Устройство для нанесения жидких покрытий в электростатическом поле Советский патент 1981 года по МПК H05K3/28 C03C17/22 B05B5/00 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ЖИДКИХ ПОКРЫТИЙ В ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОМ ПОЛЕ

Изобретение относится к электронно технике, в частности к устройствам дл нанесения слоя покрытий на заготовки печатных плат, на полупроводниковые пластины при производстве интегральных схем и масок тонкопленочной техники, а также при нанесении тонких изоляционных покрытий. Известно устройство для нанесения эмульсий и лаков в электростатическом поле, содержащее распьшитель, соединенный посредством трубопровода с дозатором, выполненным в виде сосуда с распыпяемой жидкостью, внутри которого размещена трубка таким образом, что один конец ее сообщается с атмосферой, а опущенный в жидкость снабжен наконечником стаканообразной формы, горизонтальное сечение которого представляет замкнутую кривую с положительной и отрицательной кривизнами , близкими к форме кордоиды ГО В этом устройстве имеет место дозированная подача жидкости в распыли гель, которая вызывает гармонические колебания жидкостив сообщающихся сосудах с соизмеримыми поверхностями, какими является система распылитель-дозатор. Эти колебания в свою очередь приводят к нарушению стабильности процесса распыления, необходимым условием которого является поддержание постоянства уровня жидкости и распылителя. Известно также устройство для нанесения эмульсий и лаков в электростатическом поле, содержащее расгшлитель, соединенный посредством трубопровода с дозатором, внутри которого размещена .трубка таким образом, что один ее конец сообщается с ат мосферой, а торцовая поверхность другого конца установлена на одном уровне с необходимым уровнем жидкости в распылителе, и присоединенную к трубопроводу деьтфирующую емкость tJ3. Это техническое решение способствует демпфированию колебанийжид3кости в распылителе, что повышает стабильность распыления, обеспечивая раэномерное тонкое, нанесение. Однако демпфирующая емкость, присоединенная к трубопроводу, должна иметь достаточно большую площадь зер кала жидкости. Такая емкость, занимая промежуточное положени е в системе распылитель-дозатор, значительно увеличивает габариты устройства. Кроме того, в известном, устройстве затруднено его обслуживание, так как корпус дозатора и демпфирующая емкость являются сосудами закрытого типа, в связи с чем они неудобны для промывки. Тщательная промывка сосудо после окончания работы и до заливки жидкости в дозатор необходима, так как при попадании частичек подсохшего распыляемого материала в распыляемую жидкость или ее даже незначител ное загрязнение вызывают изменение объемного электрического сопротивления жидкости, в -связи с чем резко ухудшается степень распыления и соответственно качество покрытия подложки . Цель изобретения - уменьшение габаритов и упрощение обслуживания. Поставлеьная цель достигается тем что в устройстве для нанесения жидки покрытий в электростатическом поле, содержащем соединенные трубопроводом распылитель, демпфирующую емкость и дозатор, внутри которого размещена , трубка, один конец которой сообщается с атмосферой, а торец другого кон ца размещен на. уровне наносимой жидкости в распылителе, дозатор выполнен в виде двух стаканов, размещенны один внутри другого с зазором, соббщакнциМся с атмосферой, причем внутренний стакан размещен днищем вверх и имеет суженную горловину, а демпфирующая емкость образована горловиной внутреннего стакана и внутренней поверхностью внешнего стакана. На чертеже изображена схема устройстда. Устройство содержит распылитель и дозатор 2, соединенные посредством трубопровода 3, в котором установлен пробковый кран 4. Распылитель.1 соединен с источником. 