Изобретение относится к радиоизмерительной технике, предназначено для измерения полных проводимостей и добротности различных линейных и нелинейных элементов с повышенной точностью в широком диапазоне рабочих частот и может быть использовано при технологическом контроле параметров полупроводниковых приборов и других объектов с неблагоприятными соотношениями составляющих полных проводимостей.
Известно устройство для измерения добротности и емкости полупроводниковых приборов, основанное на компенсации активных потерь в измерительном блоке при его ударном возбуждении и содержащее генератор запускающих импульсов, блок управления, усилитель-ограничитель разнополярных импульсов, сравнивающий и индикаторный блоки, аналоговый делитель, а также исследуемый элемент с источником и измерителем напряжения смещения и управляемые образцовые отрицательную активную и реактивную проводимости 1 .
Указанное устройство способно работать на повышенных частотах, однако
оно не обеспечивает необходимую точность и быстродействие измерений.
Известно также устройство для измерения полных проводимостей и добротности нелинейных элементов, содержащее генератор запускающих импульсов, блок управления, соединенный с входом измерительного блока, дифференцирующий и сравнивающий бло10ки, усилитепь-ограничитель, аналоговый делитель, индикаторный блок, источник . и измеритель напряжения смещения, управляемые образцовые активную и реактивную проводимости, а так15же блок регистрации экстремума, переключатель, два синхронных демодулятора, RS- и Т-триггеры, два элемента И, элемент НЕ, элемент ИЛИ и интегратор. Принцип работы устройства ос20нован на формировании и модуляции путем коммутации исследуемого элемента в измерительном блоке ударно возбуждаемых четвертьволновых колебаний с последующим анализом их ам25плитуды и периода, а также полной компенсацией измеряемых параметров отрицательными составляющими образцовых проводимостей 2 .
Известное устройство обладает повышенным быстродействием и предназ30начено для работы в области относи-тельно низких частот. С повЕзпиением частоты из-за ограниченной разрешающей способности сравнивающего блока и интегратора не удается с требуемой степенью точности осуществлять уранновешивание систем автокомпенсации активных и реактивных составляющих в измерительном блоке устройства, чт резко снижает точность измерений параметров нелинейных элементов. Цель изобретения - повышение точности измерений и расширение частотного диапазона работы устройства. Для достижения поставленной цели в устройство для измерения параметров нелинейных элементов, содержащее блок управления, соединенный с входом измерительного блока, блок регистрации экстремума, подключенный к первому выходу измерительного блока, дифференцирующий и сравнивающий блоки, интегратор, аналоговый де литель, первый и второй входы которого подключены соответственно к выходам сравнивающего блока и интегратора, переключатель, информационный вход которого подключен к второму выходу измерительного блока, два элемента И, элемент НЕ, элемент ИЛИ, RS-триггер, выход которого соединен с входом блока управления, Т-триггер прямой выход которого соединен с управляющим входом переключателя и одним из входов первого элемента И, а инверсный - с одним из входов второго элемента И, два синхронных демо дулятора, управляющие входы которых соответственно соединены с выходами первого и второго элементов И, а выходы - с соответствующими входами сравнивающего блока, генератор запус кающих импульсов, соединенный с уста новочным входом Т-триггера и одним . из входов первого элемента ИЛИ, исто ник напряжения смещения, соединенный с одним из зажимов для подключения исследуемого нелинейного элемента, индикаторный блок, раздельные входы которого подключены соответственно к выходам интегратора, сравнивающего блока, аналогового делителя иисточника напряжения смещения, а также управляемые образцовые активную и ре активную проводимости, одни выводы