УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ Российский патент 1994 года по МПК C23C14/00 C23C4/00 

Изобретение относится к экранирующим устройствам и может быть использовано в установках для нанесения резистивных покрытий.

Известно экранирующее устройство [1] для нанесения покрытий на подложку из стекла, включающее лепестковые экраны, связанные с поворотным распределительным кольцом, установленным во вращающихся призматических направляющих и кинематически связанными с приводом.

Недостатками аналога являются сложность конструкции и невозможность снижения и локализации привносимой дефектности в процессе нанесения покрытий, а также низкий уровень производственной экологии, что повышает вероятность профессиональных заболеваний.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к изобретению является экранирующее устройство [2], содержащее лепестковые экраны, связанные с поворотным распределительным кольцом, установленным во вращающихся призматических направляющих и кинематически связанным с приводом. Устройство снабжено кронштейном с эксцентричным пальцем, а лепестковые экраны смонтированы на шарнирно связанных с распределительным кольцом двуплечих рычагах, каждый из которых имеет паз на свободном конце.

Недостатками прототипа являются сложность конструкции и невозможность снижения и локализации привносимой дефектности в процессе нанесения покрытий, а также низкий уровень производственной экологии, что повышает вероятность профессиональных заболеваний.

Цель изобретения - упрощение конструкции устройства при снижении и локализации привносимой дефектности в процессе нанесения покрытий, а также улучшение производственной экологии.

Цель достигается тем, что устройство выполнено в виде электретных экранов, охватывающих систему транспортирования установки с трех сторон - сверху и с боков вдоль всего тракта перемещения подложек.

Введение в устройство электретных экранов, охватывающих систему транспортирования установки с трех сторон, обеспечивает "прилипание" частичек резистивного слоя и загрязнений в процессе нанесения покрытий, что позволяет упростить конструкцию при снижении и локализации привносимой дефектности, а также улучшить производственную экологию, что снижает уровень профессиональных заболеваний.

На фиг. 1 показано устройство, охватывающее систему транспортирования установки вдоль всего тракта перемещения подложек; на фиг. 2 - устройство, вид сверху; на фиг. 3 - устройство в изометрии.

Устройство содержит электретные экраны 1, 2, охватывающие систему 3 транспортирования установки 4 с трех сторон 5, 6, 7 - сверху и с боков вдоль всего тракта 8 перемещения подложек 9.

Устройство работает следующим образом.

При проведении процесса напыления электретные экраны 1, 2 за счет наличия на них поверхностного заряда удерживают и локализуют на внутренней и наружной поверхностях сторон 5, 6, 7 частички резистивного слоя и загрязнений, расположенные на подложках 9.

Применение предлагаемого устройства позволяет упростить конструкцию, снизить и локализовать привносимую дефектность в процессе нанесения покрытий, а также улучшить производственную экологию.

Изобретение относится к экранирующим устройствам и может быть использовано в установках для нанесения резистивных покрытий. Устройство позволяет снижать и локализовать привносимую дефектность в процессе нанесения покрытий за счет отсоса загрязнений электретным экраном, охватывающим систему транспортирования устройства вдоль всего тракта перемещения, при этом не закрывая изделия от потока распыляемого материала. 3 ил.

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ, включающее источники распыляемого материала, транспортер изделий, технологический экран, установленный с возможностью охвата транспортера и выполненный с отверстиями в зонах размещения источников, и средство очистки газовой атмосферы, соединенное с экраном, отличающееся тем, что экран выполнен из электретного материала.