Турбомолекулярный вакуумный насос Советский патент 1987 года по МПК F04D19/04 

1

1302023

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям тур- бомолекулярных вакуумных насосов и является усовершенствованием изобретения Tio авт.св.№ 918552.

Цель изобретения - повышение степени сжатия насоса.

На фиг.1 представлен насос с двухсторонней конусностью уплотняющих элементов, продольный разрез; на фиг.2 - то же, с одноеторонней конусностью уплотняющих элементов.

Турбомолекулярный вакуумньй насос . содержит корпус 1 и размещенньм в нем с зазором цилиндрический ротор 2. с лопатками 3,- расположенными параллельно оси насоса. В роторе 2 установлены поперечные перегородки 4 и 5, разделяющие его на ряд ступе - ней, причем в перегородках 4 перед каждой нечетной по ходу откачиваемого газа ступенью выполняют радиальные прорези 6, в зазоре на уровне перегородок 4 с прорезями 6 расположены уплотняющие элементы, а лопатки 3 в четйых и нечетных ступенях выполto

15

20

25

полнены в виде конических выступов 7, обращенных вершинами к оси корпуса I.

Иасос работает следующим образом.

Газ из откачиваемого объема поступает в корпус 1 насоса, где молекулы его взаимодействуют с лопатками 3 ротора,2 и получают импульс в направлении откачки. Молекулы, попадающие в пространство соседними ступенями, соударяются с поверхностями перегородок 5 и выступов 7, причем форма этих поверхностей обуславливает преимущественное отражение ударяющихся молекул газа в направлении последующей ступени и тем самым обеспечивается наименьшее отражение в сторону : предьщущей ступени, что позволяет снизить обратные перетечки газа в насосе и, следовательно, повысить его степень сжатия.

Формула изобретения

Турбомолекулярный вакуумный насос по авт.св.№ 918552, отличающийся тем, что, с целью повышения степени сжатия, поперечные перегородки перед каждой четной ступенью имеют переменную толсдину, уменьшаюнены с противоположными углами накло х,.-™. .- ,- , .

на. Поперечные перегородки 3 перед О щуюся к их периферии, а уплотняющие каждой четной ступенью имеют перемен- элементы выполнены в виде конических кую толщину, уменьшающуюся к их пе- выступов, обращенных вершинами к оси риферии, а уплотнямщие элементы вы- корпуса.

o

5

0

5

полнены в виде конических выступов 7, обращенных вершинами к оси корпуса I.

Иасос работает следующим образом.

Газ из откачиваемого объема поступает в корпус 1 насоса, где молекулы его взаимодействуют с лопатками 3 ротора,2 и получают импульс в направлении откачки. Молекулы, попадающие в пространство соседними ступенями, соударяются с поверхностями перегородок 5 и выступов 7, причем форма этих поверхностей обуславливает преимущественное отражение ударяющихся молекул газа в направлении последующей ступени и тем самым обеспечивается наименьшее отражение в сторону : предьщущей ступени, что позволяет снизить обратные перетечки газа в насосе и, следовательно, повысить его степень сжатия.

Формула изобретения

Турбомолекулярный вакуумный насос по авт.св.№ 918552, отличающийся тем, что, с целью повышения степени сжатия, поперечные перегородки перед каждой четной ступенью имеют переменную толсдину, уменьшаю х,.-™. .- ,- , .

О щуюся к их периферии, а уплотняющие элементы выполнены в виде конических выступов, обращенных вершинами к оси корпуса.

Изобретение относится к вакуумной технике, и позволяет повысить степень сжатия насоса. Ротор 2 поперечными перегородками (ПП) 4 и 5 разт делен на ряд ступеней (С). ПП 5 перед каждой четной по ходу откачивае мого газа С имеют переменную толщину, уменьшающуюся к их периферии. В ПП 4 перед каждой нечетной С выполнены радиальные прорези 6 и на уровне ПП .4 в зазоре расположены уплотняющие элементы, выполненные в виде конических выступов 7, обращенных вершинами к оси корпуса 1. Форма поверхностей ПП 5 н выступов 7 обусловливает преимущественное отражение молекул газа в направлении последующей С, что снижает обратные перетечки газа. 2 ил. (Л к

ВНИШИ З.аказ 1200/35 Тираж 575Подписное

Произв.-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул; Проектная, 4