Способ получения вакуума и устройство для его осуществления Советский патент 1987 года по МПК F04B37/08 

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в криогенных конденсационных форваку- умньк насосах.

Целью изобретения является уменьшение времени достижения предельного вакуума.

Н чертеже изображено устройство для реализации предлагаемого способа получения вакуума.

Устройство для получения вакуума содержит корпус 1 с всасьшающим патрубком 2, размещенный в корпусе 1 со10

НИН газа, а затем охлаждается до температуры насыщения в промежуточном теплообменнике 8, Попадая в откачивающий элемент, газ конденсируется и .стекает в сборник 7 конденсата. Во время откачки конденсат стекает в сборник 7 при температуре насьпце- ния. По мере снижения давления газа в устройстве температура пленки конденсата понижается. Одновременно уменьшается масса конденсата, образующегося в откачивающем элементе. Теплообменник 9 интенсифицирует охлажсуд 3 для хладагента, последовательно 15 дение конденсата в сборнике 7 до тем- расположенные по ходу откачиваемого газа теплообменник 4 предварительного охлаждения газа и откачивающий элемент, выполненный в виде трубчатого теплообменника 5, межтрубное про- 20 странство 6 которого сообщено с сосудом 3, и сборник 7 конденсата, причем устройство дополнительно содержит промежуточный теплообменник 8, установленный между теплообменником 4 пред- 25 варительного охлаждения газа и откачивающим элементом, второй трубчатый теплообменник 9, размещенный в сборнике 7 жидкого конденсата и сообщенный с сосудом 3.трубным пространст- 30 вом 10, и подключенный к последнему и сосуду 3 криогенный насос 11,

Способ получения вакуума осуществляют следующим образом.

Предварительно охлаждают откачи- За ваемый газ в теплообменнике 4, конденсируют его на поверхности откачивающего элемента и собирают конденсат в сборнике 7, причем охлаждают

пературы хладагента в .сосуде 3, снижает испарение газа с поверхности конденсата. В результате уменьшается время достижения предельного вакуума.

Формула ИЗ обретения

1.Способ получения вакуума путем предварительного охлаждения откачиваемого газа в теплообменнике, конденсации его на поверхности откачивающего элемента и сбора конденсата, о тличающийся тем, что, с целью уменьшения времени достижения предельного вакуума, охлаждение откачиваемого газа осуществляют до температуры насыщения, а конденсат охлаждают до температуры хладагента.

2.Устройство для получения вакуума, содержащее корпус с всасьшающим патрубком, размещенный в корпусе сосуд для хладагента, последовательоткачиваемый газ до температуры насы- 40 «« расположенные по ходу откачиваемо;- щения, а конденсат охлаждают до температуры хладагента.

При работе сосуд 3 и межтрубное пространство 6 теплообменника 5 заполняют хладагеАтом, охлаждая откачивающий элемент, а также теплообменник 4 предварительного охлаждения, промежуточный теплообменник 8 и второй трубчатый теплообменник 9. Включают криогенный насос 11,хладагент начинает циркулировать внутри сосуда 3. Температуру хладагента, в сосуде 3 понижают до рабочего значения. Соединяют камеру с форвакуумным насосом (не показан). Газ из камеры поступает во всасывающий патрубок 2 и предварительно охлаждается в теплообменнике 4 предваритеягэного охлаждего газа теплообменник предварительного охлаждения газа и откачивающий элемент, выполненный в виде трубчатого теплообменника, межтрубное про45 странство которого сообщено с сосудом, и сборник конденсата, отличающееся тем, что, с целью уменьшения времени достижения предельного вакуума, устройство допол50 нительно содержит промежуточный теплообменник, установленный между теплообменником предварительного охлаждения газа и откачивающим элементом, второй трубчатый теплообменник, раз55 мещенный в сборнике жидкого конденсата и сообщеншэш с сосудом трубным пространством,и подключенный к последнему и сосуду криогенный насос.

НИН газа, а затем охлаждается до температуры насыщения в промежуточном теплообменнике 8, Попадая в откачивающий элемент, газ конденсируется и .стекает в сборник 7 конденсата. Во время откачки конденсат стекает в сборник 7 при температуре насьпце- ния. По мере снижения давления газа в устройстве температура пленки конденсата понижается. Одновременно уменьшается масса конденсата, образующегося в откачивающем элементе. Теплообменник 9 интенсифицирует охлаждение конденсата в сборнике 7 до тем-

пературы хладагента в .сосуде 3, снижает испарение газа с поверхности конденсата. В результате уменьшается время достижения предельного вакуума.

Формула ИЗ обретения

1.Способ получения вакуума путем предварительного охлаждения откачиваемого газа в теплообменнике, конденсации его на поверхности откачивающего элемента и сбора конденсата, о тличающийся тем, что, с целью уменьшения времени достижения предельного вакуума, охлаждение откачиваемого газа осуществляют до температуры насыщения, а конденсат охлаждают до температуры хладагента.

2.Устройство для получения вакуума, содержащее корпус с всасьшающим патрубком, размещенный в корпусе сосуд для хладагента, последователь«« расположенные по ходу откачиваемо;-

го газа теплообменник предварительного охлаждения газа и откачивающий элемент, выполненный в виде трубчатого теплообменника, межтрубное пространство которого сообщено с сосуом, и сборник конденсата, отличающееся тем, что, с целью уменьшения времени достижения преельного вакуума, устройство дополнительно содержит промежуточный теплообменник, установленный между теплообменником предварительного охлаждения газа и откачивающим элементом, второй трубчатый теплообменник, размещенный в сборнике жидкого конденсата и сообщеншэш с сосудом трубным пространством,и подключенный к последнему и сосуду криогенный насос.

Изобретение м.б. использовано в криогенных конденсационных форвакуумньпк насосах. Цель изобретения - уменьшение времени достижения нредельного вакз ума. Между теплообменником (ТО) 4 предварительного охла;вдения газа и откачивающим элементом установлен промежуточный ТО 8. В сборнике 7 жидкого конденсата размещен второй трубчатый ТО 9, сообщенный с сосудом.3 для хладагента трубным пространством 10. Криогенный насос 1I подключен к пространству 10 и сосуду 3. Предварительно охлаждают откачиваемый газ в ТО 4, а затем до т-ры насьш1ершя в ТО 8, кон- денсирлтет его на поверхности откачивающего элемента и собирают конденсат в сборнике 7, причем конденсат охлаждают до т-ры хладагента в сосуде 3. ТО 9 интенсифицирует охлаждение конденсата и уменьшает испарение газа с поверхности конденсата. 2 с,п. (Ь-льи i ил. о (Л . насосу ХМент1 jfoftffeHCffm 1 Капеао I - ,/i СО со со 00