Фильтр для очистки газов Советский патент 1981 года по МПК F25J5/00 B01D46/10 

(54) ФИЛЬТР ДЛЯ ОЧИСТКИ ГАЗОВ

1

Изобретение относится к устройствам для. очистки газов, например, в нолупроводниковой технологии для очистики газообразного аммиака, кислорода и других технологических газов.

Известен филЪтр для очистки газов, включающий корпус с расположенными внутри него теплообменником, на стенках которого установлена емкость для жидкого азота, а в нижней части - фильт рующий элемент fl .

Недостатком известного фильтра является контактирование газов с большими поверхностями, охлаждаемыми жидким азотом, следовательно, возможность конденсации газов, имеющих более высокую темпер атуру сжижения, чем жидкий азот, например кислорода, аммиака.

Цель изобретения - п шышение степени очистки газов.

Поставленная цель достигается тем, что в фильтро, вклк1чаю1и( корпус, с расположенными внутри него теплообменником, на стенках которого установлена емкость для жидкого азота, а в нижней части - фильтрующий элемент, внутренние стенки теплообменника снабжены теплоизолирующими кольцевыми прокладками, между которыми установлены металлические сетки.

На чертеже изображен фильтр, общий ввд.

Фильтр для очистки газов состоит

10 из корпуса 1 с расположенным внутри него теплообменником 2, на стенках которого установлена емкость 3 для жидкого азота. Внутри теплообменника на участке, неохлаждаемом жидким азоISтом, установлен радиатор 4, в который подается испаривщийся газообразный азот из емкости 3. Радиатор 4 служит для предварительного охлаждения очищаемого газа. Для увеличения поверхкности теплоотдачи полость между трубками радиатора 4 заполнена металлическими сетками 5. На внутренних стенках теплообменника 2 установлены теплоиаопирующие кольцевые прокладки 6, между которыми помещаются сетки 7, со своими кольцевыми обоймами 8, соприкасающимися с холодными стенками теплообменника 2. В корпусе установлен фланец 9 с фильтрующим материалом типа ткани Петрякова.

Кольцевые прокладки 6 служат для исключения контакта очищаемого газа со стенками теплообменника, охлаждаемыми жидким азотом.

Устгройство работает следующим образом.

Жидкий азот подается в емкость 3, испаряется в ней, поступает в радиатор 4 и выходит в атмосферу. Очищаемый газ поступает в теплообменник со стороны радиатора 4, предварительно охлаждается в радиаторе 4 и поступает на сетки 7.

Проходя через каждую сетку, газ отдает определенную порцию тепла.

Подбором количества сеток для каждого газа устанавливается оптимальный режим очистки.

После зовы с сетками очищаемый газ, охлажденный до определенной температуры, поступает на элемент с фильрующей и, проходя через него, очищается от взвесей.

Предлагаемый фильтр по сравнению с известными позволяет более очищенные газы за счет введения теплоизолирующих прокладок и сеток меж5 ду ними, позволяющих установить соответствующий каждому rady тепловой режим. Фильтр можно применить для очистки любых газов.

Формула изобретения

Фильтр для очистки газов, включающий корпус с расположенным внутри

него теплообменником, на стенках которого установлена емкость для жидкого азота, а в нижней части - фильтрующий элемент, отличающийс я тем, что, с целью повышения степени очистки, внутренние стенки теплообменника снабжены теплоизолирующими кольцевыми прокладками, между которыми установлены металлические сетки.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Установка для очистки сетевого водорода. - Электронная техника, серия 1, Электроника, С В4 ВЗ, с. 101-104, 1974.