Прибор с акустической поверхностной волной Советский патент 1981 года по МПК H01L41/47 

Описание патента на изобретение SU884592A3

нальной относительно направления распространения акустической поверхностной волны, что приводит к получению разности фаз на выходе прибора с акус тической поверхностной волной 1. Недостатком такого прибора является невозможность получения заданной характеристики пропускания. Известен также прибор с акустической поверхностной волной, содержащий подложку из пьезоэлектрического материала, приспособленного для поддержания распространения энергии акустичес кой поверхностной волны, и по меньшей мере, один механический преобразователь, соединенный с поверхностью пьезоэлектрической подложки в ее области преобразования, выполненный в виде пе ремешивающегося электрода, который включает в себя пару гребенкообразных электродов, каждый из которых имеет общую электродную часть, размещенную направлении распространения энергии акустической поверхностной волны, и группу из множества электродных плано расположенных в направлении, поперечном общей электродной части, и совмес но соединенных с общей электродной частью, причем пара гребенкообразных электродов расположена таким образом, что электродные планки одного гребенкообразного электрода перемещаются с электродными планками другого гребенкообразного электрода, а длины перекрытий соседних электродных планок не равны друг другу и выбраны в соответствии с заданной весовой функцией f2 Однако в известном приборе между смежными электродными планками в невзвешенной области предусмотрены ложные электроды, наличие которых устраняет разницу в скорости акустической поверхностной волны между взвешенной и невзвешенной областями, что приводит к уменьшению разности фаз на выхо де прибора с акустическойповерхностной волной. При этом, увеличивается электрически и механически отраженная акустическая поверхностная волна, в результате чего возрастают пульсации в полосе пропускания и пульсации характеристики групповой задержки. Цель изобретения - повьщ1ение точности преобразования, т. е. создание прибора с акустической поверхностной волной, в котором предотвращено распространение нежелательной акустической поверхностной волны, подавлена нежелательная отраженная волна, улучшена частотная характеристика и характеристика групповой задержки. Поставленная цель достигается тем, что прибор с акустической поверхностной волной, содержащий подложку из пьезоэлектрического материала, приспособленного для поддержания распространения энергии акустической поверхностной волны, и, по меньшей мере, один механический преобразователь, Соединенный с поверхностью пьезоэлекрической подложки в ее области преобразования, выполненный в виде перемещающегося электрода, который включает в себя пару гребенкообразных электродов, каждый из которых имеет общую электродную часть, размещенную в направлении распростанения энергии акустической поверхностной волны, и группу из множества электродных планок, расположенных в направлении, поперечном общей электродной части,и совместно соединенных с общей электродной частью, причем пара гребенкообразных электродов расположена таким образом, что электродные планки одного гребенкообразного электрода перемещаются с электродными планками другого гребенкообразного электрода, а длины перекрытий соседних электродных планок не равны друг другу и выбраны в соответствии с заданной весовой функцией, он дополнительно снабжен материалом поглощения акустической поверхностной волны, расположенным во внешней области, ограниченной огибающими, проходящими через свободные концы перекрытий соседних электродных планок. При этом, материалом поглощения поверхностной акустической волны является силиконовый каучук, или эпоксидная смола, или смесь из силиконового каучука и эпоксидной смолы, или смесь из силиконового каучука и оксидного порошка, или смесь силиконового каучука, эпоксидной смолы и оксидного порошка, или воск. Кроме того, общие электродные части гребенкообразных электродов имеют форму линии, определенной свободными концами перекрытий соседних электродных планок, длина которых выбрана в соответствии с заданной весовой функцией. На фиг. 1 представлен прибор с акусакустической поверхностной волной, общий вид; на фиг. 2 - часть прибора, разрезI на фиг. 3 - график частотной 58 характеристики прибора, причем по оси абсцисс отложена частота, а по оси ординат - величина затухания; на фиг, 4 - вариант реализации предлагаемого изобретения. Прибор с акустической поверхностной волной содержит подложку 1 из пьезоэлектрического материала, входной преобразователь 2 и выходной преобразователь 3. Входной преобразователь 2 представляет собой сочетание подложки из пьезоэлектрического материала и перемешающегося электрода 4. Последний содержит пару гребенкообраз ных электродов 5 и 6 разного знака. Каждый гребенкообразный электрод име ет общую электродную часть 7 ( 8 ) и большое количество электродных планок 9 (10, соединенных с общей частью. Выходной преоГ5разователь 3 выполнен аналогично. Входной преобразователь снабжен материалом поглощения акустической поверхностной волны I1, нанесенной на подложку и располо женной