Устройство для нанесения эмульсий и лаков в электростатическом поле Советский патент 1986 года по МПК C03C17/22 

Изобретение относится к электронной технике, в частности к устройствам для нанесения копировального слоя на заготовки печатных плат, на полупроводниковые пластины при производстве интегральных схем и масок гонкопленочной техники, а также при нанесении тонких изоляционных покрытий.. По основному авт. св. № 356922 известно устройство для нанесения эмульсий и лаков в электростатическом поле, используемое для нанесения копировального слоя на заготовки печатных плат, на полупроводниковые пластины при производстве интегральнь1х схем и масок тонкопленочной тех.НИКИ. Это устройство содержит распылитель, соединенньй посредством трубопровода с дозатором, выполненным в виде Сосуда.с распыляемой жидкостью внутри которого размещена трубка таким образом, что один конец ее сообщается с атмосферой, а торцевая поверхность другого конца установлена на одном уровне с необходимым уровнем жидкости в распылителе. По мере распыления жидкости ее уровень в распылителе опускается, одновременно oпycкaetcя и уровень жидкости в дозатор.е на конце сообщаю щейся с.атмосферой трубки. Атмосферный воздух, поступающий по трубке, образует на ее конце пузьтрек возду,ха, последний по мере распьшения жидкости увеличивается в объеме и, достигнув определенной величины, отрьюается от кончика трубки и поднима ется на поверхность жидкости в дозаторе. В этот момент следующая доза жидкости поступает из дозатора в рас пьтитель. Но прежде чем в распылителе жидкость установится на первоначальном уровне, образуется разница в уровнях в распылителе и в установленной в дозаторе трубке, в которой объем пузырька воздуха занимает жидкость. Это вызывает гармонические колебани жидкости в сообщающихся сосудах с соизмеримыми поверхностями, какими является Система распылитель-дозатор Колебание поверхности жидкости в распылителе постепенно затухает, но длительность затухания и амплитуды этих колебаний достаточны Для наруше ния стабильности распыления. В этом и состоит недостаток известного устройства. Целью изобретения является повышение надежности работы устройства. Поставленная .цель достигается за счет того, что устройство для нанесения эмульсий и лаков в электростатическом поле, содержащее распылитель, соединенный трубопроводом с дозатором, ,вьшолненным в виде сосуда с жидкостью, внутри которого размещена трубка таким образом, что од,ин ее конец сообщен с атмосферой, а другой . конец установлен на одном уровне с уровнем жидкости в распылителе, снабжено присоединенным к трубопроводу, соединяющему распылитель с дозатором, компенсатором давления. При этом целесообразно компенсатор давления вывыполнить в виде сообщающегося с атмосферой сосуда. . На чертеже показана схема предлагаемого устройства. Устройство состоит из распьшителя 1,дозатора 2, трубопррвода 3, соединяющего распылитель 1 с дозатором 2, и иЬточника 4 высокого напряжения, Над распылителем 1 размещены заземленные направляющие 5 для перемещения покрываемых изделий 6. К трубопроводу 3 присоединен компенсатор давления в виде сосуда 7, внутренний диаметр которого больше внутреннего диаметра распылителя 1 , сосуд сообщается с атмосферой посредством трубки 8. Длина трубки 8 превьщтает высоту дозатора 2. . . Дозатор 2представляет собой сосуд, сверху закрытый пробкой 9 и черед трубку 10 соединенньй с атмосферой, а снизу соединенньй с трубопроводом 3, в котором смонтирован проб- ковьй кран 11. Трубку 10 в дозаторе 2 устанавливают так, чтобы нижний ее конец находился в одной горизонтальной плоскости с необходимым уровнем жидкости в распылителе. Спи-, санная выше система: дозатор 2 с трубкой 10 - сосуд 7 и распылитель 1, заполненная распыляемой жидкостью, представляет собой систему сообщающихся сосудов. . Устройство работает следую1дим образом. . При подаче напряжения от источника 4 тока на распылитель 1 распыляемая жидкость под действием электрического поля распыляется и наносится на изделие 6. Расход жидкости в полости распылителя 1 автоматически компенсируется из полости дозатора 2, При этом уровень жидкости А в дозаторе опускается. Освободившийся объем занимает атмосферный воздух, поступающий через трубку 10. Автоматическое поддержание постоянного уровня жидкости в полости рас пьшителя обеспечивается следующим о вазом. Перед началом распьшения жидкость в полости распылителя 1, в сосуде 7 и трубке 10 находится на одном уровне как в сообщающихся сосудах. По мере распьшения жидкости этот уровен опускается, при этом на конце трубки 10 образуется пузьфек воздуха, поступающего из атмосферы, который, достигнув определенной величины, открывается и поднимается на поверх204 . ность жидкости, в дозаторе 2, Объем пузырька занимает жидкость, уровень ее в трубке 10 повьшается относительно уровня жидкости в этот момент в сосуде 7 и распылителе 1. Возникающая при этом выравнивающая сила в сообщающихся сосудах восстанавливает первоначальный уровень в системе, а включенный в нее росуд 7 с площадью поверхности ЯЕИД{СОСТИ в нем, значительно превышающей рабочую поверхность распылителя, препятствует возникновению колебаний жидкости в момент дозированного её.поступления из полости дозатора 2. Наличие компенсатора давления и его промежуточное положение в системе дозатор-распыпитель способствует демпфированию колебаний жидкости в распылителе,-что повышает стабильность распыления, обеспечивая равномерное тонкое нанесение.

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ЭМУЛЬСИЙ И ЛАКОВ В ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОМ L ч;.;//// //// П| ПОЛЕ по авт. св. № 356922, о т л ичающеес, я тем, что, с целью повышения надежности работы, оно снабжено присоединенным к трубопроводу, соединяющему распылитель с дозатором, компенсатором давления. 2. Устройство по п. 1, о т л и чающееся тем, что компенсатор давления вьтолнен в виде сообщающегося с атмосферой сосуда. (О с сх о ND