Вакуумный молекулярный насос Советский патент 1986 года по МПК F04D19/04 

Изобретение относится к вакуумной технике.

Целью изобретения является улучшение откачных характеристик.

На чертеже изображен вакуумный молекулярный насос.

Насос содержит корпус 1 и расположенные в нем статорные диски 2 со спиральными пазами 3. и роторные диски 4, при этом пазы 3 имеют глубину Ь, определяемую из соотношения: 0, О.ИЗг, где г - радиус роторных дисков 4, причем паз первого по ходу откачиваемого газа статорного диска имеет глубину большую, чем у остальных дисков.

Кроме того, корпус 1 насоса снабжен всасывающим и нагнетательным патрубками 5 и 6, опорными кольцами 7.

Откачиваемый газ поступает через всасывающий патрубок 5, поступает к спиральным пазам 3 статорного диска 2 первой ступени. Вдоль спиральных пазов 3 газ перемещается поверхностью роторного диска 4 к периферии насоса, откуда через радиальный зазор между роторным диском 4 и опорными кольцами 7 на вход второй ступени и так далее к нагнетательному патрубку 6.

Выбор глубины паза 3 в соответствии с предложенными рекомендациями для первой ступени обеспечивает максимальную быстроту откачки для выбранных размеров насоса, а выполнение пазов последующих ступеней меньщей глубины обусловливает высокую степень сжатия насоса в целом.

ВАКУУМНЫЙ МОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС, содержащий корпус и расположенные в нем статорные диски со спиральными пазами и роторные диски, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, пазы имеют глубину, определяемую из соотношения 0,05л 6 0,143л, где г - радиус роторных дисков, причем паз первого по ходу откачиваемого газа статорного диска имеет глубину, большую, чем у остальных дисков. (Л к 05 о ел ел