Устройство для контроля микросхем Советский патент 1981 года по МПК H01C17/00 H05K13/08 

Изобретение относится к технологическому оборудованию электронной промыишенности и предназначено для зондового контроля электрических параметров .результатов и конденсаторов микросхем. Известно устройство для зондовых и измерений неразрезанной подложке дина мических параметров интегральных схем, содержащая оптическую систему, предметный столик, механизм крепления зондовых и маркировочных головок, механизм шаговых перемещений и манипу лятор. Оптическая система устройства пред ставляет собой стереоскопический ми кроскоп, используемый для визуального контроля установки токопроводящих зондовых головок на контактные площадки микросхем. Для зо1адовых изм рений к устройству подключен автоматический прибор контроля динамически параметров интегральной схемы D. Недостатком, этого устройства является невозможность использовать его в производственном цигсле, для контроля отдельных плат интегральных схем и для контроля гибридных интегральных схем с дискретными пассивными и активными компонентами. Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является устройство для контроля и подготовки величины сопротивления тонкопленочных резисторов, содержащее стереоскопический микроскоп, предметный столик, зондовую головку с одной парой зондов и контрольно-измерительный прибор. Контрольно-измерительный прибор этого устройства представляет собой цифровой вольтметр, при помощи индикатора которого визуально считываются величины сопротивлений. Стерео., скопический микроскоп использован для визуального контроля установки зондов и для микростереоскопических исследований Г23. 3 Недостатком известного устройства является то, что затруднено наблюден микросхемы через микроскоп и одновре менный визуапыадй контроль величины сопротивления контролируемого резист ра этой микросхем по индикатору кон трольно-измерительного прибора, так как индикатор и окуляры микроскопа не находятся в поле зрения одновреме но, что не обеспечивает необходимых эксплуатационных удобств. Цель изобретения - повьппение производительности. Эта цель достигается тем, что устройство для контроля микросхем, содержащее зондовую головку, стереоско пический микроскоп, предметный столи и контрольно-измерительный прибор с индикатором, снабжено проекционным и поворотным зеркалами и линзовой си темой, причем проекционное зеркало размещено под углом в поле зрения микроскопа, а поворотное зеркало на оптическ;ой оси проекционного зеркала, линзовой системы и индикатора контрольно-измерительного прибора. На фиг. 1 изображена схема предла гаемого устройства; на фиг. 2 - изображение в поле зрения микроскопа. Устройство для контроля содержит последовательно установленные и оптически связанные стереоскопический микроскоп 1 , проекг онное зеркало 2, поворотное зеркало 3, лин зовую систему 4, а также контрольноизмерительный прибор с индикатором 5, помещенным в поле зрения линзовой системы 4, и предметный столик 6 с зондовой головкой .7, на котором крепится контролируемая микросхема 8. .Микроскоп 1 состоит из штатива с головкой, скачкообразного переключателя увеличения, бинокулярной стереоскопической насадки и осветителя. Зондовая головка 7 состоит из двух токопроводящих зондов, выполненных в виде игольчатых щупов. Проекционное зеркало 2 находится под объективом (Микроскопа 1, занимает часть поля зрения микроскопа и расположено под углом к плоскости объектива. Поворотное зеркало 3 установлено на оптической оси проекционного зеркала 2, а линзовая система 4 расположена на одной оптической оси с пов ротным зеркалом 3 и индикатором 5, Вследствие переотражений от поворотного 3 и проекционного 2 зеркал 3 изображение индикатора 5 попадает в поле зрения микроскопа 1 , Одновременно в поле зрения микроскопа J на- . ходится предметный столик 6 с зондовой головкой 7, на котором расположена микросхема 8. Причем контрольно-измерительный прибор электрически соединен с зондовой головкой 7. Устройство работает следующим образом. Контролируемую микросхему 8 кладут на предметный столик 6. Устанавливают увеличение объектива микроскопа 1 и фокусируют его на микросхему. Затем при помощи регулирования положения отражающей поверхности проекционного 2 и поворотного 3 зеркал и линзовой системы 4 вводят в поле зрения микроскопа J изображение ингдикатора 5, контрольно-измерительного прибора 5. Для этого линзовой системой 4 проекцируют резкое изображение индикатора 5 контрольно-измерительного прибора на плоскость поворотного зеркала 3. Затем выполняют ввод спроекцированного на плоскость поворотного зеркала 3 изображения в плоскость проекционного зеркала 2, для чего измеряют угол повЪрота плоскости поворотного зеркала 3, Проекционным зеркалом 2 определяют площадь зоны наблюдения индикатора 5, для чего изменяют угол поворота зеркала 2, После ввода изображения дикатора 5 в поле зрения микроскопа Начинают контролировать электрические параметры элементов микросхемы с помощью зондовой головки 7. При этом в поле зрения микроскопа одновременно находятся изображения зондов на контактных площадках микросхемы и индикатора 5 контрольно-измерительного прибора с инфорйзацией о электрическом параметре контролируемого элемента микросхемы. Расположение проекционного зеркала под-объективом микроскопа не мешает качественно проводить микростереоскопическое исследование и контроль микросхемы, а возможность одновременного наблюдения в поле зрения микроскопа контролируемой микросхемы с установленными.зондами и изображения, индикатора повышает удобство обслуживания и производительность работы оператора. Формула изобретения Устройство для контроля микросхем содержащее зондовую головку, стереоскопический микроскоп, предметный столик и контрольно-измерительный прибор с индикатором, отличающееся тем, что, с целью повьшения прои одительности, оно снабжено проекционным и поворотным зеркалами и лин зоной системой, причем проекционное зеркало размещено под углом в поле зрения микроскопа, а поворотное зеркало - на оптической оси проекционкого зеркала, линзовой системы и индикатора контрольно-измерительного прибора.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1,Авторское свидетельство СССР №274232, кл. Н 01 L 21/66. 1969.

2. Электроника, 1967, № 23 с, 86 (прототип).

8 6