Криовакуумная установка Советский патент 1982 года по МПК F04B37/06 

(5k) КРИОВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА.

.,- I--. - ,

. , ..-

Изобретение относится к вакуумной технике и касается криовакуумных ус- . тановбк, предназначенных для создания вакуума путем конденсации и адсорбции газов.

Известна криовакуумная установка, содержащая криогенератор и крионасосы, каждый из которых состоит из корпуса и криопанели, выполненной в виде емкости. Перед откачкой вакуумируемого объекта криопанель изолируется от него и охлаждается криогенератором. Аккумулированный .в ней холод расходуется в период откачки вакуумируемого объекта 1 .

Недостатком такойкриовакуумной установки является низкая эффектив ность, обусловленная тем, что регенерации и охлаждению до рабочих температур перед откачкой вакуумируемого объекта лодвергаётся вся масса криопанели, вследствие чего увеличивают-ся затраты энергии на проведение этих процесс:ов.

изобретения,- повышение эф- фективности установки. . Поставленная цель достигается тем, что криовакуумная установка, содержащая криогенератор и крионасосы, каждый иё которых состоит из корпуса

и криопанели, выполненной в виде емкости, снабжена изолированным трубопроводом с запорной арматурой, объединяюидам емкости в группы, состоящие по меньшей мере из трех емкостей.

На черт-еже: показана схема предлагаемой криовакуумной установки.

Установка содержит три крионасоса 1, 2 и 3, каждаай из которых содержит

10 герметичный корпус 4, внутри которого размещена криопанель 5, окруженная защитными экранами б и 7. Крмопанель 5 выполнена в виде емкости, ,на наружной поверхности которой находится

5 сорбент 8. Охлаждение криопанели 5 осуществляется криогенератором 9. Вентили 10 и 11 служат для подачи хладагента из .крйогенератора 9 к .криопднели 5. Изолированный трубопро20вод .12 соединяет полости криопанелей 5 всех трех крирнасосов 1, 2 и 3. На

, трубопроводе 12 перед каждой криопанелыо 5 установлен вентиль 13. Крионасосы 1, 2 и 3 подсоединяются к от25 качиваемрму объекту через патрубки 14 с вентилями 15. Для создания ва-. куума в полости крионасосов 1, 2 и 3 в период их регенерации служат вакуумные насосы 16 и.система соединительных трубопроводов с вентилями 17,