которых совместно с выходом переключателя соединены с другим зажимом для подключения исследуемогонелинейного элемента, другие выводы - с общей точкой устройства, а управляющие входы управляемой образцовой активной проводимости - соответственно с выходами сравнивающего блока и управляемой образцовой реактивной проводимости с выходом интегратора, введены компаратор, элемент ЗАПРЕТ, второй элемент ИЛИ, третий элемент И цифровой элемент задержки, второй RS-триггер и делитель частоты с переменным коэффициентом деления, причем один из входов компаратора соединен с общей точкой устройства, второй - с первым выходом измерительного блока, а выход - с одним из входов третьего элемента И, другой вход которого подключен к выходу блока регистрации экстремума, выход .третьего элемента И соединен непосредственно со счетным входом делителя частоты с переменным коэффициентом деления и через элемент НЕ с одним из входов второго элемента ИЛИ, установочный вход делителя частоты с переменным коэффициентом деления и второй вход элемента ИЛИ подключены к выходу генератора запускающих импульсов, а их выходы соединены соответственно с S- и R-входами второго RS-триггера, прямой выход которого соединен непосредственно с другими входами первого и второго элементов И, а инверсный через дифференцирующий блок соединен с прямым входом элемента ЗАПРЕТ, инверсный вход которого соединен с выходом генератора запускающих импульсов, а выход со счетным входом Т-триггера и другим входом первого элемента ИЛИ, выход которого соединен непосредственно с R-входом и через цифровой элемент задержки с S-входом первого RS-триггера, при этом входы интегратора подключены к соответствующим выходам Т-триггера а информационные входы обоих синхронных демодуляторов подключены к первому выходу измерительного блока. На фиг.1 представлена структурная схема устройства для измерения параметров нелинейных элементов; на фиг. 2 - диаграмгИ, поясняющие принцип измерений и работы устройства. Устройство для измерения параметров нелинейных элементов содержит измерительный блок 1, к которому через переключатель 2 подключен исследуемый нелинейный элемент 3 с источником 4 напряжения смещения, с помощью которого задается необходимый режИм измерения исследуемого нелинейного элемента 3. Ударное возбуждение колебаний в измерительном блоке 1 осуществляется с помощью системы, в состав которой входят блок 5 регистрации экстремума, компаратор 6, третий элемент. И 7, элемент НЕ 8, второй элемент-ИЛИ 9, делитель 10 частоть с переменным коэффициентом деления, второй RS-триггер 11, дифференцируювщй блок 12, элемент ЗАПРЕТ 13, первьлй элемент ИЛИ 14, цифровой элемент 15 задержки, первый RSтриггер 16 и блок 17 управления. В данном устройстве блок 5 регистрации экстремума выполнен двухполярным. Т-триггер 18 управляет переключателем 2 и создает информацию о периодах колебаний в измерительном блоке 1 для канала измерения реактивной составляющей проводимости исследуемы элементов, в состав которого входят интегратор 19 и управляемая образцовая реактивная проводимость 20, В состав канала измерения активной соста ляющей, анализирующего информацию об амплитудах колебаний в измерительном блоке 1, входят первый и второй синхронные демодуляторы 21 и 22, сравнивающий блок 23 и управляемая образцовая активная проводимость 24 Образцовые управляемые активная 24 и реактивная 20 проводимости выполнены отрицательными. Аналоговый делитель 25 позволяет получить непосредственный отсчет добротности исследуемых нелинейных элементов. Синхронизация канала измерения активной составляющей проводимости осуществляется импульсами, образующимися на выходах первого и второго элементов И 26 и 27. Начальные условия работы всего устройства в целом обеспечиваются генератором 28 запускающих импульсов, а регистрация всех измеряемых параметров, включая напряжение смещения исследуемого элемента, осуществляется с помощью индикаторного блока 29.
Устройство работает следующим образом.
