Способ изготовления трафарета для ориентации ферритовых сердечников в запоминающей матрице Советский патент 1979 года по МПК G11C5/02 

Этот недостаток трафарета приводит к недостаточному заполнению отверстий ферритовыми сердечниками, что требует ручного заполнения ими каждого свобрд НбгЪ отверстия трафарета. В результате технологический процесс сборки матрицы существенно услож Hlt i ff Ti т рудоёмгкбсть его возрастает. Цель изобретения - повышение точности воспроизведения мйкрогеометрии трафарета. „ . Г1ос айленная цель достигается тем, что при изготовлении трафарета для ориентации ферритовых сердечников Ь запоминающейгЙатрицеГ предлагаемым спо соёо1гШйШа1ЭЩЙм с-ёл;е :тйвное экйпони вЙШё ййастинь из светочувствительного стекла, проявление ее путем термо обработки, травление экспонированных -- yifg(gfgge--fl6 п блучения сквозных отверстий, .перед селективным экспонирова нйем на поверхности пластины формируют контактную маску из фоторезиста. Пример изготовления трафарета пред лагаемым способом. На пластину из светочувствительного стекла, например фотоситалла, любой тоИЩины наносят с одной стороны слой фоторезиста, затем нак 1адывают шаблон . требуемой конфигурации, например, с йрйЙТбуТОЛьными Ътверстиями, и экспони руют фоторезист через шаблон с последующим проявлением и задубливШ ёж д образования открытых участков светочувствительного стекла. Образовавшиеся в фоторезисте окна подвергают через фотошаблон воздействию ультрафиолетовых лучей высокой интенсивности. При воздействии на фотоситалл све - fefeofо потока во всем засвечиваемом объеме равномерно изменяются свойств Псэёйблеку свёт ра:спространяется прямо линейно и дифракции в отверстиях шабл на не происходит, при облучении изменяются свойств1э только объемов. Ограниченных окнами фотошаблона и толщиной пластины светочувствительного стекла. Затем пластину подвергают термообработке в электропечи при 550-65О С и травлению в 5-15%-ном растворе плавиковой кислоты до полного растворения проявленных участков. Облученные участки по сравнению с необлученными отличаются . высокой растворимостью и при травлении удаляются до образования сквозных отверстий заданной формы.. Данный способ исключает ;влияние неплотного прилегания фотошаблона к поверхности трафарета, так как слой фоторезиста плотно прилегает ко всем участкам поверхности пластины из светочувствительного стекла, в результате чего повышается Точность заданных размеров отверстий и перемычек трафарета. ф О р м ула изобретения Способ изготовления трафарета для ориентации ферритовых сердечников в запрминаюшей матрице, включающий еелёКтиВнОе эКСНонирование пластины из светочувствительного стекла, проявление ее путем термообработки, травление эКСпОнированйЫх участков до получения Оквозных отверстий, отличаю- : ш. и и с я те-м, что, с целью повыше нйя точности воспроизведения микрогеометрии трафарета, перед селективным эКСпОн11рованйем на поверхности пластины формируют контактную маску из фо.торезиста.. Источники информации, . принятые во внимание- при экспертизе 1. Патент США № 3808001, кл. 96-36, .1974. 2. Бережной А. И. Ситаллы и фотоситаллы, М., 1966, с. 288, 299 (прототип) .