Токопроводящий материал для пленочных электронагревателей Советский патент 1981 года по МПК H05B3/12 

1

Изобретение относится к электротехнике в частности к материалс1М Для реэистивного нагрева, и может быть использовано для тонкопленочных электронагревателей.

Известен токопроводящий материал для пленочных нагревателей, содержа-, щий двуокись олова, легированную сурьмой 1.

Введение сурьмы в тонкие пленки повышает термостойкость нагревателей, однако недостаточно, чтобы исклю- . чить образование -областей с повышенной плотностью электрического тока и выгорание этих участков, что ведет к выходу из строя электронагревателей .

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является токопроводящий материал для пленочных электронагревателей, содержащий двуокись олова и легирующие добавки 2.

Недостатком материала является относительно ниэкая термостойкость, критическая температура работы электронагревателей составляет .

Цель изобретения - повышение термостойкости электронагревателей.

Указанная цель достигается тем, что. токопроводящий материал в качестве добавок содержит редкоземельные элементы (РЗЭ) их смеси или соединения, а компоненты взяты в следующем соотношении, вес.%:

Редкоземельные

элементы, их смеси

или соединения 0,01-10

10

Двуокись олова Остальное

Нижняя граница количественного состава входящих в материал компонентов определяет минимальное содержание добавок РЗЭ, их окислов или

15 гексаборидов, при котором наблюдается эффект увеличения термостойкости. Верхняя граница определяет то предельное содержание добавок, вьше которого наблюдается значительное изменение структуры, полученной из

20 предлагаемого материала пленки и понижение термостойкости.

Тонкопленочный нагреватель на основе предлагаемого материала может

25 быть получен любым из известных способов, например: онно-ш1азменным распылением мишени описанного выше состава при постоянном напряжении 2,3-2,6 кВ в среде аргона при давле30 нииЗ-610 ммрт.ст.; нанесением

на поверхность образцапленкообразующего раствора, состоящего из смеси оловоорганического соединения Sn(OC2Hj) и соответствующего простого спирта (этилового), в которую введена азотнокислая соль РЗМ, с последующей термодеструкцией при 700-800С в течение 1-2 мин.

Положительный эффект действия РВЭ в тонких пленках на основе двуокиси олова связан с проявлением модифицирукадего действия РЗЭ, то приводит к измельчению зерен пленки и улучшению ряда ее свойств, в частности термостойкости.

В таблице приведены основные свойства известных тонких пленок на

основе SnOij и пленок, полученных по предлагаемому изобретению.

Как следует из таблицы, тонкие пленки из предлагаемого материала более термостойки.

Использование разработанного материала при изготовлении тонкопленочных электронагревателей позволяет повысить их термостойкость и качество.

Материал может быть использован при изготовлении тонкопленочных электронагревателей для жидких и газовых сред.

ми111Метаи1л, содержаиций, вес.%: Се La 20-25; остальное - примеси У, Ей, Си, Мп, Si, N1, Pb, Fe, С.

45-50; Nd 18; Pr 5; Sm 1; Tb и др. РЗМ, a также A ,C(i

Формула изобретения

Токопроводящий материал для пленочных электронагревателей, содержащий двуокись олова и легирующие добавки, от.личающийся тем, что, с целью повышение термостойкости электронагревателя, он содержит в качестве добавок редкоземельные элементы, их смеси или соединения, а -компоненты взяты в следующем соотношении, вес.%:

Редкоземельные элементы, их смеси или соединения Двуокись олова

Источники информации,

принятые во внимание при экспертизе

№ 147625, кл. Н01 С 7/00, 1962.

577700., кл. Н05 В 3/12, 1975.