Способ контроля непараллельности оптических деталей Советский патент 1982 года по МПК G01B11/26 

лей в виде автокрллимационных изоб ражений марки автоколлиматора, от обоих торцов детали. По угловому расхождению этих меток судят о параллельности контролируемых торцов Недостатком известного способа являются ограниченные функциональные возможности, поскольку невозмо но его применение для контроля про рачных деталей и для децентрировки и пирамидальности оптических деталей с малым поперечным сечением , (например, пластин с толщиной менее 1 мм) , что обусловлено большими оптическими потерями на малом попереч ном сечении широких параллельных световых пучков, Целью изобретения является расширение функциональных возможностей за счет обеспечения возможности контроля прозрачных деталей, децент рировки и пирамидальности оптически деталей .любых- поперечных размеров. Эта цель достигается тем, что согласно способу контроля непараллельности оптических деталей, заклю чающемуся в том, что направляют световые пучки с двух сторон на деталь по ее оптической оси-и фиксиру световые пучки, отраженные от двух противоположных поверхностей детали используют сходящиеся световые пучк с дифракционно-интерференционной кольцевой структурой и по угловому отклонению центров дифракционяоинтерференционныхг кольцевых структу определяют величины непараллельноети, децентрировки и пирамидальности детали. На чертеже изображена принципиальная схема устройства, реализующего описываемый способ контроля. Устройство содержит источник 1 излучения - лазер, длиннофокусный объектив 2, включающий наряду с лин зой дисковую диафрагму (не показаны) , светоделительную пластину 3, три.плоских зеркала 4-6, две, наклонные из мелкой проволоки сетки 7 и 8, два экрана 9 и 10 с отверстиями в центре и .масштабными сетками по всему их полю (не показаны), переносную зрительную трубу 11, кубик-эталон 12с полированными гранями и допуском на пирамидальность равную 5-10, опорн то пластину 13, прикрепленную к грани-кубика посредст.вом оптического контакта и образующую с ним двугранный прямой угол-для размещения там контролируемой детали 14. Способ осу1цес вляется слвдующим образом. . С помсяцью источника 1 излучения - лазера, объектива 2, свето делительной пластины 3 и зеркал 4-6 получают два сходящихся 1§стречных световых пучка с четкой i картиной дифракционно-интерферен- ционной кольцевойСтруктуры. Перетяжки лазерных световых пучков . (под перетяжкой - горловиной лазерного светового пучка, имеющего гауссов характер распределения интенсивности - понимают минимальный диаметр, к которому пучок стягивается в некоторой плоскости, где фазовый фронт излучения плоский) располагают либо немного за контролируемой деталью (контроль линз,лйн-. зоподобных деталей, объективов), Ш1бо перед ней (контроль плоскопараллельных пластин). Добиваются точного совмещения световых пучков, используя при этом кольцевую структуру каждого из них, а также две сетки 7 и 8, наклоненные под углом 45-60, и зрительную трубу 11, Все эти компоненты позволяют существенно йовысить точность совмещения пучков (до 10-15 угловых секунд). На пути световых пучков помещают два экрана 9 иЮ с масштабными сетками. Световые пучки пропускают через центры отверстий вэкранах 9 и 10. В центральной части (между двумя перетяжками), ра сполагают кубик-эталон 12 с опорной пластиной 13,-выставив ребро двугранного угла параллельно оси совмещенных пучков - по совпадению -отраженных от кубика пучков с падающими пучками (при этом.вторично используются экраны 9 и 10 и зрительная труба 11). Контролируемую деталь 14 (линза в патроне,стержни, пластины со сферическими или плоскими торцами) размещают на кубике-эталоне 12, прижимая его к опорной пластине 13, после чего по известной методике определяют необходимые параметры.. Использование встречных пучков дает возможность проведения .контроля непрозрачных для видимого излучения оптиче.ских деталей. Использование лазерных сходящих увеличивает плотность мощности падающего на деталь излучения и дает возможность сконцентрировать полностью кольцевую структуру на торце детали, что позволяет контролировать детали с малым поперечным сечением. формула изобретения Способ контроля непараллельности оптических деталей, закдшчающийся в том, что направляют.световые пучки с двух сторон на деталь по ее оптической оси и фиксир тот световые пучки, отраженные от двух противоположных поверхностей детали, о тличающийся тем, что, с целью расширения функциональных

возможностей за. счет обеспечения возможности контроля прозрачных деталей, децентрировки и пирамидальности оптических деталей любых поперечных размеров, используют сходящиеся световые пучки с дифракционно-интерференционной кольцевой структурой и по угловому отклонению центров дифракционно-интерференционных кольцевых структур определяют

величину непараллельности, децентрировки и пирги«1идальности детали.

Источники информации, принятые во внимание при зкспертйзе 1. Авторское свидетельство СССР 531023, кл. G 01 В 9/02, 1975. : . 2, Авторское свидетельство СССР ; 326445, кл. G 01 В 11/26, 1970 (прототип). ,