Способ измерения толщины слоев Советский патент 1982 года по МПК G01B7/06 

(54) СПОСОВ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ СЛОЕВ

Изобретение относится к cpeдcтвa. размерюметрии физическими методами и может быть использовано для контроля толщины слоев многослойных материалов.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является способ измерения толщины слоев многослойных изделий, заключающийся в том/ что при изготовлении изделия между его слоями размещают диэлектрические цилиндрические трубки по которллм перемещают шарик с заданными электромагнитными свойствами, и расположенным на поверхности изделия электроиндуктивным преобразователем фиксируют экстремум сигнала ГИ

Однако точность измерения толщины этим способом недостаточна, так как шарик является пассивным элементом, поскольку он выполнен из электропроводного материала/ для фиксации положения которого требуется относительно сложный преобразователь с пара1иетрами, нестабильными во времени.

Цель изобретения - повышение, точности контроля.

Эта цель достигается тем, что согласно .способу измерения толщины . слоев многослойных изделий, заключа-.

ющеглуся в том, что при изготовлении изделия между его слоями размещают, диэлектрические цилиндрические трубки, по которым перемещают шарик с заданными электромагнитными свойствами, и расположенным на поверхности изделия электроиндуктивным преобразователем фиксируют экстремум сигнала, шарик выполняют из магни10тотвердого материала, который намагничивают до заданного уровня.

На чертеже представлен эскиз устройства для реализации способа.

Устройство содержит гидроцилиндр

15 1, установленный в нем поршень 2, рабочую среду 3, реверсивный привод 4, преобразователи 5 и 6, полые контуры 7 и 8, сообщающиеся диэлектрическими цилиндрическими трубками

20 9-13, размещенными между слоями 1419 контролируемого многослойного материала, шарик 20, перемещающийся по трубкам 9-13, выполненный из магнитотвердого материала и намагничен25ный до заданного уровня, электроиндуктивный преобразователь 21, контактирующий с контролируемым материалом.

; Устройство работает следующим об30 .разом. Под действием реверсивного приво да 4 поршень 2 совершает в.озвратно,поступательные перемещения в рабо:чей среде 3 гидроцилиндра 1. Эта ср да, перемещаясь в трубках 9-13 увлек ет шарик 20, который обегает все указанные трубки Команды на перемену направления движения шарика получают, когда последний взаимодействует с преобразователями 5 и 6, выдающими соответствующие управляющие сигналы на привод 4. Так как намагниченный до определенного уровня шарик является постоянным магнитом, то при перемещении последнего относительно электроиндуктивного преобразователя 21 в нем Возбуждается сигнал, значение которо го пропорционально расстоянию между шариком.20 и указанным преобразователем. Это расстояние:определяется толщиной слоев 14-19 контролируемого многослойного Материала. Поэтому проградуировав соответствующим образом индикатор сигналов (не показан), можно однозначно контролироват толщину слоев материала. Точность контроля повышается в несколько раз, поскольку значение сигнала преобразователя 21 может / быть достаточным для использования i .простых индикаторов сигналов без применения относительно сложных и нестабильных, во времени электронных усилителей. Формула изобретения Способ измерения толщинЬг слоев мнргослойных изделий, заключающийся в том, что. при изготовлении изделия между его слоями размещают диэлектрические цилиндрические трубки, по которым перемещают шарик с заданными электромагнитными свойствами, и расположенным на поверхности изделия электроиндуктивным преобразователем фиксируют экстремум сигнала, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, шарик выполняют из магнитотвердого материала, который намагничивают до заданного уровня. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР 807043, кл. G 01 в 7/06, 1979 (прототип) .