Привод подвижного зеркала интерферометра Советский патент 1979 года по МПК G01B9/02 

1

Изобретение относится к оптико-интерференционным устройствам и может быть использовано в быстросканирующнх Фурьеспектрометрах низкого разрешения и спектрометрах Фабри-Перо.

Известны.приводы подвижного зеркала интерферометров, в которых для перемещения зеркала используются пьезодвигателн }, либо линейные двигатели электромеханического тнпа |2|.

Известный прнвод подвижного зеркала интерферометра {3} содержит неподвижный шток и мембраны, укрепленные с одной стороны на штоке, а с другой - на неподвижном основании.

Недостатком известного устройства является иалнчие паразитной модуляцин на выходе интерферометра, которая обусловлена наличием переменной составляющей наклонов зеркала прн движении, вследствие ошибок соосности и параллельности установки мембран, приводящей к паразитной модуляцин полезного сигнала.

Целью изобретения является уменьшение паразитной модуляции выходного снгнала.

Указанная цель достигается тем, что в приводе подвижного зеркала внтерферомет2.

ра известной конструкции, содержащем шток, неподвижное основание и мембраны, укрепленные с одной стороны на штоке, а с другой - на неподвижном основании, он снабжен двумя рамками с выступами, при

этом рамки устанооилены на неподвижном основании, а одна мембрана защемлена между выступами.

Конструкция привода подвижного зеркала изображена на чертеже.

Устройство содержит неподвижное зеркало I, подвижное зеркало 2, подвижный шток 3, неподвижное основание 4, мембраны 5 и 6, рамки 7 и 8 с выступами и двигатель 9.

Привод работает следующим образом.

В сканирующем интерферометре неподвижное зеркало расположено параллельно подвижному зеркалу 2, которое установлено на одвчжном штоке 3, соединенном с меподвижным основанием 4 мембранами 5 и б. Мембрана 6 защемлена между соеднненнымн с неподвижным основанием рамками7 и 8, имеющими выступы. Подвижный шток соединен с двигателем 0.

Оптическое излученне, попавшее в интерферометр, подвергаетсй многократному от