Динамику процессов, протекеиощих в устройстве,проследим, начиная с момента времени, когда происходит установление начальных условий работы отдельных блоков. При этом независимо от состояния последних относительно короткий прямоугольный импульс (фиг.2а) генератора 28 запускающих импульсов через элемент ИЛИ 14 воздействует на R-вход первого RS-.триггера 16 и устанавливает его в исходное (нулевое) состояние, при котором блок 17 управления шунтирует измерительный блок 1 и колебания в нем. отсутствуют. Одновременно с этим импульс генератора 28 запускающих импульсов, поступая непосредственно на установочные входы делителя 1Q частоты с переменным коэффициентом деления и Т-триггера 18 и через элемент ИЛИ 9 на R-вход второго RS-триггера 11, фиксирует последние в исходных состояниях. Этот же импульс, попадая на инверсный вход элемента ЗАПРЕТ 13, предотвращает на время своей длительности появление на его выходе каких-либо импульсов, образующихся, например, в результате переключения второго RSтриггера 11 и последующей обработки в дифференцирующем блоке 12, что исключает ложное срабатывание Т-триггера 18,а в дальнейшем, и первого RS-триггера 16. Возникший низкий потенциал на прямом выходе Т-триг-.
гера 18 размокает переключатель 2 и предотвращает появление импульса на выходе первого элемента И 26, а высокий потенциал, действующий на инверсном выходе, способствует образованию такового на выходе второго элемента И 27, однако в данный момент времени из-за того, что на. прямом выходе второго RS-триггера 11 существует низкий потенциал, этот и лпульс отсутствует. Имеющийся-высоoкий потенциал на инверсном выходе Т-триггера 18 поступает также на один из входов интегратора 19, где подле|Жит время-амплитудному преобразованию .
5
По истечении интервала времени Ст , определяющегося временем установления переходных процессов, протекающих в устройстве, на выходе цифрового элемента 15 задержки появляет0ся задержанный импульс (фиг.26) генератора 28 запускающих импульсов, который, воздействуя на З-вход первого RS-триггера 16, переводит его в единичное состояние (фи1;.2в), что вызывает посредством блока 17 управ5ления ударное возбуждение колебаний (фиг.2г) в измерительном блоке 1. Возникающие колебания с определенной начальной фазой, например такой, которая показана на фиг.2г, подверга0ются преобразованию в блоке 5 регистрации экстремума и компараторе 6, а также поступают для анализа на информационные входы синхронных демодуляторов 21 и 22. Компаратор 6 форми5рует прямоугольные импульсы (фиг.2д), фазы которых соответствуют переходу исходного колебания (фиг.2г) через нуль(один вход компаратора 6 соединен с общей точкой устройства), а блок 5
0 регистрации экстремума - аналогичные импульсы (фиг.2е), фазы которых соответствуют местоположению экстремальных точек на этом колебании. Сформированные в блоке 5 регистрации экстремума и компараторе 6 импульсы пос5тупают на раздельные входы третьего элемента И 7, где взаимодействуя между собой, образуют прямоугольные импульсы (фиг.2ж), длительности и местоположение которых в точности COOT0ветствуют интервалам времен, заклю-uченным между первым переходом через нуль и экстремумом каждой положительной полуволны ударно возбуждаемых колебаний (фиг.2г).
5
Полученные импульсы, инвертируясь элементом НЕ 8 и проходя через элемент ИЛИ 9, не вызывают изменения состояния второго RS-триггера 11 до тех пор, пока не образуется импульс на выходе делителя 10 частоты с пе0ременным коэффициентом деления, на счетный вход которого поступают анализирующие импульсы. Появление во времени импульса ка выходе делителя 10 частоты с переменным коэффициентом
5
зависит от устанавливаемого коэффициента деления п, значение которого может изменяться в широких пределах, достигая нескольких десятков или сотен единиц. В связи с тем, что принимаемое числовое значение коэффициента деления п принципиально не влияет на динамику протекающих процессов, рассмотрим работу устройства при (этот случай изображен на фиг.2).
