Устройство для контроля прямых двугранных углов зеркально-призменных элементов Советский патент 1986 года по МПК G01M11/00 G01B11/26 

Изобретение относится к оптике и может быть использовано в оптическом приборостроении для высокоточного контроля прямых двугранных углов зер- кально-призменных элементов, в частности уголковых отражателей с требуемой диаграммой направленности.

Целью изобретения является повышение точности измерений.

На чертеже изображена схема устройства для контроля прямых двугранных углов зеркально-призменных элементов.

Устройство содержит зеркала 1, 2, 3 и 4, плоскопараллельную пластину 5, установленную под углом 45i2 к его оптической оси светового потока, создаваемого источником 6 когерентного излучения, при этом зеркала 2 и 4 установлены параллельно плоскопараллельной пластипе 5, причем зеркало 4 располол :ено за плоскопараллельной пластиной 5 по ходу проходящего сквоз нее светового потока, а зеркало 2 расположено перед плоскопараллельной пластиной 5 по ходу отраженного от нее светового потока, при этом зер-- кало 3 установлено между зеркалами 2 и 4 перпендикулярно каждому из них, а зеркало 1 - между зеркалом 2 и плоскопараллельной пластиной 5 параллельно отраженному от нее светового потока. Кроме того, приемное устройство 7 устаповлелЧо за плоскопараллельной пластиной 5 против хода отраженного от нее светового потока, при этом зеркало 1 и контролируемая призма установлены на предметном столике 8, имеющем возможность поворота на 180 вокруг оси 9, перпендикулярной оптической оси светового потока, причем ребро контролируемого двугранного угла призмы направлено к зеркалу 1 ,

Устройство функционирует следую- щргм образом.

Источник 6 когерентного излучения облучает световЕ 1м пучком плоскопараллельную пластину 5, при этом часть светового пучка отражается от плоско- параллельной пластины 5 и падает на первую грань призмы, а другая часть светового пучка проходит сквозь плоскопараллельную пластину 5 и после по- следовательмог о отражения от зеркал 4, 3 и,2 падает на вторую грань призмы Юд после чего отраженные от о5ек граней призмы световые пучкн падают

на зеркало 1 и, отразившись от него, вторично падают на соответствуюпще грани призг4ы, при этом после отражения от первой rpaHVi призмы световой

пучок проходит сквозь плоскопарал- лельпую пластину 5, а световой пучок, отраженный от второй грани призмы, последовательно отражается от зеркал 2, 3 и 4 и от плоскопараллельной

пластины 5 о В поле зрения приемного устройства 7 наблюдаются изображения двух строго идентичных интерференционных пятен, образованных взаимодействием световых пучков в результате отражения от плоскопараллельной пластины 5, между которыми измеряется расстояние в угловой мере.

Угловое расстояние о, между интерференционными пятнами определяется по формуле:

й, 4u(V. 2uf ,

1 де utxi - отклонение контролируемого уг ла призмы 10 от прямого; uf - величина неи-араллельности световых пучков, падающих на контролируемые грани

призмы 10.

I

После разворота предметного столика 8 пpиблизитeJtьнo на 180 вокруг оси 9 угловое расстояние Sz между интерференционными пятнами будет определяться по формуле

3.5

F -4uoi ( 2Ai .

Вычитая один результат из другого, получают искомое значение неперпен- 40 дикулярности Ло. контролируемых граней призмы 10 по формуле

л«: .

Формулаизобретения

Устройство для контроля прямых двугранных углов зеркально-призменных элементов, содержап;ее источник коллимированмого излучения, светоделитель в виде плоскопараллельной пластины, приемное устройство, отличающееся тем, что, с целью повышения точности контроля в него введены три зеркала, установленные по ходу прогаедшего через све312769394

тоделитель луча, при этом первое и но им, и четвертое зеркало, установ- третье зеркала параллельно свето- ленное между светоделителем и третьим делителю, а второе - перпендикуляр- зеркалом под углом 45° к последнему.

Изобретение относится к оптичес- кому приборостроению .и позволяет повысить точность контроля. По ходу прошедшей через плоскопараллельную пластину 5 части светового пучка от источника 6 установлены зеркала 2-4, после последовательного отражения от которых световые пучки падают на одну грань контролируемой призмы 10. Другая часть светового пучка, отраженная от пластины 5, падает на другую грань призмы 10. Зеркало 1 возвращает отраженные от граней призмы 10 световые пучки на эти же грани. Величина неперпендикулярности контролируемых граней призмы 10 определяется разностью угловых расстояний между интерференционными пятнами, образованными в поле зрения приемного устройства 7 взаимодействием вторично отраженных от граней призмы 10 световых пучков непосредственно и через зеркала 2-4 на плоскопараллельную пластину 5, при двух положениях предметного столика, отличающихся на с (Л 180 1 ил.