в области распространения нежелательной поверхностной акустической волны. Подложка из пьезоэлектрического материала представляет собой пластину из пьезоэлектрической керамики, например из цирконат-титаната свинца (Р2Т), монокристалла, например LIN ВО или пьезоэлектрической пленки, например окиси цинка. Когда подложка пьезоэлектрического материала выполнена в виде пьезоэлектрической керамики или монокристалла, перемещающийся электрод 4 получен на подпожке матери ала . В случае пьезоэлектрической тонкой пленки из окиси цинка (иг. 2 электрод получают на подложке 12, например из стекла, на ней затем получают изолирую1цую пленку 13, а на изолирующей пленке создают пьезоэлектрическую тонкую пленку, играющую роль подпожки из пьезоэлектрического материала. Гребенчатые электроды 5 и 6 можно изготовить любой известной технологией с применением катодного распыления электролитического ионного осаждения напыпения в вакууме, фотолитографии, лучевого или химического травления с использованием таких металлов, как алюминий, серебро, золото и др. Материал для поглощения акустической поверхностной волны можно выбрать из группы, состоящей из силиконового каучука, эпоксидной смолы, смеси сили 2 конового каучука и эпоксидной смолы, -смеси, силиконового каучука и оксидного порошка, смеси эпоксидной смолы и оксидного порошка, смеси, состоящей |из силиконового каучука,эпоксидной смолы, оксидного порошка и воска. Т. е. это предпочтительно материал, обладающий высокой вязкостьюj хорошей адгезией, и большой плотностью, и очевидно, поглодающнй поверхностную волну и имеющий большие внутренние потери. Материал для поглощения акустической поверхностной волны предпочтительно является смесью силиконового каучука с оксидным порошком или смесь силиконового каучука, эпоксидной смолы и оксидного порошка и наносится с помощью печатной техники или путем нанесения покрытий на область входного преобразователя, где распространяется нежелательная акустическая поверхностная волна. При работе устройства распространяющаяся нежелательная акустическая поверхностная волна и нежелательная отраженная волна поглощаются материалом поглощения, вследствие чего улучшается частотная характеристика (например, частотная характеристика / (фиг.чЗ), фильтра телевизора). Поскольку в области материала по глощения акустическая поверхностная волна не распространяется, общие электродные части гребенкообразных элек1тродов 7 и 8 могут иметь форму линии, определенной свободными концами перекрытий соседних электродных планок, длина которых выбрана в соответствии с заданной весовой функцией (фиг. 4. Формула изобретения 1. Прибор с акустической поверхностной волной, содержащий подложку из пьезоэлектрического материала, приспособленного для поддержания распространения энергии акустической поверхностной волны, и, по крайней мере, один механический преобразователь, соединенный с поверхностью пьезоэлек трической подложки в ее области преобразования, выполненный в виде перемещающегося электрода, который включает в себя пару гребенкообразных электродов, каждый из которых имеет общую электродную часть, размещенную в направлении распространения энергии акустической поверхностной волны, и группу из множества электродных планок, расположенных в направлении, поперечном общей-электродной части, и совместно соединенных с общей электродной частью, причем пара гребенкообразных электродов расположена таким образом, что электродные планки одного гребенкообраэного электрода перемещаются с электродньЫи планками другого гребенкообразногО электрода, а длины перекрытий соседних электродных планок не равны друг другу и выбраны в соответствий с заданной весовой функцией, отличающий,с я тем, что, с целью повьшения точности, он дополнительно снабжен материалом поглощения акустической поверх ностной волны, расположенными во внеш ней области, ограниченной огибающими, проходящими через свободные концы перекрытий соседних электродных планок. 2.Прибор по п. 1, отличаю щ и и с я тем, что материалом поглощения акустической поверхностной волны является силиконовый каучук. 3.Прибор по п. 1, отличающийся тем, что материалом пог лощения акустической поверхностной волны является эпоксидная смола. 4.Прибор по п. 1, отличающийся тем, что материалом пог 8 ощения акустической поверхностной олны является смесь из силиконового аучука и эпоксидной смолы. 5. Прибор по п. 1, отличащийся тем, что материалом поглощения акустической поверхностной волны является смесь из силиконового .. каучука и оксидного порошка. 6. Прибор по п. 1, о г л и ч а ю щ и и с и тем, что материалом поглощения акустической поверхностной волны является смесь силиконового каучука, эпоксидной смолы и оксидного порошка. 7.Прибор по п. 1, отличающийся тем, что материалом поглощения акустической поверхностной волны является воск. . 8.Прибор по п. 1, отличающийся тем, что общие электродные части гребенкообразных электродов имеют форму линии, определенной сво-. бедными концами перекрытий соседних электродных планок. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Патент Великобритании № 1357193, кл. Н 3 и, опублик. 1974. 2.Патент США 3699364, кл. 3109.8, опублик. 1972 (прототип).

