Горизонтальный турбомолекулярный насос Советский патент 1993 года по МПК F04D19/04 

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен горизонтальный трубомолекулярный насос, состоящий из чередующихся статорных и роторных дискоз и механических опор, установленных по обоим концам вала ротора.

Недостатком этой конструкции является наличие в вакуумной полости паров масла, без которого механические опоры работать не могут.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемому результату является горизонтальный турбомолекулярнмй насос, содержащий Корпус и установленный в нем на двух осевых и двух радиальных электромагнитных опорах ротор. : : , .. -,: ,- V - ... :, Ч

Такая конструкция позволяет избежать наличия паров масла в вакуумной полости насоса.-; .;;.- - v - .

Однако недостатком известного насоса является его низкая эксплуатационная надежность, обуслОвленнаятем, что при изменении температуры во время работы насоса в результате температурного расширения вала ротора насоса изменяется :зазрр в его осевых электромагнитных onopjx на вели41itiy, соизмеримую с величиной установочного зазора в осевой электромагнитной .опоре.. .. / ,. :;;- . - .,;,. . : ,: Целью изобретения является повышение эксплуатационной надежности насоса путем улучшения осевой стабилизации ротора при различных температурных режимах работы насоса.

Указанная цель достигается тем, что в горизонтальном турбомолекулярном насог се, бодержащем корпус и установленный в нем на двух осевых и двух радиальных электромагнитных опорах ротор, обе осевые опоры расположены с одной стороны консоли вала ротора с зазороМ одна относительно другой.

.-.,,.;,...

Начертеже изображен разрез описываемого насоса. Горизонтальный турбомолекулярный насос содержит корпус 1 установленный в нем на двух осевых 2 и 3 и

двух радиальных 4 и 5 электромагнитных опорах ротор 6. Обе осевые опоры 2 и 3 расположены с одной стороны консоли вала ротора б с зазором 5 одна относительно другой.

На роторе 6 размещен электродвигатель 7. Осевые опоры 2 и 3 содержат якоря 8 и 9. Кроме того, на роторе размещены роторные диски 10, а на внутренней поверхности корпуса 1 статорные диски 11.

Насос работает следующим образом. При подаче питания на асевые и радиальные опоры осуществляется бесконтактная подвеска ротора 6. Полость корпуса 1 вакуумируется, а затем электропитание подается на электродвигатель 7. При вращении ротора 6 за счет взаимодействия роторных дисков ТО и статорных дисков 11 образуется газовый поток, создающий разрежение в откачиваемом обьеме. Температура ротора 6 турбомолекулярного насоса во время его работы колеблется от температуры окружающей с редьг{ 20С) до температуры 100°С,рбусловленной выделением теплав роторах электромагнитных опор и электродвигателя. Однако это не может привести к измеиению осейрго зазора д в осевых Ьпорах. так какобв они размещенына ОДНОЙ консоли вала ротора и расстояние между их якорями (10-15 мм), выбранное из условия минимального взаимодействия потоков рассеяиия осевых электромагнитных опор, таково, что температурные изменения его несоизмеримо меньше установочного эазора--..- , .. , . : ч . ..- . в описываемом насосе изменение зазора между осейыми опорами при температурных колебаниями составляет 0,013 мм, что в 150 раз меньше изменения зазора в известных насосах.

Таким обраэом, размещение осевых опор с одной стороны консоли вала увеличивает надежность работы насоса.

(56) Авторское свидетельство СССРМг 170609, кл. F 04 О 19/04, 1963.

Патент Великобритании INfe 1479669, кл. F 1 С, 1968,

511300406

Формула изобретенийвышвния эксплудтационкой надежности

гоРизот7и1ьный ТУРБОШШ. S;: :

ЛЯРНЫЙ НАСОС, содержащий корпус и режимах работй насоса, обе осевые опоры установленный в нем на двух осевых м расположены с одной стороны консоли аадвух радиальных электромагнитных опер&х да ротора с зазором одна относительно ротор, отличающийся тем, что. с целью яс другой.

/ /