Установка для определения прочности сцепления покрытия с подложкой Советский патент 1983 года по МПК G01N19/04 

Изобретение относится к испытательной технике, а именно к установкам для определения прочности сцепления покрытия с подложками методом отслаивания.

Известна установка для определения прочности сцепления покрытия с подложкой методом отслаивания, содержащая основание, к еханизм приложения отслаивающей нагрузки и регистрирующее устройство

Недостатком этой установки является невозможность- определения электроадгезионной прочности сцепления токопроводящих покрытий с полупроводниковыми подложками при создании сцепления за счет приложения к ним напряжения электрического поля.

Целью изобретения является обеспечение определения электроадгезионной прочности сцепления токопроводящих покрытий с полупроводни-, ковыми подложками.

Для достижения этой цели установка снабжена установленным на основании электродом для раэмещения на нем подложки и источником напряжения, один выход которого соединен с электродом, а другой предназначен для взаимодействия с покрытием.

, На чертеже изображена схема установки.I

Установка содержит основание 1, механизм приложения отслаивающей нагрузки с .роликом 2, регистрирующее устройство 3, электрод 4, установленг ный на основании 1, и источник 5 электрического напряжения, один выход которого соединен с электродом 4

10 через коммутатор 6, а другой свободным съемным электродом 7 соединен с покр1 тием.

Установка работает следующим образом.

15

На электроде 4 размещают полупроводниковую, подложку 8, на которой устанавливают испытуемое токопроводящее покрытие 9 таким образом, чтобы свободный конец покрытия 9 отгибал,

20 ролик 2 и был закреплен в зажиме 10 регистрирующего устройства 3, а другой был соединен с источником 5 электрического напряжения через электрод 7, К электроду 4 и токопроводямему по25крытию 9 прикладывают напряжение от источника 5 включением коммутатора 6. При этом на границе раздела подложки 8 и покрытия 9 возникает электрическое поле и происходит накопление

30 разноименных зарядов, взаимодействие коюрых и оОуолавливает закрепление и удержание покрытия 9 на подложке 8 После закрепления испытуемого токопроводящего покрытия 9 на полупровод никовой подложке 8 перемещают рол-ик и производят отслаивание покрытия 9 от подложки 8. Сигнал о сопротивлени 1еремещению ролика 2 через зажим 10 поступает на регистрирунядее устройст во 3, которое показывает электроадгезионную прочность токопроводящего покрытия 9 с полупроводниковой подложкой 8 в зависимости от величины приложенного напряжения. Установка позволяет определить прочность сцепления токопроводящих покрытий с полупроводниковыми подлож ками при создании между ними электрического поля за счет .изменения напряжения между электродом и токопроводящим покрытием. Формула изобретения Установка для определения прочности сцепления покрытия с подложкой методом отслаивания, содержащая основание, механизм приложения отслаивающей нагрузки и регистрирующее устройство, ртли чающаяся тем, что, с целью обеспечения определения электр.оадгезионной прочности сцепления токопроводящих покрытий с полупроводйиковымйподложками, она снабжена установленным на основании электродом для размещения на нем подложки и источником напряжения, один выход которого соединен с электродом, а другой предназначен для взаимодействия с покрытием. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР № 634179, кл.. G 01 N 19/04, 1977 (прототип).

/