Устройство для нанесения эмульсий и лаков в электрическом поле Советский патент 1986 года по МПК B05B5/08 H05K3/28 

о 4

4 Изобрет.ение относится к области злектронной техники и. может бытьиспользовано при нанесении копировальных эмульсий и изоляционных лаков на заготовки печатных плат, k полупроводниковых пластин при производстве интегральных схем и масок для тонкопленочной техники, а также при н анесен и различных изоляционных и декоративных Покрытий. Известно устройство для нанесения лакокрасочного материала в электрическом поле, содержащее электромеханический чашечный распьшитель и узел подачи к нему распьщяемой жидкости. Однако это устройство не обеспёчи вает Получения тонкого качественного покрытия, так как в процессе распыления посредством вращающейся чалпи. участвуют наряду с электростатическими, также И центробежные.силы,под влиянием которых с распылителя срываются достаточно -крупные, частйць, Нарушающие тонкую дисперсность факела распьша и снижающие тем самьй качество покрытия. : Наиболее близ.ким.. по технической, сущности к изобретению является устройство для Нанесения эмульсий йла.ков в электрическом поле, содержа щее корпус, в котором размещены одна в другой с зазором две втулки, образукнцие распылительное сопло, соединенньй с ним электрод, закрепленный наактивной части вибратора, и дозатор дйя подачи распьшиваемой жидкости. Недостатком этого устройства является невысокая производительность, так как распыление осуществляется Только через небольщую по длине узкую щель, образованнзпо эксцентрич й6 .установленными втулками. Цель изобретения - интенсификация процесса-нанесения. . . Для достижения указанной цели втулки выполнены из диэлектрического материала с диэлектрической проницае мЬстьК), по крайней мере, на порядок. и уДёльнь1м объемным сопротивлением не Меньше, чем соотвётствуюгщие параметры распьшиваемой жидкости я расположены концентричнр с зазором обеспечивакяцим поДъем жидкости в нем за счет капиллярных сил. . - Такое конструктивное решение рбес пеОДвает иНтейсйвную подачу жидкости на распьшение по всей площади кольце вого зазора между втулками. . 8 На чертеже показано предлагаемое устройство. . . . . Устройство содержит корпус 1,смонтированный на высоковольтном электроде 2, который через изолятор 3 жестко прикреплен к активной части электро-, магнитного вибратора 4.; В корпусе 1 размещены -одна в другой втулки 5 и 6, при этом втулка 5 запресё.ована в корпусе 1, а втулка 6 - в отверстии диска 7, установленного в. донной части корпуса 1 соосно с ним. . . . ; : Втулки 5 и 6вьтрлнены из пьезокерамики с диэлектрической проницаемостью 1200-1.400 и удельным ....: 6бъемнь1м сопративлен1гем р; 1 lO Ом-см и устанрвлены концентрично относи- . Тельно друг Друга с зазором 0,8 - . 1,0 мм, образуя щелево.е цилиндрическое сопло 8. : Для подвоДа распыляемой жидкости в электроде 2 выполнен йанал 9, сообщающийся.с дозатором 10 при помощи эластичной питающей трубки 11, вы- . . полненной из полиэтилена, а в кррпусе 1, втулке 5 и диске 7 выполнены сообщающиеся каналы 12. : . , . Устройство работает, следующим образом. . : .., : ;.. . , . . , Распыляемая жидкость, например, фоторезист ФН-5ТК, диэлектрическая проницаемость которого € 3,2-3,5 и удельное объемное сопротивление : ру 1-10 Ом-см, подается дозатором 10 через питающую.трубку 11 и канал 9 в полость корпуса 1 и через сообщающиеся каналы 12 заполняет её, причем в зазоре между втулками 5 и 6 за счёт капиллярных сил она поднимается выше уррвня жидкости в полосТи корпуса 1. . .. После того, как на электрод 2 подаютвысокое напряжение порядка 80-100 кВ, жидкость заряжается и в зазоре между втулками 5 и 6 на нее начинает действовать наряду с капил- , лярными Силами и.-градиентом напршкенйости также и электрическая сила, обусловленная разностью дйэлёктричёскихпроницаёмостей жидкости и ма-, териала, из -которого изготовлены . втулки ( фотрр1езиста 3,2-3,5, пьезокерамики- -1200-1400). Эта сила спрсобствуёт интенсивному втягиванию/жидкости в зазор между втулками 5 и 6 и тем саМым обеспечи вает интенсивнре ее поступление на распьтительную поверхность в сопле :

8, причем, благодаря,тому, что удельное объемное сопротивление пьезокерамики(1;10 Ом-см) выше, нем у фоторезиста (1 10.- 1 -10 Ом.см) электрическая энергия в основном концентрируется непосредственно в жидкости, последняя под воздействием сильного электрического- поля распьшяется со всейкольцевой поверхности в сопле 8 и наносится на заземленное изделие.

Одновременно электромагнитный вибратор 4 через изолятор 3 и электрод 2 передает корпусу 1 направленные колеep-

rrrrnrnnTHtTfrrrTTTT/f

8

бания, в результате чего на, п6верхн0с тн жидкости появляются микроволны .0 гребешками, которые, облегчая. отрыв от поверхности жидкости заря:женных частиц, способствуют равномерному и интенсивному распьшению. Расход жидкости непрерьгоно вбсштамёняетсй доз тором 10, .

Описанное устройство обеспечивает высокопроизводительное И качественное нанесение покрытий из змульсий и лаков в электрическом иоле, .

1 lllllll/////

Aliiiiuf

Й7.

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯЭМУЛЬСИЙ И'ЛАКОВ в ЭЛЕКТРИЧЕСКОМПОЛЕ, содержащее корпус, в котором размещены одна в другой с зазором две втулки, образующие распьшитель-нре сопло, соединенный с ним электрод, закрепленный на активной час- . ти вибратора, и дозатор для подачи распиливаемой жидкости, о т л и - ч а ю щ е е с я тем, что, с целью интенсификации процесса нанесения, втулки вьтолнены из диэлектрического материала с диэлектрической проницаемостью, по крайней мере, на порядок больше и удельным, объемным сопротивлением не меньше, чем соответствующие параметры распыливаемой жидкос- 'тй, и расположены концентричНо с ' • зазором, обеспечивающим подъем жидкости в нем за счет капил-Пярных сил.