Экранирующее устройство Советский патент 1975 года по МПК C23C13/08 C03C17/06 

1

Изобретение относится к экранирующим устройствам и может быть использовано в установках, предназначепных для нанесения покрытий в вакууме на подложки, например из стекла.

Известно экранирующее устройство в вакуумной установке для нанесения покрытий на подложку из стекла, включающее лепестковые экраны, связанные с поворотным распределительным кольцом, установленным во вращающихся призматических паправляющпх и кинематически связаппым с приводом.

Недостатком известного экранирующего устройства является то, что в нем исключена возможность регулировки внутреннего диаметра, так как при подъеме лепестков между последними образуются щели, и нарушается целостность экрана. Кроме того, при использовании известного устройства значительное количество дорогостоящих испаряемых веществ разлетается в стороны.

Цель изобретения - обеспечить регулирование внутреннего диаметра экранирующего устройства и экономию дорогостоящих испаряемых веществ.

Поставленная цель достигается тем, что предложенное экранирующее устройство, снабжено кронштейном с эксцентричным пальцем, а лепестковые экраны смонтированы на шарнирно связанных с распределительным кольцом двуплечих рычагах, каждый из которых имеет управляющий паз на свободном конце. На фиг. 1 - экранирующее устройство в закрытом состоянии; на фиг. 2 - экранирующее устройство в открытом состоянии; па фиг. 3 - управляющий паз рычага с эксцентричным пальцем; па фиг. 4 - шарнирное креплепие рычага к песущему распределительному кольцу; на фиг. 5 - несущее распределительное кольцо в призматических направляющих. Экранирующее устройство состоит из нескольких равномерно расположенных по окружности лепестков 1, закреплеппых па двуплечих рычагах 2, шарппрпо связанных в

центре с несущим распределительны.м кольцом 3, вращающимся по 11ризматическт м направляющим 1, (июрой которых служит кронпггейп 5, жестко связанный с вакуумно камерой 6. Двуплечие рычаги снабжены управляющим пазом 7, взаимодействующим с пальцем 8, выполненньт в виде эксцентрика для регулирования лепестков при настройке и эксплуатации. Несущее распределительпое кольцо рычагом 9 кинематически связано с прпводом 10. Для ограничения поворота несущего распределительного кольца служит упор 11.

Работает экраппрующее устройство следующим образом. От привода 10 под действпем рычага 9, несущее распределительное кольцо 3 поворачивается в призматических направляющих 4, закрепленных в кронштейнах 5 вакуумной камеры 6. При этом двуплечие рычаги 2 с закрепленными на них лепестками 1 перемещаются горизонтально с несущим кольцом 3 и, скользя управляющим пазом 7, поворачиваются вокруг эксцентрикового пальца 8 до полного открытия экранирующего устройства, которое фиксируется упором 11.

Предмет и 3 о б р е т е п и я

Экранирующее устройство в вакуумных установках для нанесения покрытий на подложку, например, из стекла, включающее лепестковые экраны, связанные с поворотным распределительным кольцом, установленным во вращающихся призматических направляющих

и кипематически связанным с приводом, отличающееся тем, что, с целью регулирования внутреннего диаметра экранирующего устройства и экономии дорогостоящих испаряемых веществ, оно снабжено кронштейном с

эксцентричным пальцем, а лепестковые экраны смонтированы па П1арнирио связанных с распределительным кольцом двуплечих рычагах, каждый из которых имеет паз на свободном конце.

Фиг.