В данной ситуации к моменту образования третьего периода ударно возбуждаемого колебания {фиг.2г), что сответствует началу третьего импульса (фиг.2ж), действующего на выходе, третьего элемента И 7, появляется корот кий импульс {фиг.2з) на выходе делитля 10 частоты с переменным коэффициетом деления, который воздействует.на S-вход второго RS-триггера 11 и переводит последний в единичное состояни Приобретенный на прямом выходе этого RS-триггера 11 высокий потенциал (фиг.2и) проходит на выход второго элемента И 27 {фиг.2к) и открывает для приема информации второй синхрон ный модулятор 22. Этот синхронный .модулятор 22, производя непрерывное слежение и запоминание,, воспринимает в даннрлй момент времени информацию об амплитуде третьего периода ударно возбуждаемого колебания (заштрихованная область на фиг.2г), действующего на первом выхода измерительного блока 1. Приобретаемая на протяжении рассматриваемых интервалов времен информация преобразовывается в интеграторе 19 и втором синхронном демодуляторе 22 в напряжения определенной полярности. Эти напря жения, поступая раздельно (первое непосредственно, а второе через сравнивающий блок 23) на управляющие входы управляемых образцовых реактивной 20 и активной 24 проводимостей, смещают их под влиянием большого разностного сигнала (компенсирующие напряжения на вторых входах интегратора 19 и сравнивающего блока 23 отсутствуют) в сторону больших значений отрицательных проводимостей
При достижении максимального значения амплитуды третьего периода колебаний Upn (фиг.2г) заканчивается формирование с помощью блока 5 регистрации экстремума и компаратора 6 третьего импульса на выходе третьего элемента И 7. Этот импульс (фиг.2ж), проинвертировавшись в элементе НЕ 8 и пройдя элемент ИЛИ 9, задним фронтом возвращает в исходное состояние второй RS-триггер 11 (фиг.2и). Исчезновение высокого потенциала на прямом выходе этого триггера исключает управляющий импульс на выходе элемента И 27 (фиг.2к), что переводит второй синхронный демодулятор 22 в режим хранения накопленной информации о максимуме амплитуды колебания U j, (фиг.2г). Появившийся высокий потенциал на инверсном выходе второго RS-триггера 11, обрабатываясь в дифференцирующем блоке 12, образует на выходе последнего остроконечный и.мпульс (фиг.2л),который через открытый элемент ЗАПРЕТ, 13 (запрещающий сигнал на инвертирующем входе элемента в данный момент времени отсутствует) воздействует непосредственно на счетный вход Т-триггера 18 и через первый элемент ИЛИ 14 на .R-вход первого RS-триггера 16 и опрокидывает их. При этом блок 17 управления, получая низкий потенциал(фиг.2 с выхода первого RS-триггера 16, шунтирует измерительный блок 1 и колебательный процесс в нем, быстро затухая по экспоненте, прекращается, завершая формирование серии ударно возбуждаемых колебаний с периодом Тд (фиг.2г), соответствующим собственно резонансной частоте измерительного блока 1. Возникающий высокий потенциал (фиг.2м) на прямом выходе Ттриггера 18 переводит переключатель 2 в замкнутое состояние и.подключает, таким образом, управляемые образцовые активную 24 и реактивную 20 проводимости, а при измерениях и исследуемый нелинейный элемент 3 с источником 4 напряжения смещения к измерительному блоку 1. Одновременно этот же потенциал подготавливает к приему информации первый эле;мент И 26 и поступает для обработки на второй вход интегратора 19. К данному моменту времени в интеграторе 19 накапливается в виде напряжения определенной полярности информация о периоде Т серии ударно возбуждаемых колебаний (фиг.2г), которая сосредоточена в длительности импульса, существовавшего в инверсном выходе Т-триггера 18.
