Известнь двухпоточные вакуумные ту.рбомолекулярные насосы, содержащие корпус с размещенными внутри пакетами чередующихся статорных и роторных дисков и установленную па валу по оси входного патрубка разделительнук5 вставку.
Цель настоящего изобретения - повыщенне быстроты откачки.
Это достигается тем, что вставка выполнена в виде двух ш.неков, сходящихся к осп патрубка, для закрутки потоков откачиваемого газа в направлении вращения вала.
На чертеже показан предлагаемый насос.
Он содержит размещенные в корпусе / пакеты чередующихся статорных 2 и роторных 3 дисков. На валу 4 по оси входного патрубка 5 установлена разделительная вставка 6, вьшолненная в виде двух сходящихся к оси патоубка шнеков. Вставка обеспечивает закрутку нотОков откачиваемого газа в направлении вращения вала, и подает их на первый ряд статорных дисков. Газ через отверстия 7 на периферии корпуса откачивается форвакуумным насосом и выбрасывается последним в атмосферу.
Предмет изобретения
Двухпоточный вакуумный турбомолекулярный насос, содержащий корпус с размещенными внутри пакетами чередующихся статорных и роторных дисков и установленную на валу но оси входного патрубка разделительную вставку, отличающийся тем, что с целью повыгпения быстроты откачки, вставка выполнена в виде двух сходящихся к оси патрубка шнеков для закрутки потоков в направлении вращения вала.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
ДВУХПОТОЧНЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС С ГИБРИДНЫМИ ПРОТОЧНЫМИ ЧАСТЯМИ | 2014 |
|
RU2543917C1 |
ОДНОПОТОЧНЫЙ ЧЕТЫРЕХСТУПЕНЧАТЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС | 2014 |
|
RU2560133C1 |
Вакуумный молекулярный насос | 1991 |
|
SU1810604A1 |
ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ ГИБРИДНЫЙ НАСОС | 2012 |
|
RU2561514C2 |
Молекулярный насос | 1981 |
|
SU973939A1 |
ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС | 1991 |
|
RU2014510C1 |
ДВУХПОТОЧНЫЙ ВАКУУМНЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙНАСОС | 1965 |
|
SU174752A1 |
ВАКУУМНЫЙ ГАЗОРОТАЦИОННЫЙ НАСОС | 2003 |
|
RU2237824C1 |
ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС | 1971 |
|
SU312965A1 |
МНОГОСТУПЕНЧАТЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС | 1972 |
|
SU335443A1 |
Даты
1969-01-01—Публикация