Г) nrii(ip,HO.r авт. |. Лг S ii (1 шшган yi-Ti)i)iirTiii) ;;ля ijiiiiiM :ie:Hi иитеигш;.ногтк 1Г;м1а|1(. мкталлш; iii}ii ингррне и i ai;yy.i(. Дсчгстпие этого yi rii:ii(,;T:;a (ЯШ)наио а H.iMepenmr к-яектроирш идин:Ili слои М11алла. 01-аж1еино1о на :-JI;II; HP-I;()H.leKrariiiK. yi-таиоилен-нои вп.ли;; и ммедуеммго ouiianna. г 1Г(жР1)ХНОсл-и Kivniixu-o irc.11а)Ятгя металл.
И|)сдлагаемое ycTpoiicTiJO уплястгя дальнейшим у(;.«ве1)| еи1 п-;ова |ио г yi-T ioiiiTBa по к. 2 аг,т. CIS. Л 87()71 и имеет целью iioiii.diieiiHi; точности онределения к.оличест1-;а испаряемою мета.лла при на.гре.ве в вакууме. г)т{) дигтшается тем. что икран.011Де11гаТ1;|1 yi-Tiioii TBa librjio.iiuMf HyiToTC.ri.iM ii о.ла 1;дается н; 1дкост1.1) i; что в нем нрнменена выдвижная ivry.u;a. зак;;ь ланлцая ijaoo4yio новерхност, нкрана-кинД|:1гат1;|;а в iipiiiu,, наг|1сва итки-ца и вьгдел(.ия нл него га;И)в.
На схематическом чер1е;ьч ||,1:е.дставлен оощий ви. ycTiiO-йсгва.
На ллите (1) зак-ренлены нустотелыо. охлаждаемые )1 1оточиоГ; в-люи м.пмплюды
(2) и (. н;па;м1ые ит ннзког.лльтноП ofiMiiTiJii т;,ан.1|111;;ма-тора 1, J).
К ;-lЛ i;т| oд; I н;)Д1;одится налряжеине ,iiu.eMiioii 4acToTiii. 11сследуе-м1,п иоразец (п) ла креплен на. млектроде (21 н 4ei)e;i меднуи) нишу (О). служан1,у|о для KOMHi iiiauifii T Miiei;aTyp iiiix нанрял.тни), |-оеднп н с :-1.те;;трпд|1м (о). Интенсивность HarjJO.ia i ii ;i3ua регу.лнруется нрн номои, )1ойстиа, (7) ())еос.тат. автчгрансформаТС.1) 11 .). Ьлпггрол, :;а гемие)атурои нагрева ouiiaana псу|це,.-я нигредстном М11Л,)Л1 тмрт11а IS). соединенного с |;ыгодам11 rfjiMOHapM (9). термисиай (10) i.oTopoi И1)11к)енлен к нc(ipдyeм)мy ,y . ЗОН inK.MiMneHii; н|;1;ана-1; Ч1денсат:)ра ( ), n;i HoBejiXnocTii которщ-ц ириШ.ходит гаукдение нсиа1)яемого металла. г)к))аи-т;(111Д(||сатор (1лнен п виде нусгоделшп Kiubiia H:i кнарца H.IH , ;н1К))Г11л ниог11 на 1нгатнве (2) и охлаждаемо|-о icwiyTiin нроточной , нодводям1п | но HbiaiiriiM (131 и (14) через 1мтуце Л1 (,)).
нределс:чи толщин, о.а.ьден.ищ-о слоя
i iio r:lHiM ri); 1)11 ()
.),(е1;т11ичегког1) соироташленяя ла лонерхност-и :- iviiaiia-i;oHieiHaT(iiia (оПран- мпюй к обргьоцу) и промежутке между ина-рсин))ми li iieni К11. (Jii) ii (17). илгото ЛСННГ.ПГ11, )iaiipHMC), ил нлатил.. Охлаи;дсние :-)Краиа-К1)11Д(нг; гора шооходим для Toifi, чтпоы исключить 1 лия11И( TCMiieiwту|1ы HIM 11||)едел(М1т xaiiaKTepjrcTHi; иеларсшг.ч металла « ()()цегге опыта. К()лт|)(1ль :ta толщил охлаи.дармш на лоJiepxFiocTJi :-)КраИа-колд(М1с:1Т(1ра слоя нглафяющсгоог металла И1)()и:)В(Д11тси посредством )Ител1 Н1)Г: млект1)ичег|;ш 1 схемы (18).
УИО:Р (19), :,а:К1)Сллел 1,и1 г. подставке (20). 11;Г1едот1 ра1цаст деформации оораила в процессе опыта. Зада.тше ))а: ре;келие в ка.ме)е под коллаК.ом (21) со:,дает1я отJ;aчиIsa liиe П(кцуха иакуум-иасосолс мере;; лгруце)) (22) и 1;олтроллру ;тся но акуу,гметру (2;{).
С целью устра иелия и.шя-ния и; менелия остаточного давления в iwiMejie процессе iiariieiia образца и:)-;)а i-a:ii)HbtU;ieния из него применена 1 1 т11-:мжная вту.1ка (24), устанОВ.ненная концентрично с l oм-кoндeнcaт()po и иере е1цаема.я поворотом )1,1нага, (2Г)) нос)едст1;| м c|-i iiки (2(5) и (27), .делствуюл ей )ia палец (28) на втулке.
В л)),ессе нпг)ева ; ai;ii)i),aeT рабочую HOBejixjfOcTi) .-iKjiana-конденсатора, а после установления требуемого режима втулка 1-ме цается п отцллнает i)a6ri4yi(i HOBejiXHOCTb нкран:1-|;))1денсато))а.
ГГ11 е д м с т )г 3 о б р е т с. п м я
1.Устройство Д.1Я опредр,.лия и.нтсиСИ)Ш011П исларения мота;1ло1 11)и )iarp( их в ва.нууме но н. 2 а.вт. с.в. Л 87)71, о т ; -л ч а ю )ц е е с и тем, (), с, целью новьпнения точности оп Кделелия ко.тиче|тва iiiTiaiiKBiiierocM металла. ocenHieio на впутрепII1010 поверхность ;- К11ач а-конде Гсатора, нослед}гиц вы|(ОЛ|Нен нустоте.чым н снабжен двумя 1нтуце)1ам-и д.(я подвод; в его полость и отвода н.. нее ox.ia;iuiaioH(eil
./КНДЬОСТИ.
2.Устро||ство но н. 1. OT,i)i4aioHi; е е с я тем. что, с целью обеспечения перекрытия |) нонерхно1тн мк)анаконде11сат0)а. на время iiarjieiia (нфазца и 1 ыл{ме11ня и:, него Ianoii, iriiiiMeiHHa выдшккная вту.чка. .1ож(ч-111ая концент 1ично нкрану-конденсатору.
2
il
