Турбомолекулярный вакуумный насос Советский патент 1982 года по МПК F04D19/04 

(S) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к BaKyyM ной технике-, а именно к устройству турбомолекулярных вакуумных насосов Наиболее близким к предлагаемрМу является турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус и размеченный в нем с зазором цилиндрический ротор с лопатками, расположенными параллельно оси насоса 1. Недостатком известного насоса является снижение степени сжатия отдельных ступеней, вследствие уменьшения линейной скорости лопаток по мере приближения к оси насоса. Целью изобретения является повышение степени окатия. Указанная цель дoctигaeтcя тем, что в роторе установлены поперечные перегородки, разделяющие его на ряд ступеней, причем в перегородках перед каждой нечетной по ходу откачива емого газа ступенью выполнены радиал ные прорези, в зазоре на уровне пере городок с прорезями расположены уп|лотняющие элементы, а лопатки в чет ных и нечетных ступенях выполнены с противоположными углами наклона. На фиг.1 представлен насос, продольный разрез; на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1; на фиг.З - разрез Б-Б на фиг.1; на фиг.А - разрез В-В на фиг.1. Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 и размещенный в нем с зазором цилиндрический ротор 2 с лопатками 3 расположенными параллельно оси насоса, при этом в роторе 2 установлены поперечные перегородки k и S, разделяющие его на ряд ступеней, причем в перегородках k перед каждой нечетной по ходу откачиваемого газа ступенью выполнены радиальные прорези 6, в зазоре на уровне перегородок 4 с прорезями 6. расположены уплотняющие элементы 7 а лопатки 3 в четных и нечетных ступенях выполнены с противоположными углами наклона. 391 Насос работает следующим образом. Газ из откачиваемого объема поступает к прорезям 6 в перегородке А перед первой ступенью насоса, выполняющим функции рабочего колеса с осевым потоком газа. Затек} он поступает к лопаткам 3 расположенным на цилиндрической поверхности ротора 2. Здесь газ имеет радиальное направление от центра к периферии. Попадая в зазор между ротором 2 и корпусом 1 газ меняет направление вследствие изменения угла наклона лопаток второй ступени на противоположный по отношению к первой ступени и движется от периферии к центру насоса. Далее процесс повторяется аналогично первой ступени и газ нагнетается в форвакуумную магистраль. Таким образом, лопатки всех ступеней имеют максимально допустимую линейную скорость, которая обеспечивает повышенную степень сжатия насоса.

0vg.f Формула изобретения Турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус и размещенный в нем с зазором цилиндрический ротор с лопатками, расположенными параллельно оси насоса, отличающийся тем, что, с целью повышения степени сжатия, в роторе установлены поперечные перегородки, разделяющие его на ряд ступеней, причем в перегородках перед каждой нечетной по ходу откачиваемого газа ступенью выполнены радиальные прорези, в зазоре на уровне перегородок с прорезями расположены уплотняющие элементы, а лопатки в четных и нечетных ступенях выполнены с противоположными углами наклона. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1 Авторское сЁидетельство СССР fP , кл. F 0 D , 196.

S-S pi 36epfftf(ff

J-€

Фг/г.З

в-8 разбёртко