Покрытие Советский патент 1981 года по МПК C03C17/22 

(54) ПОКРЫТИЕ

Изобретение относится к технологии нанесения тонкослойных покрытий .и может найти применение в спектраль ных приборах, в оптических квантовых генераторах, микроэлектронике и других областях науки и техники. В настоящее время испытывается острая потребность в интерференционных оптических покрытиях, обладающих стабильными во времени оптическими характеристиками, высокой механической стойкостью и влагостойкостью Известно тонкослойное оптическое покрытие, срстоящее из слоя фтористо го магния, применяемого для уменьшения отрс1жения от поверхности стекла или в многослойных диэлектрических покрытиях из чередующихся слоев в качестве слоев с низким показателем преломления 1). Наиболее близким к предлагаемому изобретению по технической сущности и достигаемому результату является просветляющее оптическое покрытие 2 следующего состава,вес.%: MgF 4555; СеРз5-10; 5гГ 40-50. Недостатком указанных покрытий является нестабильность во времени его оптических характеристик (старение покрытия), а также довольно невысокая механическая прочность. Цель изобретения - увеличение стабильности оптических характеристик покрытия и его механической прочности. Поставленная цель достигается тем, что покрытие, включающее MgFj, дополнительно содержит BaF2 при следующем соотношении компонентов, вес.%: MgF2 85-90; BaFj. 10-15. Изготавливают три различных слоя из фтористого магния с добавкаили фтористого бария, нанесенные отдельно на три различные подложки и имеющие оптическую толщину Я. /4 (где Д. 600 им) . Конкретные примеры предлагаемых покрытий и их свойств приведены в таблице. 10

Продолжение таблицы

Из таблицы видно что добавка фтористого бария существенно уменьшает старение покрытия, т.е. UR - из менение коэффициента отражения во времени уменьшается. Оптимальная добавка фтористого бария находится в пределах 10-15%. Уменьшение добавки приводит к существенному возрастанию количества анионных вакансий фтора и большему старению.

Увеличение содержания фтористого бария ( ). дежелательно, так как это црД1водит к увеличению показателя прелойЛ;е1Т1гй слоя, по сравнению с показателем преломления фтористог магния, что является невыгодно с точки зрения получения оптимальных оптических свойств.

Кроме того из таблицы видно, что добавка фтористого бария повышает и механическую прочность покрытия.

Предлагаемое покрытие на основе фтористого магния и фтористого бария может работать без изменения своих оптических характеристик в более жестких климатических условиях по сравнению с известным. Так оно выдерживает без из ленений при 98%-но относительной влажности 10 сут, в то время как известное тонкослойное покрытие при этих условиях разрушается. Технология нанесения предлагаемого покрытия не усложнилась по сравнению с известным.

Формула изобретения

Покрытие, включающее о тлич ающееся тем, что, с целью увеличения стабильности оптических характеристик покрытия и его механической прочности, оно дополнительно содержит BaF при следующем соотношении компонентов, вес.%: MgF2.85-90; BaF 10-15.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

2. Авторское свидетельство СССР W 529131, кл. С 03 С 17/22, 1975.