Молекулярный насос Советский патент 1982 года по МПК F04D19/04 

(54) МОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройству молекулярных вакуумных насосов. Известен молекулярный вакуумный насос, содержащий корпус с размещенными на его внутренней поверхности статорным дисками и установленный по оси корпуса вал с роторными дисками 1 . Недостатком известного насоса являет ся невысокая быстрота действия. Целью изобретения является повышени быстроты действия. Указанная цель достигается тем, что каждый роторный диск снабжен по меньшей мере одним кольцевым тонкостенным гофром. На чертеже представлен насос, продольный разрез. Молекулярный насос содержит корпус 1 с размешенными на его внутренней поверхности статорными дисками 2 и установленный по оси корпуса вал 3 с роторными дисками 4, причем каждый диск 4 снабжен по меньшей мере одним ксяъиевым тонкостенным гофром 5. Насос работает следуюшим образом. Газ из откачиваемого объема поступает в полость насоса и системой статорных и быстровращаюшнхся роторных дисков 2 та 4 переносится со стороны всасывания на сторону нагнетания насоса. Наличие тонкостенных гофров 5 обеспечивает достижение при рабочих оборотах вала 3 минимальных зазоров между статором и диском 4, что дает возможность снизить обратный поток молекул в откачиваемый объем и тем самым повысить быстроту действия насоса. Формула изобретения Молекулярный насос, содержапгай корпус с размещенными на егчэ внутренней поверхности статорными дисками и установленный по оси корпуса вал с роторными дисками , отличающийся тем, что, с цепью повышения быстроты действия, каждый роторный даек снабжен по меньшей мере одним копь цевым тонкостенным гофром.

Источники информашш, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР 5 № 737659, кл. F 04 D 19/04, 1977.