1
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для изготовления терморезисторов с положительным температзфным коэффициентом сопротивления (ТКС) позисторов.
Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является позистор, содержащий чувствительный элемент, вьтолненный на основе ВаТЮз с 0,1 ат%Се с омическими контактами .
Недостатками данного устройства является узкий температурный коэффициент, низкая стабильность, сложность изготовления, необходимость применения защитных покрытий. Диапазон рабочих температур этого терморезистора 253-473° К, температурный интервал положительного значения температурного коэффициента сопротивления 393-473° К. Кроме того, для изготовления датчика необходимо точно соблюдать oflpeдeлeннyю нестехиометричность материала, что технологически сложно. При нагревах до температур 873° К параметры датчика необратимо изменяются в несколько раз. Датчик нестабилен при работе в жидкостях,
(54) ПОЗИСТОР
;выэьшающих коррозию, не может использоваться Т1ри высоких давлениях.
Цель изобретения - расширение диапазона рабочих температур, повьпненИе стабильности характеристик и.упрощение технологии изготовления позистора.
Поставленная цель достигается тем, что в познсторе, содержащем термочувствительный эпемент с омическими контактами, термочувствительный элемент вьшолнеи из монокристалtoла карбида кремния кубической модафикащш, легированного киопородом.
На фиг. 1 представлен позистор, общий вид; на фиг. 2 - график температурной зависимости его удельного сопротивления.
15
Позистор состоит из чувствительного элемента 1, к которому подсоединены омические контакты 2, и который заключен в корпус 3.
Позистор работает следующим образом.
При включении в цепь с напряжением
го 3-5 В, через позистор протекает ток 1-10 мА. При повьшхениитемпературы до 500-1200° К при том же напряжений в цепи ток падает, так как сопротивление чувствительного элемента в этом интервале температур увеличивается в 10-15 раз. Увеличение сопротивления кар&ща кремния, легированного во время росга кислородом, вызывается собственными дефектами решетки, которые действуют как акцепторы и уменьшают концентрацию электронов в материале в этом температурном интервале на ; 1-2 порядка.
Упрощение технологии изготовления связано с тем, что вырешенные монокристаллы не нуждаются в дальнейшей обработке и защите от окружающей среды методами покрытий и герметизации в отличие от позисторов на основе титаната бария и его твердых растворов. Температурный интервал работы расширяется до 1200 К, в то время как известные позисторы работают до телшератур 473° К. Повышение стабильности происходат за счет того, что чувствительный элемент вьшолнен из монокристалла в отличие от окислов переходных лйталлов, которые при перегревах необратимо изменяют свои свойства.
Предлагаемый позистор позволяет повысить стабильность работы тепловых реле, устротств
встроенной тепловой зашиты электродвигателей, в качестве когорых они используются, и снизить их себестоимость.
Формула изобретения
Позистор, содержащий термочувствительный элемент с омическими контактами, о т л ичающийся тем, что, с целью расширения диапазона рабочих температур позистора, повышения стабильности характеристик и упрощения технологии изготовления, термочувствительиый элемент вьшолнен из монокристалла
кар€мда кремния кубической модификации, легированного кислородом.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1.Патент США N 4086559, кл. Н 01 С 7/04, 25.04.78.
2. Радиотехника и электроника. Вып. 11, 1966, № 5, с. 907 (прототип).
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ТЕРМОРЕЗИСТОРА | 1994 |
|
RU2084032C1 |
Терморезистор, не требующий индивидуальной градуировки | 1990 |
|
SU1737523A1 |
Термочувствительный элемент датчика температуры | 1975 |
|
SU565220A1 |
Способ изготовления термочувствительныхпОлупРОВОдНиКОВыХ элЕМЕНТОВ | 1977 |
|
SU679025A1 |
МИКРОСХЕМА | 1973 |
|
SU365869A1 |
Датчик температуры | 1982 |
|
SU1052887A1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЛОКАЛЬНОГО ИЗМЕРЕНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ ЧАСТЕЙ ТЕЛА | 2000 |
|
RU2158106C1 |
ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ УСКОРЕНИЯ | 2012 |
|
RU2504866C1 |
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ТЕРМОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ СОПРОТИВЛЕНИЯ | 1998 |
|
RU2145135C1 |
Малобазный тензотермодатчик | 1982 |
|
SU1024697A1 |
л
(pLia.l
Авторы
Даты
1981-12-30—Публикация
1979-07-13—Подача