Спустя время задержки Cj (фиг.2л) на выходе цифрового элемента 15 задержки возникает короткий импульс (фиг.26), действовавший ранее на выходе дифференцирующего блока 12. Этот импульс поступает на S-вход первого RS-триггера 16, который опять переходит в единичное состояние (фиг.2в), вызывая посредством блока 17 управления снова ударное возбуждение колебаний в измерительном блоке 1 . По мере формирования новой серии ударно возбуждаемых колебаний (фиг.2г) с меньшим декрементом затухания амплитуды и сокращенным периодом из-за того, что в измерительный блок 1 внесены отрицательные активная и реактивная проводимости, информация о текущем периоде колебаний, непрерывно поступающая с прямого выхода Т-триггера 18 на второй вход интегратора 19, компенсирует в нем ранее накопленную информацию о
начальном периоде Тд и смещает управляемую образцовую реактивную проводимость 20 в сторону меньших значений отрицательной составляющей, способствуя росту периода колебаний.
Одновременно с этим, получаемая новая серия ударно возбуждаемых колебаний, подвергаясь выше рассмотренной обработке в блоке 5 регистрации экстремума (фиг.2е), компараторе 6 (фиг.2д) и третьем элементе И 7, образует последовательность прямоугольных импульсов (фиг.2ж), временное положение каждого импульса которой соответствует местоположению первых четвертей положительных полуволн анализируемых колебаний. Эта последовательность импульсов воздействует через элемент НЕ 8 и второй элемент ИЛИ 9 на R-вход второго RS-триггера 11, не вызывая изменение состояния последнего, и на счетный вход дели|Теля 10 частотыс переменным коэффициентом деления. При поступлении необходимого количества импульсов, соответствующего установленному ранее коэффициенту деления , на выходе делителя 10 частоты с переменным коэффициентом деления возникает короткий импульс {фиг.2з), под влиянием которого второй RS-триггер снова переходит в единичное состояние. Образуемый единичный сигнал на прямом выходе этого триггера (фиг.2и) через первый элемент И 26 поступает ;на управляющий вход первого синхронного демодулятора 21 и открывает последний для приема информации. Поступающая с первого выхода измерительного блока 1 информация о текущей амплитуде третьего периода ударно возбуждаемого колебания (заштрихованная область на фиг.2г), непрерывно накапливаясь в первом синхронном демодуляторе 21, преодолевает в сравнивающем блоке 23 хранимую вторым демодулятором 22 информацию и смещает управляемую образ цовую активную проводимость 24 в сторону меньших значений отрицательной составляющей, сдерживая относительный рост амплитуды колебаний.
В результате отмеченных противоде ствий, происходящих в интеграторе 19 и сравнивающем блоке 23, маловероятным является то, что даже к моменту окончания формирования данной серии ударно возбуждаемых колебаний их амплитуда и период совпадают с первоначальными. Следует отметить, что наличие отрицательной обратной связи в контурах уравновешивания активной и реактивной составляющих, глубина которой в начальный период уравновешивания устройства является наиболее непостоянной во времени приводит к нарушению постоянства декремента затухания амплитуды и периода колебаний в пределах формиру
емой серии. В дальнейшем, по мере приближения устройства к уравновешенному состоянию путем формирования последующих серий ударно возбуждаемых колебаний отмеченная нелинейная зависимость практически исчезает
Таким образом, наиболее вероятными оказываются случаи, когда амплитуда и период колебаний в конце формируемой серии не равны Uon и Тд, причем они могут быть как больше, так и меньше их все зависит от инерционности контуров уравновешивания по активной и реактивной составляющим, а также от того, подключается или не подключается к измерительному блоку 1 исследуемый элемент 3 с учетом характера его составляющих полных проводимостей. Независимо от того, какой из случаев будет преобладающим в данный момент времени, для динамики процессов, происходящих в устройстве, это не имеет решающего значения.
