Резистивный материал Советский патент 1981 года по МПК H01C7/00 C22C28/00 

(54) РЕЗИСТИВНЫЙ МАТЕРИАЛ

t

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано для изготовления металлопленочных резисторов.

Известен резистивный материал, содержащий кремний, хром, вольфрам 1.

Недостаток резистивного материала заключается в относительно высоком температурном коэффициенте сопротивления.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является резистивный материал, содержащий кремний, железо, хром, алюминий, вольфрам 2.

Недостатки его состоят в относительно высоком температурном коэффициенте сопротивления.

Цель изобретения - снижение .температурного коэффициента сопротивления и улучшения адгезии к диэлектрической подложке.

Поставленная цель достигается тем, что резнстивиый материал, включающий кремний, хром, алюминий, железо, вольфрам, дополнительно содержит ванадий и титан при следующем соотношении компонентов, вес.%:

Кремний

37,5-40,5

Железо 11-13

Алюминий 8,5-10,5

Хром 14-17

Ванадий 5-7

Титан 2-3

Вольфрам Остальное

Для получения резистивного материала готовят три смеси компонентов, содержащие каждая (вес.%) кремния 37,5 j 39,1 и 40,5;

10 железа И; 12,2 и 13, алюминия 8,5; 9,5 и 10,5; хрома 14; 15,4; и 17, ванадия 5; 6,2 и 7, титана 2, 2,6 и 3 и вольфрама - остальное.

Каждая смесь компонентов в виде гранул

15 загружается в кварцевый тигель, который помещается в открытый высокочастотный индуктор, и подготовленная шихта плавится в течение 85 мин. Полученные слитки измельчают на щековой дробилке и механической ступке

20 до порошка с размером зерна менее 125 мкм.

Порошок испаряется в вакууме с вольфрамового испарителя в течение 30 сек, конденсируется на поверхности подложек, которые 3 89 11рокаливаются в туннельной печи при температуре в течение 12 мин. Предлагаемый материал позволяет получать составы с температурным коэффициентом сопротивления в диапазоне от -200-10- 1/град да +200-10- 1/град. Ф о р м у л а и 3 о б р е т е н и я Резистивный материал, включающий крем ifflft, хром, алюминий, железо, вольфрам, отличающийся тем, что, с целью снижения температурного коэффициента сопротивления и улучшения адгезии к диэлектри- . ческой подложке, он дополнительно содержит .4 ванадий и титан приследуюпшм соотношении компонентов, вес.%: Кремний37,5-40,5 елезо 1- Алюминий8,5-10,5 Р° -Ванадий5-7Титан2-3 ВольфрамОстальное Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР 376816, кл. Н 01 С 7/00, 1971. 2. Справочник по электротехническим мятериалам ТЗ, Л., Энергия, 1976, с. 387-388, раздел 14-6 Сплавы МЯТ (прототип).