5 высокого на пряжения и над ним размещены заземленные направляющие 6 для перемещения покрываемых изделий 7. Дозатор 2 выполнен в виде внешнего стакана 8, в котором размещен 5 с зазором относительно его дна и стенок внутренний стакан 9 днищем вверх. Днище стакана 9 имеет буртик 10, которым он упирается на торец йнешнего стакана 8. В буртике 10 выполнены отверстия 11. Стакан 9 имеет суженную горловину, которая образует с внутренней поверхностью дна и стенок стакана 8 демпфируницую емкость 12, сообщающуюся с атмосферой посредством упомянутых отверстий 11 в буртике 10. В стакане 9 размещена сообщающаяся с атмосферой трубка 13, при этом ее нижний торец находится в полости горловины стакана 9 в плоскости, проходящей через необходимый уровень А жидкости в распылителе 1. Днище стакана 9 имеет штуцер 14 для заливки жидкости с крышкой, 15. Распылитель 1, размещенная в дозаторе трубка 13 и совмещенная с дозатором демпфирующая емкость 2, связанные трубопроводом, представляют собой систему сообщающихся сосудов. Суммарный объем полости трубки I3 и полости между стенками стаканов 8 и 9 до уровня А должен быть меньше сумьы объемов демпфирующей емкости 12, распылителя 1 и соединякяцего их трубопровода 3. Устройство работяет следующим образом. Перед началом работы закрывают кран 4 в трубопроводе 3 и заливают предназначенную для распыления жидко.сть через штуцер 14 в дозатор 2. После его заполнения герметично закрывают крышку 15 и открывают кран 4. Жидкость по трубопроводу 3 переходит в полость распылителя 1, устанавливаясь на уровне А , как в распылителе 1 , так и в сообщающихся с ним сосудах, т.е. демпфирующей емкости 12 и трубке 13, одновременно несколько понижается уровень жидкости в стакане 9. При заполнении распылителя 1 жидкость из него не выливается, так как суммарный объем полости труб-, ки I3 и полости меящу стенками стаканов 8 и 9 до уровня А меньще суммы объемов демпфирукнцей емкости 12, полости распылителя 1 и соединяющего их трубопровода 3. При подаче напряжения на распылитель 1 жидкость под действием электрического поля распыляется и наносится на изделие 7. Расход жидкости из полости распыЛйтеля 1 автоматически компенсирует ся из полости дозатора 2. При этом уровень жидкости в стакане 9 опуска ется, А освободившийся в нем объем занимает атмосферный воздух, поступ щий через трубку 13. Автоматическое поддержание посто янного уровня жидкости в полости ра пылителя 1 обеспечивается следующим образом. По мере распыления жидкости ее уровень А в распылителе 1 и демпфирующей емкости 12 понижается, а.на конце трубки 13 образуется пузырек воздуха, поступающего из атмосферы, который, достигнув определенной величины, отрывается и поднимается на поверхность жидкости в стакане 9. Объем пузырька занимает жидкость, возникающая при этом выравнивающая сила в сообщающихся сосудах восстанавливает первоначальный уровень А в системе, причем включенная в указанную систему демпфирующая емкость с площадью поверхности в ней, значительно превышающей площадь рабочей поверхности распылителя, препятствует возникновению колебаний жидкости в момент дозированного ее поступления из полости дозатора 2. Совмещенная с дозатором демпфирующая емкость позволяет значительно уменьшить габариты устройства. Кроме того, предлагаемая конструк ция удобна в обслуживании, при очист ке и промывке достаточно снять ста56кан 9, и все части дозатора становятся легко доступными для прсьвывки и очистки, которую осуществляют после каждого цикла работы устройства. .формула изобретения Устройство для нанесения жидких покрытий в электростатическом-поле« содержащее соединенные трубопроводом распылитель, демпфирующую емкость и дозатор, внутри которого размещена трубка ч один конец которой сообщается с атмосферой, а торец другого конца размещен на уровне наносимой жид кости в распылителе, отличающееся тем, что, с целью уменьшения габаритов и упрощения обслуживания, дозатор выполнен в виде двух стаканов, размещенных один внутри другого с зазором, сообщаю11Ц)мся с атмосферой, причем внутренний стакан размещен днищем вверх и имеет суженную горловину, а демпфирующая емкость образованагорловиной внутреннего стакана и внутренней поверхностью внещнего стакана. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1,Авторское свидетельство СССР 356922, кл. Н 05 К 3/28. 2.Авторское свидетельство СССР па заявке Я 2551031/33, кл. С 03 С 17/22. 1Г :i 3 11 10 rj х8