Вакуумный крионасос Советский патент 1991 года по МПК F04B37/08 

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкции вакуумных крионасосов.

Цель изобретения - повышение давления запуска насоса,

На чертеже представлена схема крио- насоса

Вакуумный крионасос содержит корпус 1 с двуступенчатым криогенератором 2, первая ступень 3 которого имеет теплопро- водный фланец 4, и расположенные в корпусе 1 внутри охлаждаемого теплозащитного экрана 5 криопанель 6, закрепленную на второй ступени 7 криогене- ратора 2, и два сильфона 8 и 9, замкнутая полость 10 между которыми заполнена газом. Теплозащитный экран 5 расположен с осевым зазором 11 относительно теплопроводного фланца 4 первой ступени 3 криогенератора 2, нижние торцы сильфонов 8 и 9 герметично закреплены на экране 5, верхние - на первой ступени 3 криогенератора 2, а вторая ступень 7 криогенератора 2 снабжена герметичной камерой 12, сообщенной С замкнутой полостью 10 сильфонов 8 и 9 при помощи капиллярной трубки 13. Осевой зазор 11 имеет величину, не превышающую величины осевой упругой деформации сильфонов 8 и 9 при конденсации газа, заполняющего кольцевую полость 10. Кроме того, на внутренней поверхности криопанели 6, обращенной к второй ступени 7 криогенератора 2, расположен адсорбент 14.

Крирнасос работает следующим обра- зом.

После откачки внутренней полости корпуса 1 крионасоса до давления запуска включается криогенератор2. Экран 5 и проводной фланец 4 разделены зазором 11, а сильфоны 8 и 9 имеют высокое термическое сопротивление, что обусловливает незначительную тепловую нагрузку на первую ступень 3 криогенератора 2. По мере понижения температуры криопанели 6 с адсорбентом 14 происходит откачка газа и понижение давления в полости корпуса 1. При достижении криопанелью температуры, достаточной для конденсации газа, заполняющего полость 10 сильфонов 8 и 9, происходит деформация сильфонов, зазор 11 ликвидируется и возникает тепловой контакт между фланцем 4 и экраном 5, обеспечивающий охлаждение экрана 5.

Опережение во времени процесса охлаждения экрана процессом вакуумирова- ния позволяет производить запуск крионасоса при повышенных давлениях.

Формула изобретения

1.Вакуумный крионасос, содержащий корпус с двуступенчатым криогенератором, первая ступень которого имеет теплопрово- дящий фланец, и расположенные в корпусе внутри охлаждаемого теплозащитного экрана криопанель, закрепленную на второй ступени криогенератора, и два сильфона, размещенных один в другом с образованием замкнутой полости, заполненной газом, отличающийся тем, что, с целью повышения давления запуска, теплозащитный экран расположен с осевым зазором относительно теплопроводного фланца первой ступени криогенератора, нижние торцы сильфонов герметично закреплены на экране, верхние - на первой ступени криогенератора, а вторая ступень криогенератора снабжена герметичной камерой, сообщенной с замкнутой полостью сильфонов при

помощи капиллярной трубки.

/

2.Крионасос по п.1, отличающийся тем, что осевой зазор имеет величину, не превышающую величину осевой упругой деформации сильфонов при конденсации газа, заполняющего замкнутую полость.

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить давление запуска крионасоса. В корпусе 1 внутри экрана (Э) 5, установленного с зазором 11 относительно фланца (Ф) 14 первой ступени 3 криогенератора (К) 2, расположена криопанель 6, закрепленная на второй ступени 7 К 2. На Э 5 и Ф 4 закреплены два сильфона 8 и 9, образующие замкнутую полость (П) 10, заполненную газом и сообщенную при помощи капилярной трубки 13 с герметичной камерой (ГК) 12, закрепленной на второй ступени 7 К 2. При запуске крионасоса Э 5 первоначально не охлаждается, что снижает нагрузку на К 2 и позволяет осуществлять запуск с более высокого давления. Э 5 охлаждается после охлаждения Гк 12, конденсации газа в П 10 и деформации сильфонов. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.