Вертикальный турбомолекулярный насос Советский патент 1985 года по МПК F04D19/04 

П М К)

1

1

Изобретение опгосится к вакуумной технике.

Известен турбомолекулярный наа)с, ротор которого установлен на механических подшипниках t.

Недостатком этого насоса является невозможность получения высокого вакуума из-за наличия паров масла, циркулирующего крез мехаюпескйе поднтипники.

Известен также вертикальный турбомолекулярный насос, содержащий корпус. размеШеиный в нем вал, на котором установлен колоколо)бразный ротор, и два радиальных магнитных подишпника 2.

Недостатком известного насоса является невозможность увеличения его производительности. Это обусловлеио тем, что обе опоры вала и его лфивод размещены внутри колоколоо азного ротора, объем которого .ограничен, а увеличение дааметра колоколообразного ротора невозможно из-за высоких мехаштеских напряжений, возникающих при его работе.

Целью юобретения является повышение 1фоизво01тельности.

Указаниая цель достетается: тем, что в вертикальном турбомолекулярном наоосе, содержа1Е(ем размещенный в корпусе вал, на котором устанс лен колоколообразный ротор, и два радаалышх магнитных подишпника, в корпусе дополнительно размещена неподвижшш шипш ипеская вставка и один подиашшк расположен меж;цу ротсцюм и вставкой, а {фугой - между вставкой и валом.

772

На чертеже изображен предлагаемый насос, продольный разрез.

Вертикальный турбомолекулярный насос содержит корпус 1, размещенный в нем вал 2, на котором установлен колоколообразный ротор 3, и два радиальных клагнитных подшипника 4 и S. В корпусе 1 дополнительно размещена неподвижная цилиндрическая вставка б,

один подщишшк 5 расположен между ротором 3 и вставкой 6, а другой - между вставкой б н валом 2. Вал 2 приводится во вращеиие электродвигателем 7, а корпус 1 и ротор 3 снабжены дисками 8 и 9 соответственно.

Для работы насоса его полость откачивается форбакуумным насосом и подается питание на магнитные подшипники 4 и 5.

Благодаря злектромагнитному ьзаимодейств ю элементов подшипников 4 и S ротор 3

занимает положение устшчивого равновесия без контакта с неподвихшыми злементами.

При подаче электропитания на электродвигатель 7 начинает вращаться вал 2 с колоколообразным ротором 3.

В результате взаимодействия дисков 8 и 9 осуществляется откачка насосом подключенных емкостей.

Р мещение магнитного подшипника между ротбром и шлиндрической вставкой позволяет увеличить его несущую спосо&юсть, что

npHBoJQiT к возможности повысить мощность электродвигателя и, как результат, 1фоизводительностъ насоса.

ВЕРТИКАЛЬНЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯШЫЙ НАСОС, содержащий размещенный в корпусе вал, на котором установлен колоколообразный ротор, и два радиальных магнитных подшипника, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности, в корпусе дополнительно размещена неподвижная цилиндрическая BCiaBiv ка и один подаштник расположен между ротором и вставкой, а другой - между вставкой и валом.