(сГв)

(мнг)

Фиг,.3

Похожие патенты SU884592A3

название год авторы номер документа
Способ изготовления пьезоэлектрического керамического материала 1979
  • Тосио Огава
SU1068029A3
УЛЬТРАЗВУКОВОЙ ЗОНД 2007
  • Саито Коэцу
RU2419388C2
УЛЬТРАЗВУКОВОЙ ДАТЧИК 2007
  • Саито Коэцу
RU2423076C2
ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ УЛЬТРАЗВУКОВОГО ДИАГНОСТИЧЕСКОГО ЗОНДА 1994
  • Сагателян Г.Р.
  • Осипков В.О.
RU2078340C1
ЭЛЕМЕНТ НА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ И СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДЕМПФИРУЮЩЕЙ СТРУКТУРЫ ДЛЯ НЕГО 1995
  • Хайнер Байер
  • Вальтер Фишер
  • Винфрид Плундрих
  • Ханс Штелцл
  • Вольфганг Пал
RU2131624C1
ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ С "ЕСТЕСТВЕННЫМ" ОДНОНАПРАВЛЕННЫМ ИЗЛУЧЕНИЕМ ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛН 2010
  • Мартин Гюнтер
  • Вайнахт Манфред
  • Бирюков Сергей
  • Даринский Александр
  • Валь Берт
RU2522035C2
АКУСТОКАЛОРИМЕТРИЧЕСКИЙ СЕНСОР ДЛЯ СИГНАЛИЗАЦИИ ИЗМЕНЕНИЙ ГАЗОВОГО СОСТАВА ЗАМКНУТЫХ ПОМЕЩЕНИЙ 2015
  • Анисимкин Владимир Иванович
  • Верона Енрико
RU2606347C1
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЙ МНОГОСЛОЙНЫЙ ЭЛЕКТРОД, СВЯЗАННЫЙ ПО ВЫСОКОЧАСТОТНОМУ ЭЛЕКТРОМАГНИТНОМУ ПОЛЮ, ВЫСОКОЧАСТОТНАЯ ЛИНИЯ ПЕРЕДАЧИ, ВЫСОКОЧАСТОТНЫЙ РЕЗОНАТОР, ВЫСОКОЧАСТОТНЫЙ ФИЛЬТР, ВЫСОКОЧАСТОТНЫЙ ПОЛОСОВОЙ РЕЖЕКТОРНЫЙ ФИЛЬТР И ВЫСОКОЧАСТОТНОЕ УСТРОЙСТВО 1994
  • Еухеи Исикава
  • Сеидзи Хидака
RU2139613C1
РЕЗОНАТОР НА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ 2016
  • Анцев Иван Георгиевич
  • Сапожников Геннадий Анатольевич
  • Богословский Сергей Владимирович
  • Жгун Сергей Александрович
  • Швецов Александр Сергеевич
  • Деркач Михаил Михайлович
RU2633658C2
ФИЛЬТР НА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ 2023
  • Дорофеева Светлана Сергеевна
  • Синицына Татьяна Викторовна
  • Егоров Роман Викторович
  • Машинин Олег Всеволодович
  • Груздев Александр Сергеевич
RU2817395C1

Иллюстрации к изобретению SU 884 592 A3

Реферат патента 1981 года Прибор с акустической поверхностной волной

Формула изобретения SU 884 592 A3

SU 884 592 A3

Авторы

Ацуси Иноуе

Хиромичи Ямада

Кандзи Сузуки

Даты

1981-11-23Публикация

1978-05-09Подача