Устройство для измерения потока насыщения ферромагнитных пленок Советский патент 1982 года по МПК G01R33/95 

(5) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПОТОКА НАСЫЩЕНИЯ ФЕРРОМАГНИТНЫХ ПЛЕНОК

1

Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для измерения потока насыщения тонких пленок ле.нт, в том числе и нанесенных на немагнитные основания.

По основному авт.св. № 552577 известно устройство для измерения потока насыщения ферромагнитных пленок, содержащее перемагничивающую обмотку, соединенную с источником )о переменного тока, два питаемых от ис- точника постоянного тока полупровод никовых потокочувствительных элемента, клходы которых подключены к сравнивающему блоку, соединенному с выходным 15 прибором, два идентичных разомкнутых магнитопровода, жестко связанных между собой и ориентированных противоположно, причем перемагничивающая обмотка охватывает идентичные участ- 20 ки обоих магнитопроводов, а полупроводниковые потокочувствительные элементы установлены в симметричных зазорах магнитопроводов 1.

Недостатками данного устройства являются сравнительно низкая точность измерения, обусловленная влиянием различных значений магнитных сопротивлений воздушных зазоров у торцов магнитопровода в местах соприкосновения с испытуемым образцом из-за неодинакового прилегания пленки, а также малая чувствительность, вызванная необходимостью измерения в широг ком диапазоне изменений выходного сигнала.

Цель изобретения - повышение точности измерения.и чувствительности.

Поставленнаяце ь достигается .тем, что в устройстве, содержащем перемагничивающую обмотку, соединенную с источником переменного тока, два питаемых от источника постоянного тока полупроводниковых потокочувствительных элемента, подключенных к сравнивающему блоку, соединенному с выходным прибором, два идентичных разомкнутых магнитопровода, жестко связанных между собой и ориентированных противоположно, причем перемагничивающая обмотка охватывает идентичные участки обоих магнитопроводов, а полупроводниковые потокочувствительные элементы установлены в симметричных зазорах магнитопроводов, торцы одного магнитопровода замкнуты эталонной ферромагнитной пленкой, магнитопроводы выполнены С-образной формы с торцами, суженными в сторону поверхностей пленок. На чертеже представлена функциональная схема устройства для измере ния потока насыщения ферромагнитных пленок. Устройство содержит перемагничивакхдую обмотку 1, соединенную с источником 2 переменного тока и нанесенную на идентичные жестко связанные между собой С-образные магнитопроводы 3 и i. 8 симметричных зазорах магнитопр водов 3 и А установлены полупроводниковые потокочувствительные элемен ты 5 и 6, выходы которых подключены к сравнивающему блоку 7, соединенному с выходным прибором 8. Полупро водниковые потокочувствительные элементы 5 и 6 через ограничительны резисторы 9 и 10 соединены с источником 11 постоянного тока. Торцы магнитопровода 3 замкнуты эталонной ферромагнитной пленкой 12, а торцы магнитопровода 1 соприкасаются с исследуемым участком ферромагнитной пленки 13, причем торцы обоих магнитопроводов 3 и 4 сужены в стор ну поверхностей пленок 12 и 13. Устройство работает следующим образом. При соприкосновении торцов магни топровода Л исследуемой ферромагнит ной пленкой 13 происходит ее-насыщение. Эталонная ферромагнитная пленка 12 при этом также насыщена. Разность выходных сигналов потокочувствительных элементов 5 и 6 пропорциональна измеряемому потоку насыщения пленки 13 и через сравнивающий блок 7 поступает на выходной прибор 8, отградуированный непосредственно В единицах магнитного потока. Наличие эталонной пленки 12 позволяет повысить точность измерения за счет практического исключения влияния магнитных потоков рассеяния, а также повысить чувствительность устройства благодаря непосредственному измерению разности между исследуемым и эталонным потоками насыщения, С-образная форма магнитопроводов 3 и 4 обеспечивает более плотный прижим к поверхностям пленок, а сужения у их торцов позволяют путем шлифовки i установить необходимую величину зазоров. Экспериментальное исследование образца показало, что по сравнению с базовый объектом точность измерения повысилась в 5 раз, чувствительность устройства возросла в 20-25 раз при практически тех же его габаритах. Формула изобретения Устройство для измерения потока насыщения ферромагнитных пленок по авт.св. № 552577, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерения и чувствительности, торцы одного магнитопровода замкнуты эталонной ферромагнитной пленкой, магнитопроводы выполнены С-образной формы с торцами, суженными в сторону поверхностей пленок. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР № 552577, кл. G 01 R 33/06, 1975.