Способ изготовления трафарета для ориентации ферритовых сердечников Советский патент 1989 года по МПК G11C5/02 

1

Изобретение относится к вычислительной технике и может быть использовано в радиоэлектронной промышленности в технике изготовления запоминающих матриц на ферритовых сердечниках с наружным диаметром 0,4 мм и менее.

Цель изобретения - повышение надежности трафарета.

На фиг.1-3 схематично показано сечение ориентирующих отверстий трафарета, получаемых соответственно после химического травления, электрохимического травления и после удаления фоторезиста.

Позицией 1 обозначен фоторезист, а позицией 2 - фольга.

Способ изготовления трафарета заключается в том, что фольгу из нержавеющей стали обезжиривают и на обе стороны наносят слой фоторезиста, например, на основе ПВС (поливиниловый спирт). Затем путем последующего экспонирования через совмещенные двухсторонние фотошаблоны и проявления на фольге создается фоторезистивный рисунок трафарета. После чего производят травление формирующих окон (до начала вскрытия сквозных отверстий в ячейках) химически, например, в растворе хлорного железа.

Јь 1

00

1C ел

Јь

Затем производят дальнейшее травление ячеек до заданных размеров в растворе электрохимического полирования, содержащем, например, фосфорную и серную кислоты в следующем соотношении: кислота фосфорная 950-1050 г/л и кислота серная 150-300 г/л.

Обработку производят на аноде с использованием катодов из нержавеющей стали. Режим электрохимического травления следующий: плотность тока 50-100 А/дм2, температура раствора 60-80 С, продолжительность обработки 2-5 мин.

На заключительной операции техпроцесса производят снятие фоторезиста смесью перекиси водорода с водой в отношении 1:1.

Применение предлагаемого способа

позволяет получить трафареты с повышенной надежностью, механической прочностью и долгим сроком службы за счет использования в качестве металл

0

0

5

5

основы нержавеющей стали и отсутствия подтравов основы.

Формула изобретения

Способ изготовления трафарета для ориентации ферритовых сердечников, включающий нанесение фоторезиста на поверхность металлической пластины, экспонирование через фотошаблон, проявление экспонируемого изображения до образования в металлической пластине участков, свободных от фоторезиста, формирование сквозных отверстий в металлической пластине методом травления, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности трафарета, формирование сквозных отверстий производят методом химического травления, после чего производят электрохимическое травление до получения заданных размеров отверстий раствором электрохимического полирования.

Изобретение относится к вычислительной технике и может быть использовано в радиоэлектронной промышленности в технике изготовления запоминающих матриц на ферритовых сердечниках с наружным диаметром 0,4 мм и менее. Целью изобретения является повышение надежности трафарета. Способ изготовления заключается в следующем. Фольгу из нержавеющей стали обезжиривают и на обе стороны наносят слой фоторезиста. Затем путем последующего экспонирования через совмещенные двусторонние фотошаблоны и проявления на фольге создается фоторезистивный рисунок трафарета, после чего производят травление формирующих окон до начала вскрытия сквозных отверстий в ячейках химически. Затем производят дальнейшее травление ячеек до заданных размеров в растворе электрохимического полирования, обработку производят на аноде с использованием катодов из нержавеющей стали. Затем производят снятие фоторезиста смесью примеси водорода с водой. 3 ил.

%

Фиг. ч

Фш.г