Пусть к моменту окончания формирования данной серии ударно возбуждаемые колебания характеризуются амплитудой Jgr, и периодом Т TO, при этом достигая максимума амплитуд .третьего периода колебаний (фиг.2г), заканчивается описанным выше способо формирование третьего импульса (фиг.2ж) на выходе третьего элемента И 7 , задний фронт которого рассмотренным выше образом возвращает в исходное состояние последовательно один за другим второй RS-триггер 11, Т-триггер 18 с первым RS-триггером 16 и блок 17 управления, который, шунтируя измерительный блок, прекращает в нем колебательный процесс. Изчезновение высокого потенциала (фиг.2и) на прямом выходе второго RS-триггера 11 заканчивает формирование управляющего импульса (фиг.2н) на выходе первого элемента И 26, переводящего первый синхронный демодулятор 21 в режим хранения накопленной информации о максимуме амплитуды U-in, а появление низкого потенциала (фиг.2м) на прямом выходе Т-триггера 18 лереводит переключатель 2 в разомкнутое состояние, отключая управляемые образцовые активную 24 и реактивную 20 проводимости от измерительного блока 1, и прекращает поступление на второй вход интегратора 19 информации о периоде Т текущего колебания.
В дальнейшем процессы формирования колебаний в измерительном блоке 1 и разделения информации о составляющих амплитудах и периодах этих колебаний повторяют периодически, создавая непрерывно поступающую информацию об амплитуде Ugp и периоде T(j образцовых колебаний, составляющих собственным параметрам измерительного контура 1, во второй синхронмый демодулятор 22 и по одному из входов интегратора 19, а информацию сгэ амплитуде и периоде колебаний, зависяцих от состояния во времени управляемых образцовых активной 24 и р активной 20 проводимостей и характер измеряегых составляющих исследуемого элемента 3, - в первый деглодулятор 21 и по другому интегратора 13 В результате непрерывного сравкения аь-шлитуд с выхода первого синхронного демодулятора 21 и длительностей импульсов с прямого выхода Т-триггера 18 с опорным уровнем сигнала с выхода второго синхронного демодулятора 22 и длительностью образцовых импульсов с инверсного выхода Т-триггера 18 соответственно в блоке 23 сравнения и интеграторе 19 образуются разностные сигналы, стремящиеся раздельно изменить состояние управляёгЛ х активной 24 и реактивной 20 проводимостей таким образом, чтобы возбуждаемые колебания приблизить к образцовым и,привести cиcтe / ы стабилизации амплитуды и периода в уравновешенное состояние независимо от того, подключаются или не подключаются к измерительнму блоку 1 управляемые образцовые активная 24 Иреактивная 20 проводргмости и исследуемый нелинейный элемент 3.
Приближение ударно возбуждаемлх колебаний к образцовым в пределах формируемых серий становится возможнкм благодаря тому, что при уравьювешивании устройства по реактивной составляющей независимо от состояни переключателя 2 измерительный блок приобретает одно и тоже значение волнового сопротивления, от величины которого, как известно, зависит начальная алтлитуда ударно возбуждаемых колебаний U (фиг.2г), В связи с этим, если за время действия двух последовательных серий ударно возбуждаемых колебаний параметры блока управления будут неизменными, что легко осуществимо на практике, то будут равны и начальные амплитуды Ц. формируемых колебаний. Поэтому достаточно вести анализ только амплитуд в конце формируемых серий колебаний, не обращая внимания на поведение начальных амплитуд в процессе ургавновешивания устройства, В итоге при достижении равенства анлизируемых амплитуд будет полг/чено одно и тоже значение декремента затухания амплитуды колебаний в измерительном блоке If ТоВ. при выполнении У1СЛОВИЙ и
будут однозначно равны соответствующие амплитуды ударно возбуждаег тых. колебаний форм-ируемых серий, например и UQ., (фиг.Зг) и т,д.
Такий образом, спустя 3-4 полных такта возбужления колебаний систе ; .::-. ; .: :;ик урамновеишваются с . - .::м clavieHbio точности и в даль : ;имег; осуглествлякт слежение за из;,.;,:,M,i;e;,,., г араметров исследуемого C;vi:ii а 3; гл лзваг ных, например, реj-улирозкой апряжения смещения источ;чика 4 или другими возмущающими оакторами. полностью компенсируя Зг-1еряем1ле составляющие проводимости соотзетстзующими отрицательными состаиляющими управляемых образцовых аг;тип -ой 24 и реактивной 20 проводимостей. При таких условиях напряжения управления управляемыми образцовьп и активной 24 и реактивной 20 проводимостями пропорциональны из.1еряемьм полным проводимостям и поступают для регистрации на индикаторный блок 29, а также на соответствующие нходы а.налогового д 1лителя . 25 для вычисления ддобротности исследуемого элемента 3 с последующей ее регистрацией.
