(54) СПЕКТРОМЕТР ФАБРИ-ПЕРО
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Интерференционный спектрометр | 1980 |
|
SU935716A1 |
| ОПТИЧЕСКИЙ ФИЛЬТР ФАБРИ - ПЕРО | 1992 |
|
RU2054639C1 |
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ С НАНОМЕТРОВОЙ ТОЧНОСТЬЮ В БОЛЬШОМ ДИАПАЗОНЕ ВОЗМОЖНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ | 2012 |
|
RU2502952C1 |
| Устройство для контроля направляющих | 1982 |
|
SU1073565A1 |
| ПРИВОД ДЛЯ СКАНИРОВАНИЯ В СПЕКТРОМЕТРЕ ФАБРИ-ПЕРО | 1970 |
|
SU270289A1 |
| Интерференционное устройство для измерения размеров деталей | 1982 |
|
SU1052856A1 |
| Привод подвижного зеркала интерферометра | 1975 |
|
SU641273A1 |
| УСТРОЙСТВО ЭЛЕКТРИЧЕСКИ УПРАВЛЯЕМОГО ОПТИЧЕСКОГО ПРИБОРА И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ | 2014 |
|
RU2572523C1 |
| Миниатюрный волоконно-оптический датчик ускорения | 2022 |
|
RU2806697C1 |
| ПЕРЕСТРАИВАЕМЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ФАБРИ-ПЕРО | 1995 |
|
RU2091732C1 |
1
Изобретение относится к технической физике и может быть использовано в интерференционных тфиборах.
Известно интерференционное устройст- во для измерений малых перемещений, содержащее неподвижное и подвижное .. зеркала, последнее из котор ых закреплено на поверхности пружинящей мембраны
ш.
Наиболее близким к изобретению техническим решением является спектрометр Фабри-Перо, содержащий две плаотиньт Фабр -Перо и две симметричные мембраны, соединенные подвижным и неrtoдвvacным цилиндрами, и приводное устройство, кинематически связанное с подвижным цилиндром 121Недостатком известных устройств является низкая точность измерений.
Цель изобретения - повышет1е точности измерений.
Поставленная цель достигается тем, что в спектрометр Фабри-Перо,со держащий две пластины Фабри-Перо и две симметричные мембраны, соединенные подвижным и неподвижным шшиндрами и приводное устройство, кинематически связанное с поовижным ивпинарсжг, введен третий шипиндр, подвешенный на мембранах коаксиально первым двум ивн линдрам и между ними , а вторая пластина Фабри-Перо закреплена на третьем цилиндре.
На фиг. 1 изображен спектрометр
10 Фабри-Перо; на фиг. 2 - вид А на фиг. 1.
Спектрометр состоит из пластины Фабри-Перо 1, закрепленной в направляющих 2, сканируемой пластины 3, закреп ленной на подвижном цилиндре 4, установ15ленном между симметричными мембранами 5, цилиндра 6, jk кЬтор.ому прижимае-рся рычаг 7 пружиной 8. Мембраны 5 за-г креплены в цилиндрическом корпусе 9. Между цилиндром 4 и корпусом 9 по ок20ружности через 12О° установлены три иглы 1О. Рычаг 7 кинематически связан с кулачком 11. Кулачок 11 вращается от двигателя 12 через редуктор 13.
