УСТРОЙСТВО ВВОДА ДВИЖЕНИЯ В КАМЕРУ Российский патент 1994 года по МПК H01J9/00 

Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для передачи сложного движения объекту, находящемуся в герметичном вакуумном объеме, в частности для проведения технологических операций по термообработке, нанесению покрытий, перемещению объекта из одного положения в другое.

Целью изобретения является расширение функциональных возможностей за счет обеспечения тепловых воздействий на образец.

На фиг. 1 показан разрез устройства ввода движения; на фиг. 2 - показано устройство ввода движения, в разрезе.

Устройство ввода движения содержит: фланец 1, герметично присоединенный к фланцу 2 камеры; сильфон 3, герметично соединяющий фланец 1 со стаканом 4. Ведущий магнит 5 установлен коаксиально стакану с возможностью вращения и имеет магнитно-силовую связь с магнитопроводом 6. Магнитопровод 6, жестко соединенный с валом 7, установлен в подшипниках 8 стакана 4, к дну которого закреплен нагреватель 9 с нагревательным элементом 10 и вакуумными электровводами 11. Торец вала 7 снабжен элементами крепления 12 объекта 13. Стакан 4 имеет жесткую связь с верхней кареткой 14 столика 15, который обеспечивает качание объекта 13 в двух взаимно-перпендикулярных направлениях по сфере R, центр качания "О" которой находится в центре поверхности подложки. Механизм 16 осуществляет перемещение объекта 13 по двум взаимно-перпендикулярным направлениям. Все движения кареток столиков 15, 16 и 17 осуществляются по направляющим на шариках винтовыми парами. Например, для движения по вертикали: винт - гайка 18 и 19. Нагреватель 9 может быть выполнен в виде стакана (см. фиг. 2), герметично закрепленного к стакану 4, а нагревательный элемент 10 установлен в полости стакана, связанной с атмосферой. Нагрев объекта 13 осуществляется через дно стакана 9.

Устройство работает следующим образом.

Закрепляется образец 13 с помощью средств крепления 12. Винтовыми парами столиков 15, 16, 17 устанавливают образец относительно аналитических приборов. При проведении технологического процесса роста пленок, крутящий момент ведущего магнита 5 от привода передается за счет магнитно-силовой связи на магнитопровод 6, вал 7 и объект 13, обеспечивая вращение объекта 13 относительно нагревателя 9. Нагрев объекта осуществляется излучением через зазор, пределы которого могут изменяться от 0,2 мм до 10 мм, обеспечивая на полупроводниковой пластине выравнивание температурного поля за счет ее вращения. Зазор 0,2 мм позволит обеспечить максимальный тепловой поток на образец при минимальных потерях тепла, но требует высокой точности стыковки держателя образца с нагревателем и учета коэффициентов линейного расширения материалов для устранения возможности заклинивания держателя образцов с нагревателем.

Зазор 10 мм позволяет обеспечить надежность работы, но увеличивает потери тепла в 2-3 раза, а поэтому требует увеличения мощности нагревателя. (56) Приборы для научных исследований, 1984, N 10, с. 199-151.
Авторское свидетельство СССР N 742658, кл. F 16 K 3/00, 1984.

Сущность изобретения: магнитопровод ввода жестко соединен с валом, установленным в подшипниках стакана, к дну которого прикреплен нагреватель с нагревательным элементом и вакуумными электровводами. Торец вала снабжен элементами крепления объекта. Стакан имеет жесткую связь с верхней кареткой столика, который обеспечивает качание объекта в двух взаимно-перпендикулярных направлениях по сфере, центр качания которой находится в центре поверхности подложки. 1 з. п. ф-лы, 2 ил.

1. УСТРОЙСТВО ВВОДА ДВИЖЕНИЯ В КАМЕРУ, содержащее перевернутый стакан с фланцем для присоединения к камере через сильфон, координатный столик, шаровую опору, размещенную на координатном столике и закрепленную на наружной поверхности стакана, вал с держателем образцов и магнитопроводом, жестко закрепленным на валу, размещенным соосно в стакане, магнит, установленный с возможностью вращения на наружной цилиндрической поверхности стакана, отличающееся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей путем обеспечения тепловых воздействий на образец, вал выполнен полым, внутри него с зазором размещен нагревательный или охладительный элемент, снабженный вакуумными электровводами, закрепленными в стакане, а центр внутреннего среза вала совпадает с центром кривизны шаровой опоры. 2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что в полость вала коаксиально установлена цилиндрическая оболочка, герметично соединенная с дном стакана, а в ее полость введен нагревательный или охладительный элемент.