Турбомолекулярный насос Советский патент 1982 года по МПК F04D19/04 

1

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройству турбомолекулярных вакуумных насосов.

Известен турбомолекулярный насос, содержащий корпус и размещенный в нем облопаченный ротор, расположенный на валу, установленном в радиальных и опорном газовых подшипниках. Электродвигатель насоса размещен вне корпуса и связан с валом посредством магнитной муфть} 1.

Недостатком известного насоса являют ся его большие габариты.

Известен также турбомолекулярный насос, содержащий корпус и размещенные в нем облопаченный ротор и ротор встроенного электродвигателя, соосно расположенные на вертикальном валу, установленном в радиальных и опорном подшипниках 2.

Однако размещение встроенного электродвигателя в области проточной части насоса снижает его производительность и увеличивает радиальные габариты.

Цель изобретения - увеличение производительности и уменьшение радиальных габаритов.

Указанная цель достигается тем, что в устройстве ротор электродвигателя установлен под радиальными подшипниками и служит пятой опорного подшипника.

На чертеже представлена принципиальная схема насоса, продольный разрез.

Турбомолекулярный насос содержит корпус 1 и размешенные в нем облопаченный ротор 2 и ротор 3 встроенного электродвигателя, соосно расположенные на вертикальном валу 4, установленном в радиальных и опорном газовых подшипниках 5-7, причем ротор 3 электродвигателя установлен под радиальными подшипниками 5 и 6 и служит пятой опорного подшипника 7.

Насос работает следующим образом.

При подаче рабочего газа в подшипники 5-7 облопаченный ротор 2 насоса приходит во взвешенное состояние и подвод питания к электродвигателю обеспечивает разгон ротора 2 и нормальную работу насоса.

Установка ротора электродвигателя под радиальными газовыми подшипниками и выполнение им функций пяты опорного подшипника позволяет повысить производительность насоса за счет увеличения проточной