Способ работы вакуумного крионасоса Советский патент 1982 года по МПК F04B37/08 

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к способам работы вакуумных крионасосов.

Известен способ работы вакуумного крионасоса, включающий заполнение полой криопанели газообразным гелием при избыточном давлении, Охлаждение криопанели и конденсацию на ней откачиваемого газа С.

Недостатком известного способа является невысокая его надежность вследствие непрерывного повышения температуры криопанели в процессе конденсации на ней откачиваемого газа.

Цель изобретения - повышение надежности.

Указанная цель достигается тем, что в процессе конденсации осуществляют дросселирование гелия из полости криопанели.

На чертеже представлена схема вакуумного крионасоса, реализующего описываемый способ.

Насос содержит корпус 1 с криоге- нератором 2, на котором установлена . полая криопанель 3, окруженная охлаждаемым экраном 4, контактирующим с криогенератором 2. Насос через клапан 5 соединен с откачиваемым

объектом 6. Полость криопанели 3 соединена посредством трубопровода через вентиль 7 с регенератором 8, 5 компрессором 9 и через вентиль 10 с газгольдером 11.

Насос работает следующим образом.

Газообразный гелий из газгольдера 11 закачивается, компрессором 9 Q через регенератор 8 и вентиль 7 в полую криопанель 3. Вентиль 7 закрывают, а криопанель 3 и ссгдержащийся в ней сжатый гелий охлаждают посредством криогенератора 2 до рабо- чей температуры, например 15 К. Экран 5 4 охлаждают до температуры 80-100 К. Затем открывают клапан 5, сообщают откачиваемый объект б с насосом и конденсируют откачиваемый .газ на криопанели 3.

20

Одновременно с конденсацией газа на криопанели осуществляют дросселирование гелия из полости криопанели 3 через вентили 7 и 10 в газгольдер 11. Интенсивность дррсселирова25 ния регулируют таким образомj чтобы температура криопанели сохранялась постоянной.

: Формула изобретения.

Способ работы вакуумного криона30 coca, включающий заполнение полой

криопанели газообразным гелием при избьоточном давлении, охлаждение криойанели и конденсацию на ней-от,начинаемого газа, о т л и j а ющ и и с я тем, что, с целью повышения надежности, в процессе конденсации осуществляют дросселирование гелия из полости криопанели. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент СШЛ 3485054, кл. 62-55.5, опублик. 1969.