Способ нанесения ниобия на подложку звукопровода Советский патент 1981 года по МПК H04R23/00 

(54) СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ НИОБИЯ НА ПОДЛОЖКУ ЗВУКОПРОВОДА

, Изобретение относится к электрической связи, а именно к способам нанесения ниобия на подложку звукопровода. Известен способ нанесения ниобия На подложку звукопровода путем конденсации ниобия на подложку звукопровода в парах реагента ниобия в реакцион1 ом объеме. Способ обеспечивает относительную простоту процесса нанесения ниобия на подложку звукопровода С 1 Недостаток известного способа состоит в том, что он не позволяет обеспечить достаточно высокую скорость процесса нанесения ниобия на подложку звукопровода. Известен также спбсоб ншхебеняя ниобия на подложку звукопровода путем конденсации ниобия на подложку звукопрово- да в парах реагента ниобия в реакционном объеме, которые облучают ультрафиолетовым активирующим излучением. Этот способ обеспечивает относительно высокую СКОРОСТЬ процесса нанесения ниобия на подложку звукопровода С ЗНедостаток способа состоит-в том, что он не позволяет обеспечить простоту полу- чения заданной степени дисперсности нио- бия вдоль подложки звукопровода. Цель изобретения - упрсяцение получения заданной степени дисперсности ниобия вдоль подложки звукопровода. Цель достигается тем, что при конденсации производят нанесение островков ниобия на подложку звукопровода формированнем в парах реагента ниобия ламинарного потока со скоростью расхода O,Ot-O,O4 л/мин и прекращение облучения ультрафиолетовым активирующим излучением в мо мент срастания островков ниобия на подложке звукопровода с последующим формированием стоячей акустической волны в реакционном объеме, увеличением скоросш расхода ламинарного потока до О,О1-О,2О л/мин и возобновлением облучения паров реагента ниобия ультрафиолетовым актиВ1ФУЮЩИМ излучением. При этом облучение ультрафиолетовым активирующим излучением до момента срастания островков HH« обия производят с параболически нарастан ей интенсивное гью в направлении движ ния ламинарного потока, а после момента срастания островков ниобия - с гиперболи чески нарастаюшей интеньивностью в направлении движения ламинарного потока. Нанесение ниобия на подложку звукопровода согласно предложенному способу происходит следующим образом. Пары реагента ниобия в реакционном объеме облучают ультрафиолетовым актнви РУЮШИК4 излучением. Это сопровождается конденсацией ниобия на подложку звукопровода в парах реагента ниобия в реакционном объеме. При этом формированием в нарах реагента ниобия ламинарного пото ка со скоростью расхода О,01 или 0,04 л/мин производят нанесение островков ниобия на подложку звукопровода. В момент срастания островков ниобия на попложке звукопровода прекращают облучение ультрафиолетовым активирующим излучети&л и производят формирование стоячей акустической в реакционном объеме. Затем увеличивают скорость расхода ламинарного потока О,2О л/мин и возобновляют облучение паров реагента ниобия ультрафиолетовым активирующим излучением. При этом облучение ультрафиолетовым акпю1фующим излучением до момента срастания островков ниобия производят с параболически нарастающей инт«1сивностью в пределах 2О-5ОО лк в направлении движения ламинарного потока. Облучение ультрафиолетовым активирующим иапуч«ш« 1 после момента срастания островков в пределах 0,5,О клк в направлении движения ламинарного потока. Предпожоаный способ обеспечивает нанесение на подложку звукопровода слоя ниобия, степень дисперсности которого ли нейшэ возрастает вдоль нее. Использование изобретения позволяет в значительной степени упростить получе« 8 14 ние заданной степени дисперсности ниобия вдоль подложки звукопровода. Формула изобретения Способ нанесения ниобия на подложку звукопровода путем конденсации ниобия на подложку звукопровода в парах реагента ниобия в реакционном объеме, которые облучают ультрафиолетовым активирующим излучением, отличающийся тем, что, с целью упрощения получения заданной степени дисперсности ниобия вдоль подложки звукопровода, при конденсации производят нанесение островков ниобия на подложку авукопровода формированием в парах реагента ниобия ламинарного потока со скоростью расхода 0,010,04 л/мин и прекращение облучения ультрафиолетовым активирующим излучением в момент срастания островков ниобия на подложку звукопровода с последующим формирюванием стоячей акустической волны в реакционном объеме, увеличением скорости расхода ламинарного потока до - 0,2 О л/мин и возобновленное облучения паров реагента ниобия ультрафиолетовым актив1фующим излучением. При этом облучение ультрафиолетовым активирующим излучением до момента островков ниобия производят с параболически нарастающей интенсивностью в направлении движения ламинарного потока, а после момента сраста1шя островков ниобия - с гиперболически нарастающей интe tcквнocтью в направлении движения ламинарного потока. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе г. Патент США № 3755761, кл, 33370, 1973. 2. АРгорское свидетельство по заявке N 2562088/10, кл. Н О4 Р 23/ОО, 1977 (прототип).