Криогенный вакуумный насос Советский патент 1985 года по МПК F04B37/08 

5ti5L5 iJl:

00

ел

2

2

00

1. КРИОГЕННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус с размещенным в нем внутри охлаждаемого эк/ ГС УС рана откачивающим элементом в виде заполненного хладагентом сосуда, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности при работе насоса, вблизи источников заряженньк частиц, в нижней части сосуда перпендикулярно его оси размещен сверхпроводящий соленоид. 2. Насос ПОП.1, отличающийся тем, что соленоид имеет сквозные каналы, расположенные параллельно оси сосуда. 8 S (Л С УС

-Ц 5

/ Изобретение относится к области вакуумной техники. Известен криогенньй вакуумный насос, содержащий корпус с размещенными в нем внутри охлаждаемого экрана откачивающим элементом в виде заполненного хладагентом сосуда При работе известного насоса вблизи источника заряженных частиц, часть заряженных частиц, отражаясь от экрана, попадает на конденсирующую поверхность насоса, десорбирует 10 -10 мол./см с откачиваемого газа, что приводит к резкому повьшению давления в установке, кро ме того, работа насоса становится неэкономичной, поскольку требуются дополнительные затраты хладагента на повторную конденсацию молекул газа. Цель изобретения - повьшение эко номичности при работе насоса вблизи источников заряженных частиц. Цель достигается тем, что в нижней части сосуда перпендикулйрно ег

оси размещен сверхпроводящий соленоид и, кроме того, соленоид имеет сквозные каналы, расположенные параллельно оси сосуда.

На чертеже схематично изображен предлагаемьш насос.

Криогенный вакуумньй насос содержит корпус 1 с размещенным в нем внутри охлаждаемого экрана 2 откачивающим элементом в виде заполненТаким образом, применение описываемого насоса позволяет получать безмаслянный вакуум с помощью криогенных средств откачки вблизи источника заряженных частиц, которые в обычных насосах приводят к значительной десорбции- сконденсированных молекул откачиваемого газа, что в ряде случаев приводит к полному прекращению работы насоса. 32 кого хладагентом сосуда 3. В нижней части сосуда перпендикулярно его оси размещен сверхпроводящий соленоид 4. Соленоид имеет сквозные каналы 5, расположенные параллельно оси сосуда. Соленоид через изоляторы 6 снабжен токовводами 7, которые имеют сверхпроводящую перемычку 8, шунти- , рующую витки соленоида. Насос работает следующим образом. Жидкий гелий заливается в сосуд . 3 после того, как экран 2 охлажден жидким азотом до 80 К. Уровень жидкого гелия ниже уровня перемычки 8, так что она не переходит в сверхпроводящее состояние. После того, как гелий залит, соленоид 4 запитывается током по токовводам 7 от внешнего источника . После достижения необходимой величины магнитного поля у откачивающей поверхности насоса, в сосуд 3 доливается гелий так, чтобы перемычка 8 перешла в сверхпроводящее состояние и зашунтировала соленоид 4,