Изобретение относится к нанесенига металлических покрытий на диэлектрики, преимущественно молибденовых, которые могут быть использованы в радиоэлектронной промышленности.
Известен раствор для химического осаждения молибденовых покрытий, со держащий молибденовокислый аммоний, гипофосфит натрия, лимонную и соляную кислоту, солянокислый гидроксил амин С11.
Однако этот раствор пригоден только для осаждения .покрытий на ме таллическую, в частности алюминиевую основу, и не может быть использован для осаждения молибдена на диэлектрические материалы.
Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является известный щелочной раствор для химического осаждения, например, медных, серебрянных, кобальтовых, палладиевых металлических покрытий на диэлектрики, содержащий соединение осаждаемого металла, двуххлористое олово в качестве восстановителя и гидроокись натрия t21.
Однако использование известного раствора для осаждения молнбденовьос
покрытий не позволяет вести процесс с достаточно высокой скоростью.
Целью изобретения является повышение скорости осаждения покрытий. Указанная цель достигается тем, что в щелЬчном растворе, содержащем молибденовокислый аммоний в качестве соединения осаждаемого металла, двуххлористое олово в качестве вос10становителя и гидроокись натрия, раствор дополнительно содержит бензол при следующем соотношении компонентов, г/л:
Аммоний молибденово15кислый20-50 Олово двуххЯористое 10-80 Гидроокись натрия 200-400 Бензол 0,01-0,8 Введение бензола в качестве
20 ускоряющей добавки в раствор позволяет увеличить скорость осаждения покрытий с 0,001 мкм/ч при 98°С до 0,4 мкм/ч при 60°С. Введение бензола в концентрации до 0,01 г/л при25водит к незначительному увеличению скорости, не более 0,05 мкм/ч, а при содержании его в растворе 0,01 г/л и выше скорость осаждения покрытий резко возрастает. Увеличе3Q .ние концентрации бензола более
0,8 г/л невозможно из-за его плохой растворимости и нецелесообразно, 1&к как не приводит к дальнейшему по:Чышению скорости осаждения покрытий.
В таблице представлен состав раствора и условия осаждения.
Во всех примерах образцы из ситалла марки СТ-38 после обезжиривания, травления, сенсибилизирования и активирования погружают в растворы указанного состава и выдерживают в течение часа, после чего определяют скорость осаждения молибдена весовым методом.
Как видно из таблицы,предлагаемый раствор позволяет получать покрытия со скоростью 0,4-0,6 мкм/ч. Покрытия представляют собой чистый молибден, светлосерого цвета, хорош сцеплены с с/снЬвой и беспористы при толщине более 0,2 мкм, В наст,ояи1ее вре14Я молибденовые покрытия на диэлектрик наносят ciio собом вакуумного напыления. Данное изобретение позволяет упростить технологию получения покрытий из молибдена, исключить дорогостоящую аппаратуру, увеличить производительность труда и уменьшит трудовые затраты. Формула изобретения Щелочной раствор для химического осаждения металлических покрытий на диэлектрики, преимущественно моли деновых, содержащий молибденовокислый аммоний в качестве соединения осаждаемого металла, двуххлористое олово в качестве восстановителя и гидроокись натрия, отличающийся тем, что, с целью повышения скорости осаждения покрытий, он дополнительно содержит бензол при след5ющем соотношении компонентов, г/л: Аммоний молибденовокислый20-50Олово двуххлористое 10-80 Гидроокись натрия 200-400 Бензол0,01-0,8 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1,Авторское свидетельство СССР 406967, кл, С 23 С 3/02, 19.71, 2,пильников В,П, и др. Термодинамический выбор растворов для химического осаждения металлов, Сб, Физ,-химия процессов на межфазных границах, Свердловск, 1976, с, 82-86,
