Интерферометр для контроля вогнутых параболических поверхностей Советский патент 1981 года по МПК G01B9/02 

(54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ВОГНУТЫХ ПАРАБОЛИЧЕСКИХ Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано для контроля вогнутых параболических поверхностей. Известен интерферометр для контроля вогнутых параболических поверхностей, содержащий источник монохроматического излучения, светоделитель, микрообъектив, линзу с эталонной сферической светоделительной поверхностью,вспомогательно плоское или сферическое зеркало с отверстием, а также систему наблюдения . Недостатком устройстна является сложность оптической системы и ее юстировки, так как при контроле необходимо с ВЫСОКОЙ Точностью выстав лять вспомогательное зеркало с отверстием. Кроме того, интерференцио ная картина, получаемая на устройст ве, очень чувствительна к малым сме щениям светоделительной поверхности вспомогательного зеркала с отверсти ем и контролируемой поверхности,что не позволяет получить стабильную во времени интерференционную картин при наличии вибраций. Наиболее близким по технической сущности к изобретению является инт

ПОВЕРХНОСТЕЙ ферометр для контроля ВОГНУТЫХ параболических поверхностей,содержащий ИСТОЧНИК монохроматического излучения и последовательно расположенные по ходу излучения микрообъектив, свето делитель, объектив, эталонную пластину со светодеЛительным покрытием на одной из граней, установленную покрытием к объективу, и систему для наблюдения интерференционной картины 2. Недостатком известного интерферометра- -является наличие двух эталонных пластин, что усложняет оптическую схему интерферометра и его юстировку. Цель изобретения - упрощение интерферометра. Указанная цель достигается тем, что пластина выполнена клиновидной с отрг1жающим покрытием на одной из половин второй грани и с просветляюЬчим - на второй половине этой же грани. На чертеже представлена схема интерферометра. Интерферометр содержит источник 1 монохроматического излучения,последовательно расположенные по ходу излучения микрообъектив 2, светоделитель 3, объектив 4, эталонную плас