Способ формирования защитного покрытия и устройство для его осуществления Советский патент 1982 года по МПК H05K3/00 B05D7/24 

(S) СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ЗАЩИТНОГО ПОКРЫТИЯ И УСТРОЙСТВО для ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ

-.. 1

Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов и ИИ

тегральных схем и может быть использовано для нанесения покрытий, защищающих поверхность фотошаблонов или полупроводниковых пластин .например, при межоперационном хранении.

Известны способ и устройство для нанесения покрытия, например фоторезиста, лака, на пластины. Способ заключается в том, что на пластину наносят дозу фоторезиста (или лака) и центрифугируют в течение определенного времени U

Устройство для осуществления данного способа содержит сборник фоторезиста с установленным внутри . него валом центрифуги, имеющим вакуумный держатель пластины СОНедостатком известного способа и устройства является то, что они не обеспечивают нанесение одинакового по толщине покрытия по всей пло1цади пластины, так как в центре вращения

пластины отсутствуют центробежные силы.

Наиболее близким к предлагаемому является способ формирования покрытия, включающий нанесение дозы материала покрытия на подложку и центрифугирование .2..

Также наиболее близким к изобретению является устройство, содержащее сборник покрытия и установ10ленный внутри вал центрифуги с держателем подложек, размещенным в торце вала. Вал центрифуги снабжен направляющими, расположенными в плоскости, перпендикулярной оси

15 -вращения вала t2l.

Недостатки известного способа и устройства для его реализации заключаются в том, что они не позволяют сократить время технологийес20 .кого процесса на операции удаления защитного покрытия. Это связано с тем, что при нанесении равномерного тонкого слоя защитного покрытия известным способом требуется большая трудоемкость, чтобы удалить это покрытие. Если же наносить утолщенный слой, то это требует перерасхода материала покрытия, например лака. Цель изобретения - упрощение технологического процесса. Поставленная цель достигается тем, что в известном способе формирования покрытия, включающем нанесение дозы материала покрытия на подложку и центрифугирование, при центрифугировании по периметру подложки создают разрежение. Кроме того, поставленная цель доЬтигается тем что известное устройство для формирования покрытия, со- держащее центрифугу с валом и держатель подложки, размещенный на торце вала, снабжено кольцевым вакуумным соплом, наружный диаметр которого оп ределяют из соотношения D$d, где D наружный диаметр сопла; d - диаметр подложки. На фиг.1 изображено устройство для формирования защитного покрытия; на фиг.2 - подложка с защитным покры тием. Устройство для нанесения покрытия (фиг.1) содержит сбо&ник 1 покрытия, внутри которого установлен- вал 2 цен трифуги с. держателем 3 для подложек 4, камеру 5, подвижно установленную соосно над держателем пластин и выполненную с кольцевым соплом 6. Каме ра 5 соединена с вакуумной снстемой 7. Наружный диаметр сопла определяют из соотношения , где D - наруж ный диаметр сопла, ad- диаметр под ложки . Устройство работает следующим образом. Подложку 4 устанавливают на держа тель 3, закрепленный на валу 2 центрифуги, подают дозу лака на верхнюю поверхность, опускают камеру 5 и вкл чают электродвигатель (не показан) центрифуги. Одновременно с этим каме ру 5 подключают к вакуумной системе За счет центробежных сил лак от цент ра растекается в стороны, покрывая всю-поверхность подложки. При этом к мера 5 установленная соосно с подлож кой k, удерживает часть сбрасываемог покрытия 8 по периметру подложки з счет создания разрежения концентрической зоны над поверхностью подложки с «помощью кольцевого паза 6, выполненного в камере 5. При этом происходит уравновешивание сил внутреннего сцепления покрытия, образовавшихся за счет разреженной зоны над подложкой и центробежных сил. После этого сброс покрытия в сборник прекращается. Образуется утолщенный валик 9 по периметру покрытия 8. Затем по истечении определенного времени электродвигатель отключают ,центрифуга ост анавли вается. Камеру 5 поднимают, отключая при этом от вакуумной магистрали. Подложку снимают с держателя и передают на следующую операцию. Цикл .повторяется. Полученный таким образом утолщенный валик 9 порядка 1-1,5 мм при снятии покрытия исключает разрыв пленки лака на краях подложки и способствует быстрому удалению защитной пленки с поверхности подложки. Использование изобретения позволит упростить технологический процесс и увеличить производительность на операции удаления защитного покрытия на Формула изобретения 1, Способ (top ми PV) в а ни я защитного покрытия, включающий нанесение дозы материала покрытия на подложку и центрифугирование, отличающийс я тем, что, с целью упрощения технологического процесса, при центрифугировании по периметру подложки создают разрежение. 2, Устройство для осуществления способа формирования защитного покрытия , содержащее центрифугу с валом и держатель подложек, размещенный на торце вала, отличающееся тем, что оно снабжено кольцевым вакуумным соплом, наружный диаметр которого определяют из соотношения , где D - наружный диаметр сопла; d диаметр подложки. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР № 358019, кл. В Ok В 5/00, 1973. 2.Авторское свидетельство СССР If 6605, кл. В В 5/00, 1975. (прототип).

9 8

Фиг. I