Устройство для регулирования температуры экранной печи Советский патент 1981 года по МПК G05D23/19 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕГУЛИРОВАНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ ЭКРАННОЙ ПЕЧИ

I

Изобретение относится к автоматическому регулгфованию температуры прецезвовкых экранных печей с центральной и подпорной зонами нагрева, например, в Д{1а1шзонв температур эпитаксйальных пронесссф, требующих минимального разброса текоюратуры в рабочем объеме печи.

Известныустройства для регулирования температуры нагрева электрических печей, в которых осуществляется позон вое регулщювание теа шерату причем для каждой зоны устанавливается tqjon раммный регулятор l.

В таких устройствах осхиестайиается довольно .точное поддервкание равнтелерной то тературы по всей длине печи, однако наличие нескольких программных регул5аи приводит к чрезмерному удорожанию |;установок.

Наиболее близким к предлагаемому является устройство для регулирования ташюратуры экранной печи с центральной Ц подпорными зонами нагрева, содердкашее нагреватели, программный регулятор,

вход которого подключен к датчику температуры центральной зоны, а выход -к нагревателю той же зоны, и ведомые регуляторы, входы которых подключены к датчикам температуры центральной и подпорных зон.

Известный программный регулятор работает таким образом, чтобы сигнал датчика температуры центральной зоны равнялся уставке регулятора. Каждый ведомый ре10гулятор воспринимает разность температур датчиков центральной и подпорных зон и стремится поддерживать ее постсьянной. Уставки ведомых регуляторов подбираются при настройке для выравнивания

IS температуры краев рабочего объема печи. При измененииуставки гфограммногб регулятора регуляторы следуют за ffiiM с постоянным перегревом 1,2.

Недостатком известного устройства является изменение перегрева подпорных зон при изменении ус;тавки программного регулятора. В результате меняется т&Л 1юратурвая компенсация краев централь ной зоны, что приводит к иеравномерноу распредепекию температуры по длине ечи. Для уменьшения этого эффекта мож-но увеличивать длину подпорных зон, однако это приводит, к увеличению расхода у электроэнергии.

Цель изобретения повышение то ности регулирования температуры нагрева в широком диапазоне путем коррекции он температуры краев рабочего объема 10 ечи без увеличения длины зон регулироания.

Указанная цель достигается тем, что устройство снабжено согласующими блоками с регулируемыми коэффициентами пе- и редачи, а нагреватели подпорных зон выполнены секционными, причем выходы программного регулятора подключены через согласующие блоки к соответствующим секциям нагревателей подпорных зон, ,. а выходы ведомых регуляторов подключены к другим секциям, нагревателей подорных зон.

На чертеже представлено устройство для регулирования температуры экранной s печи, где условно изображены центральная зона 1 и подпорные зоны 2 печи, причем каждая подпорная зона состоит из двух частей 3 и 4.

Устройство содержит программный регулятор 5, вход которого подключен к датчику 6 температуры центральной зоны, а выход - к нагревателю 7 указанной зоны,, и ведомые регуляторы 8, входы которых подключены к датчикам 9 и 10 температуры центральной и подпорных зон со- 35 ответственно, а выходы - к секционным нагревателям 11 соответствующих частей подпорных зон. Кроме того, устройство содержит согласующие блоки .12, входы которых пошшочены к соответствующим « выходам программного регулятора, а выходы - .к секционным нагревателям 13 соответствуюишх частей подпорных зон. Коэффиштенты передачи согласукдцих устганавлившотся при настройке « си&лы V. осугаются неизменными в процессе работы.

При изменении тетллературы нагрева программньпл регулятором выше или ниже

исходной величины происходит компенсация соответственно недогрева или перегрева подпорных зон за счет работы согласующих звеньев, что позволяет обеспечить плоский температурный профиль. Температурное распределение в рабочем объеме после регулировки с целью Kopvрекшт выравнивается подбором уставок ведомых регуляторов.

Использование предлагаемого устройства позволяет повысить точность регулирования температуры нагрева электропечи в широком диапазоне, не увеличивая при этом ее длины, и снизить расходы потребляемой электроэнергии.

Формула изобретения

Устройство регулирования температуры экранной печи с центральной и подпорными зонами нагрева, содержащее нагреватели, программный регулятор, вход которого подключен к датчику температу, ры центральной зоны, а выход - к нагревателю той же зоны, и ведомые регуляторы, входы которых подключены к датчикам температуры центральной и подпорных зон, отличаю щ-ееся тем, что, с целью повышения точности регулирования температуры нагрева в широком диапазоне- путем коррекции темлературы краев рабочего объема печи без увешпе- ния длины зон регулирования, устройство снабжено согласующик-ш блоками с ре- гупируемыми коэффициентами передачи, а нагреватели подпорных зон выполнены секционными, пртгчем выходы программного регулятора подключены через согласующие блоки к соответствующим секциям нагревателей подпорных зон, а выходы ведомых регуляторов подключены к другим секциям нагревателей подпорных зон.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

Л//; л Л

//

8

//

/J

0

7