Высоковакуумный маслоуловитель диффузионного насоса Советский патент 1982 года по МПК F04F9/06 

(54) ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ МАСЛОУЛОВИТЕЛЬ ДИФФУЗИОННОГО НАСОСА Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройству маслоуловителей диффузионных вакуумных насосов. Известен высоковакуумный 1маслоуловитель диффузионного насоса, содержащий охлаждаемый корпус с расположенным в нем испарителем титана 1. Однако устройство имеет недостаточную эффективность улавливания обратного потока паров рабочей жидкости из насоса. Цель изобретения - предотвращение обратного потока паров рабочей жидкости из насоса. Указанная цель достигается тем, что испаритель выпрлнен в виде тигля и установленной в нем с возможностью перемещения вдоль оси диафрагмы с центральным отверстием, и над тиглем соосно с диафрагмой расположен выпуклый отражатель, снабженный нагревателем. При этом отражатель имеет диаметр, не превышающий диаметра испарителя. На чертеже представлен маслоуловитель, разрез. Высоковакуумный маслоуловитель диффузионного насоса 1 содержит охлаждаемый корпус 2 с расположенным в нем испарителем титана, причем испаритель выполнен в виде тиг.тя 3 и установленный в нем с возможностью перемещения вдоль оси диафрагмы 4 с центральным отверстием 5. Над тиглем 3 соосно с диафрагмой 4 расположен выпуклый отражатель 6, снабженный нагревателем 7 и имеющий диаметр, не превышающий диаметра испарителя. Маслоуловитель работает следуюасим образом. При включении испарителя образуется молекулярный поток титана, формируемый отверстием 5 диафрагмы 4, который направляется на выпуклый отражатель 6. Температура отражателя 6 поддерживается нагревателем 7 на уровне, при котором все атомы титана полиосгьго отражаются от него. Форма отражателя 6 дает возможность сформировать из отраженного молекулярного потока титана преграду для обратного потока паров рабочей жидкости из диффузионного насоса. Кроме того, за счет диффузии откачиваемого газа в поток испаряемого вещества и создания титановой пленки на о.хлаждаемой поверхности, увеличивается и быстрота действия откачной системы.

Формула изобретения

1. Высоковакуумный маслоуловитель диффузионного насоса, содержащий охлаждаемый корпус с расположенным в нем испарителем титана, отличающийся тем, что, с целью предотвращения обратного потока паров рабочей жидкости из насоса, испаритель выполнен в виде тигля и установленной в нем с возможностью перемещения вдоль оси диафрагмы с центральным отверстием, и над тиглем соосно с диафрагмой расположен выпуклый отражатель, снабженный нагревателем.

2. Маслоуловитель по п. 1, отличающийся тем, что отражатель имеет диаметр, не превыщающий диаметра испарителя.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР № 166994, кл. F 04 F 9/06, 1963.