Адсорбционный высоковакуумный насос Советский патент 1981 года по МПК F04B37/02 

(54) АДСОРБЦИОННЫЙ ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ НАСОС

I

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен адсорбционный высоковакуумный насос, содержащий корпус и расположенную в нем криопанель с крупнопористым и мелкопористым адсорбентами 1J.

В известном насосе достигаемый вакуум зависит от начального давления в откачиваемом объекте. С увеличением начального давления в откачиваемом объекте уменьшается разрежение, которое может создать насос. Это связано с закупоркой входных отверстий микропор адсорбента и заполнением его пор среднего размера, т. е. насыш.ением при высоких начальных давлениях откачки.

Цель изобретения - повышение предельного вакуума.

Указанная цель достигается тем, что криопанель герметично закреплена на корпусе с образованием форвакуумной и высоковакуумной полостей, и крупнопористый адсорбент расположен в форвакуумной полости, а мелкодисперсный - в высоковакуумной.

На чертеже изображен предлагаемый насос.

Адсорбционный высоковакуумный насос содержит корпус 1 и расположенную в нем криопанель 2 с крупнопористым и мелкопористым адсорбентами 3 и 4. Криопанель 2 герметично закреплена на корпусе 1 с образованием форвакуумной и высоковакуумной полостей 5 и 6, и крупнопористый адсорбент 3 расположен в форвакуумной полости 5, а мелкопористый - в высоковакуумной полости 6.

Насос работает следующим образом.

После охлаждения криопанели 2 отка10чивают объект крупнопористым адсорбентом 3 от атмосферного давления до 10°-ь 10. Па. При этом вместе с воздухом в форвакуумную полость 5 переходят из объекта трудноадсорбируемые примеси воздуха: гелий, водорбд- и неон. Затем откачивают

15 объект до высокого вакуума мелкопористым адсорбентом 4.

Таким образом, описываемый насос позволяет откачивать объекты без предварительной откачки от атмосферного давления до 10-5 Па.

20

Формула изобретения .

Адсорбционный высоковакуумный насос, содержащий корпус и расположенную в нем

криопанель с крупнопористым и мелкопористым адсорбентом, отличающийся тем, что с целью повышения предельного вакуума, криопанель герметично закреплена на корпусе с образованием форвакуумной и высоковакуумной полостей, и крупнопористый адсорбент расположен в форвакуумной полости, а мелкопористый в высоковакуумной.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Арефьев А. В. и др. Сорбционный сверхвысоковакуумный насос с азотным охлаждением ССНА - 05. Приборы и техника эксперимента. М., «Наука 1968, № 3, с. 149-153.