Способ изготовления трафарета для ориентации ферритовых сердечников Советский патент 1982 года по МПК G11C5/02 

(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТРАФАРЕТА ДЛЯ ОРИЕНТАЦИИ ФЕРРИТОВЫХ СЕРДЕЧНИКОВ

1

Изобретение относится к вычислительной технике, в частности к технологическим процессам, обеспечивающим изготовление запоминающих устройств на ферритовых сердечниках.

Известен способ изготовления трафаретов для ориентации ферритовых сердечников заключающийся в формировании сквозных отверстий в металлической пластине путем химического травления 1.

Недостатками трафарета, полученного указанным способом, является наличие растравов в местах образования сквозных отверстий и низкая механическая прочность.

Наиболее близким по техническому рещению к предложенному является способ изготовления трафарета для ориентации ферритовых сердечников, заключающийся в нанесении фоторезиста на поверхность металлической пластины, экспонировании через фотощаблон и проявлении экспонированного изображения с образованием в металлической пластине участков, свободных от фоторезиста, нанесении на эти участки защитного покрытия, например никелевого, удалении фоторезиста с поверхности

металлической пластины, формировании сквозных отверстий в металлической пластине методом травления 2.

Недостатком этого способа изготовления трафарета является образование нависающих слоев металла над отверстиями в областях растрава пластины, что снижает срок службы трафарета, и отсутствие в трафарете вертикальности стенок сквозных отверстий.

Цель изобретения - повыщение надежности трафарета.

Эта цель достигается тем, что согласно способу изготовления трафарета для ориентации ферритовых сердечников сформированные сквозные отверстия в металлической пластине заполняют, например, фоторезистом, а затем производят термообработку, превращая фоторезист в стеклообразное состояние.

На чертеже представлена последовательность технологических операций предложенного способа.

Способ изготовления трафарета заключается в следующем.

Бронзовую фольгу 1 (опорную пластину), толщиною примерно 0,1 мм, обезжиривают и на обеих ее поверхностях формируют фоторезистивные слои ЭД, толщина которых равна толщине будущих никелевых слоев, путем экспонирования и проявления создают фоторезистивный рельеф 3 (в), обнажая поверхность опорной пластины 1 в местах расположения перемычек 4 между отверстиями будущего трафарета. Затем производят гальваническое наращивание слоев никеля 5 (г) на вскрытых участках опорной пластины 1, т. е. в местах расположения перемычек. После удаления фоторезистивного рельефа опорная пластина 1 защищена слоями никеля 5 в местах расположения перемычек и свободна от никеля в местах расположения отверстий будущего трафарета (д). Поэтому при последующем травлении опорной пластины 1 в травящем растворе, не действующем на никель, формируются сквозные отверстия 6 (е). В силу изотропии травления сравнительно толстой опорной пластины 1 отверстия 6 имеют в сечении форму песочных часов, и участки 7 никелевых слоев нависают над отверстиями. При заполнении трафарета ферритовыми сердечниками тонкие никелевые слои на участках нависания 7 разрущаются и размеры ориентирующих отверстий трафарета определяются уже размерами отверстий в опорной пластине 1 из берилиевой бронзы, т. е. значительно отличаются от заданных. Практически из-за этого трафарет становится непригодным для дальнейшей эксплуатации после 2-3 заполнений ферритовыми сердечниками. После формирования отверстий в опорной пластине 1 производят их заполнение материалом 8 (ж), обладающим анизотропией травления, например фоторезистом. Эта операция может быть выполнена путем окунания заготовки трафарета с предварительно сформированными р;рверстиями в фоторезист. При этом фоторезист заполняет отверстия 6 и удерживается силами поверхностного натяжения. После просущивания заготовку трафарета экспонируют через предварительно совмещенные

фотошаблоны 9 (з). Экспонирование можно проводить и без фотошаблонов в случае, если контур ориентирующих отверстий в никелевых слоях четкий и размеры отверстий соответствуют заданным. Роль фотошаблонов при этом выполняют слои никеля. После проявления, т. е. удаления проэкспонированных участков фоторезиста в проявляющем растворе, трафарет подвергают термообработке при 80-100°С в течение 10-15 мин. При этом неэкспонированный фоторезист под непрозрачными участками фотошаблона и под никелевыми слоями в областях растрава опорной пластины задубливается и принимает стеклообразное состояние.

Предложенный способ не содержит сложных операций и позволяет изготавливать трафареты без применения спецоборудования.

Формула изобретения

Способ изготовления трафарета для ориентации ферритовых сердечников, заключающийся в нанесении фоторезиста на поверхность металлической пластины, экспонировании через фотощаблон и проявлении экспонированного изображения с образованием в металлической пластине участков, свободных от фоторезиста, нанесении на эти участки защитного покрытия, например никелевого, удалении фоторезиста с поверхности металлической пластины, формировании сквозных отверстий в металлической пластине методом травления, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности трафарета, сформированные сквозные отверстия в металлической пластине заполняют, например, фоторезистом, а затем производят термообработку, превращая фоторезист в стеклообразное состояние. Источники информации,

принятые во внимание при экспертизе

1.Патент Японии № 52-4416, кл. 97 (7) G11, опублик. 1978.

2.Патент Японии № 52-4136,

кл. 97 (7) G11, опублик. 1978 (прототип).

X XXXXVXXXXXXXXX XX

а ХХХХХХХХХХХУХ XX ХХХХХХх ХХХХХх КХХ

ХХХУХХХ XXX ХХХХХХ X ХХХХХХХХХХХХХХ

х ххххххххххххххХ

VA

VXX Хх X ХХХХХХХХХХХХ

XX ХХХХХХХХХХХХХХХ XX X ХХХХХХХХХХХХХХХ

X X X XX ХХХХХ XXVxXXXXX

г -X X XX ХХХХХ ХХХХХХХХХ XX XXXXVXX ХХХХХХХХХХ

9 X X X X XX X X ХХХХХХХХХХХХ -X X XXX X X ХХХХХХХХХХХХ X XV XX X X ХХХХХХХХХХХХХ

LA

Sтгч