Высоковакуумная ловушка диффузионного насоса Советский патент 1987 года по МПК F04F9/06 

./

Высоковакуумная ловушка относится к вакуумной технике, а именно к устройствам улавливающим масло на входных патрубках вакуумных диффузионных насосов.

Целью изобретения является повышение защитных свойств ловущки.

На чертеже представлена схема высоковакуумной ловушки диффузионного насоса.

Ловушка диффузионного насоса 1 содержит охлаждаемый корпус 2, расположенный в нем испаритель титана и нагревательный 10 элемент 3, причем испаритель титана выполнен в виде двух оптически непрозрачных решеток 4 и 5 пластин 6 титана, наклонных к оси корпуса 2 в противоположных направлениях под одинаковыми углами, а нагревательный элемент 3 размещен между решет- ками 4 и 5.

Высоковакуумная ловушка работает следующим образом.

При включении нагревательного элеменКроме того, происходит разложение углеводородов на нагретых поверхностях на легко откачиваемые газы, которые частично откачиваются диффузионным насосом 1 и частично диффузируют в поток испаряемого титана.

Образуемая титановая пленка на охлаждаемой поверхности корпуса ловушки обладает откачивающей способностью, что увеличивает скорость откачки вакуумной системы и улучшает предельный вакуум.

Формула изобретения

Высоковакуумная ловушка диффузионного насоса, содержащая охлаждаемый корпус, расположенный в нем испаритель титана и нагревательный элемент, отличающаяся тем, что, с целью повышения зашит- та 3 каждая из решеток 4 и 5 образует мо- JQ ных свойств, испаритель титана выполнен лекулярные потоки титана, направленныев виде двух оптически непрозрачных решеток

под углом друг к другу, что обеспечиваетпластин титана, наклоненных к оси корпуса

надежную преграду для обратного потокав противоположных направлениях под одипаров рабочей жидкости из диффузионногонаковыми углами, а нагревательный элемент

насоса 1.размещен между решетками.

Кроме того, происходит разложение углеводородов на нагретых поверхностях на легко откачиваемые газы, которые частично откачиваются диффузионным насосом 1 и частично диффузируют в поток испаряемого титана.

Образуемая титановая пленка на охлаждаемой поверхности корпуса ловушки обладает откачивающей способностью, что увеличивает скорость откачки вакуумной системы и улучшает предельный вакуум.

Формула изобретения