Предлагаемое устройство по сравне)ИЮ с звестным выгодно отличается 11овышенной точностью измерений и рас11 ирсм1ным частотным диапазоном рабо:гы.
Ф с рму л а изобретения
}/стройстБО для измерения параметров нелинейных элементов, содержащее блок управления, соединеный с входом измерительного блока, блок регистра:Л1И экстремуг.-а, подключенный к первo 5y 31;1ходу измерительного блока, ,диФфере;-;1диру;::ш,ий н сравниваюидай блоки, интегратор, аналоговый делитель, первкй и второй которого подKJi:C4eH ii соответственно к выходам сравнивающего блока и интегратора, переключатель, информационный вход ко-торого подключен к второг/iy выходу измерительного блока, два элемента И, элемент НЕ, элемент ИЛИ, RS-триггер, выход ко-торого соединен С управляющ 1М входом переключателя и одним из входов первого элемента И, а инверсный - с одним из входов второго элемента И, два синхронных дел-5одулятора, управляющие входы которых соответственно соединены с вы;-;ода1ми первого и второго элементов И, а выходы - с соответствующиfa; входами сравнивающего блока, ге апускающих импульсов, соес установочным входом Ти одним из входов первого , источник напряжения соединенный с одним из заподключения исследуемого не.пинейного элементар индикаторный блок, р-нздельные входы которого подключены соответственно к выходам интегратора, сравнивающего блока, аналогового делителя и источника напря : ения смещения, а также управляемые образцовые активную и реактивную проводимости, одни выводы которых совместно с выходом переключателя соединены с другим зажимом дл. подключения исследуемого элемента, другие выводы - с общей точкой устройства, а управляющие входы управляемой образцовой активной проводимости - соответственно с выходами сравнивающего блока и управляемой образцовой реактивной проводимости с выходом интегратора, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерений и расширения частотного диапазона работы устройства, в него введены компаратор, элемент ЗАПРЕТ, второй элемент ИЛИ, третий элемент И, цифровой элемент задержки, второй RS-триггер и делитель частоты с переменным коэффициентом деления, причем один из входов компаратора соединен с общей точкой устройства, второй - с первым выходом измерительного блока, а выход с одним из входов третьего элемента , другой вход которого подключен к выходу блока регистрации экстремума, выход третьего элемента И соединен непосредственно со счетным входом елителя и через элемент НЕ с одним з входов второго элемента ИЛИ, усановочный вход делителя частоты с еременным коэффициентом деления и
второй вход элемента ИЛИ подключен к выходу генератора запускающих импульсов, а их выходы соединены соответственно с S- и R-входами второго RS-триггера, прямой выход которого 5 соединен непосредственно с другими входами первого и второго элементов И, а инверсный через дифференцирующий блок соединен с прямым входом элемента ЗАПРЕТ, инверсный вход коO торого соединен с выходом генератора запускающих импульсов, а выход со счетным входом Т-триггера и другим входом первого элемента ИЛИ, выход которого соединен непосредст
венно с R-входом и через цифровой элемент задержки с S-входом первого RS-триггера, при этом входы интегратора подключены к соответствующим выходам Т-триггера, а информационные входы обоих синхронных демодуляторов
У подключены к первому выходу измерительного блока.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 5 Авторское свидетельство СССР . 429375, кл. G 01 R 27/26, опублик. 02.07.75.
2. Авторское свидетельство СССР 691781, кл. G 01 R 27/26, .. G 01 R 27/00, опублик. 18.10.79 (прототип).
