поверхность, например, гетинаксовой подложки используется сеткотрафарет, изготовленный следующим образом.

На алюминиевую рамку размером 200x400 мм натягивают медную сетку

0 с размером ячейки 40 мкм. На сетку наносят негативный фоторезист, например ФН-11. После экспонирования и проявления на непрозрачных участках сеткотрафарета в ячей5ках оставляют фотс5чувствительную эмульсию-фоторезист , который после проявления задубливают. Через такой сеткотрафарет наносят отпечатки краски (цинковые белила) на

0 заготовки печатных плат. При этом сеткотрафареты выдерживают, как правило, 400-1000 отпечатков, после чего приходят в негодность из-за выхода из строя маски (отслоение: 5 фоточувствительной эмульсии), появление отверстий на маскируемых участках, невозможность отмыть от краски прозрачные участки в виду ограниченной номенклатуры возможных

0 растворителей,

При изготовлении сеткотрафарета с помощью переноса фоточувствительного слоя на сетку с пигментной бумаги- сеткотрафарет также выдерживаю примерно 400-1000 отпечатков.

При нанесении металлиэационных паст, в состав которых входят порошки металлов, из-за повышенного износа сет1сотрафарет позволяет нанесение не более 800 отпечатков. После трех месяцев хранения сеткотрафарета, даже без эксплуатации, сеткотрафарет оказывается не пригодным к использованию. Сеткотрафарет был изготовлен и опробован для нанесения и краски на заготовки печатных плат и молибдено-марганцевой металлизационной пасты на керамические заготовки.

Сеткотрафарет был изготовлен следующим образом,

На алюминиевую рамку размером 200x400 мм натянули медную сетку с размером ячейки 40 мкм. На сетку нанесли негативный фоторезист ФН-11 После экспонирования и проявления на непрозрачных участках сеткотрафарета фоточувствительную эмульсию удалили, обнажив сетку. На обнаженные участки сетки гальванически осадили медь до полного зарастания ячеек сетки металлом. Толщина покрытия составила при этом 20x35 мкм Затем в трихлорэтилене были удалены остатки задубленного фоторезиста, в результате чего были вскрыты прозрачные участки сеткотрафарета.

Изготовленный таким образом сеткотрафарет -позволил сделать более 4-х тысяч отпечатков краской на заготовках печатных плат. При нанесении молибдено-марганцевой металлизации на керамические заготовки сеткотрафарет выдерживает не менее-1,5 тысяч отпечатков, Сетко трафарет не изменил своего качества после периодической эксплуатации в течение полугода..

Внедрение изобретения позволит существенно повысить арок службы и тиражестойкость сеткотрафаретов, используемых в производстве пе чатных плат и при изготовлении изделий с помощью толстопленочной технологии, что позволит в производствах, связанных с сеткографическими. процессами/ использовать в 2-10 раз меньшее количество сеткотрафаретов, изготовление которых отличается сложностью и трудоемкость

Формула изобретения

Способ изготовления сеткотрафаретов, включающий закрепление металлической сетки в жесткой рамке,покрыти сетки светочувствительной эмульсией, экспонирование эмульсии через фотошаблон, проявление, о т л и ч а ющ и и с я тем, что, с целью повышения тиражестойкости сеткотрафаретов, после проявления на непрозрачных участках сеткотрафарета удаляют светочувствительную эмульсию, затем на эти участки гальванически наносят металлическое покрытие до полного зарастания ячеек сетки и удаляют светочувствительную эмульсию с остальных участков сетки.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

Мир

1975,

интегральных схем, о, 136.