Устройство для контроля качества соединения полупроводниковой подложки с ее электровыводами Советский патент 1982 года по МПК G01N19/04 

(5) УСТРОЙСТВО для КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА СОЕДИНЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ подложки с ЕЕ ЭЛЕКТРОВЫВОДАМИ

Изобретение относится к испытательной технике и может бытьиспользовано для контроля качества соединения полупроводниковых подложек с их электровыводами .

Известно устройство для контроля качества соединения полупроводниковой подложки с ее электровыводами, со- . держащее блок механического нагружения испытуемого соединения и блок задания электрической нагрузки, выполненный в виде последовательно установленных источника напряжения и измерительного прибора, соединяемых при контроле с испытуемым соединением EI .

Недостатком этого устройства является низкая точность контроля качества соединения, так как при подаче напряжения на полупроводниковую подложку в случае некачественного соединения подложки с ее электровыводами место соединения нагревается, и электроды притягиваются к подложке, что

вызывает самопроизвольное частичное :восстановление соединения, приводящее к искажению показаний измерительного прибора.

Цель изобретения - повышение точности контроля путем устранения самопроизвольного восстановления соединения .

Для достижения этой цели устройство для контроля качества соединения полупроводниковой подложки с ее электровыводами , содержащее блок механического нагружения испытуемого соединения и блок задания электрической нагрузки, выполненный в виде после15довательно установленных источника напряжения и измерительного прибора, соединяемых при контроле с испытуемым соединением, снабжено-устанавливаемым параллельно испытуемому со20единению ограничителем напряжения с регулируемым порогом срабатывания.

На чертеже изображена схема предлагаемого устройства.

Устройство содержит блок 1 меха- : нического нагружения и блок 2 задания .электрической нагрузки, выполненный в виде последовательно установленных источника 3 напряжения и измерительного прибора k, соединяемых при контроле с испытуемым соединением 5, и ограничителя 6 напряжения срегулируемым, порогом срабатывания, устанавливаемого параллельно испытуемо му соединению 5. Устройство работает следующим образом. На блоке 1 механического напряжения, например вибростенд, устанавливают испытуемое соединение 5, выполненное из полупроводниковой подложки с электровыводами, и подсоединяют последние к свободным выходам источника 3 напряжения и измерительного прибора k и блока 2 электрической нагрузки. К испытуемому соединению 5 прикладывают одновременно механическую и электрическую нагрузки. Механическую нагрузку отрыва элек ровыводов от полупроводниковой подложки создают блоком 1 механического нагружения, например вибростендом, а электрическую - от источника 3 напря жения, на котором устанавливают рабочее напряжение 30-60 В. При прохождении электрического тока через полупроводниковую подложку рабочее напряжение источника 3 напряжения по нижается до напряжения срабатывания полупроводниковой подложки, которое зависит от ее материала, и, например, для кремниевой полупроводниково подложки составляет 0,8-1,6 В, В случае качественного соединения 5 полупроводниковой подложки с е электровыводами напряжение срабатыва ния соединения 5 равно напряжению . срабатывания полупроводниковой подложки . В случае отрыва электровыводов от полупроводниковой подложки на них накапливаются электрические заряды, напряжение срабатывания соединения 5 повышается до рабочего нз пряжения источника 3 напряжения, что приводит к некачественному самопроизвольному восстановлению соединения 5 между полупроводниковой подлож кой и ее электровыводами. Для предот вращения повышения напряжения в соединении 5 при отрыве электровыводов от полупроводниковой подложки на ограничителе 6 напряжения устанавливают напряжение порога срабатывания на 1,2 В выше напряжения срабатывания полупроводниковой подложки. При качественном соединении 5 полупроводниковой подложки с ее электровыводами рабочий ток течет от источника 3 напряжения через испытуемое соединенние 5 и величина напряжения срабатывания полупроводниковой подложки фикьиоуется на измерительном приборе 4.,. При отрыве электровыводов от г о-лупроводниковой подложки рабочий ток течет через ограничитель 6 напряжения, при этом измерительный прибор Ц показывает отсутствие напряжеНИЯ В соединении 5, а ограничитель 6 напряжения, воспринимая на себя электрическую нагрузку от источника 3 напряжения, предохраняет испытуемое соединение 5 от нагревания, и, тем самым, от притягивания электровыводов к полупроводниковой подложке и самопроизвольного восстановления соединения. Предлагаемое устройство позволяет повысить контроль качества соединения полупроводниковой подложки с ее выводаь 1 путем исключения самопроизвольного восстановления соединения при контроле за счет установки ограничителя напряжения с регулируемым порогом срабатывания параллельно соединению. Формула изобретения Устройство для контроля качества соединения полупроводниковой подложки с ее электровыводами, содержащее блок механического нагружения испытуемого соединения и блок задания электрической нагрузки, выполненный в виде последовательно установленных источников напряжения и измерительного прибора, соединяемых при контроле с испытуемым соединением, о тяичающееся тем, что, с целью повышения точности контроля путем устранения самопроизвольного восстановления соединения, оно снабжено устанавливаемым параллельно испытуемому соединению ограничителем напряжения с регулируемым порогом срабатывания. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР № , кл. G 01 N 29/0+,. 1969 (прототип).

/

/

/

/

/ L..