Устройство для нанесения покрытий в вакууме Советский патент 1979 года по МПК C23C13/08 

1

Изобретение относится к электровакуумной промышленности и предназначено для использования его в составе установки для вакуумного напыления тонких пленок с помощью термического испарения вещества в вакууме на дисках (мишенях) стеклянных баллонов ФЭП.

Известно устройство, в котором при тер.мическом испарении вепгества в вакууме испаряемое BentecTBO помен1ают внутрь стеклянного баллона в тигель нз тугоплавкого металла, внутри баллона создают вакуум и с иомощью высокочастотного иидуктора, надетого снаружи на стеклянный баллон, обесиечивают разогрев тигля до температуры интенсивного распылеппя вещества. Вакуум внутри стекляиного баллона нужен для увеличения скорости диффузии атомов напыляемого вещества от испарителя к мишени и предотвращения химического воздействия испаряемого вещества с активными газами.

Экраи, устанавливаемый в процессе напыления внутри стекляиного баллона между тиглем и испаряемым веществом и мишенью, необходим для точной фиксации начала времени напыления и получения более чистого слоя на мищени, так как в начальный момент испарения присходит

отныление первых слоев вещества, уже загрязненного атмосферным воздз ом.

К недостаткам такого устройства относятся сложность конструкции н ее большая металлоемкость.

Из известных техннческих решений наиболее близким к изобретен1 Ю по технической сущности является устройство для нанесения покрытий в вакууме, содер кан1,ее камеру-баллон из пемагннтного матер1 ала с размен1еиными в ней испарителем наносимого вещества и леиестковым экраном с держателем.

Недостаток такого устройства заклгочается в слолсности его конструкции.

Цель изобретения - уирощение конструкции. Это достигается благодаря тому, что ycTpoiicTBO для ианесения иокрытий в вакууме, содержащее камеру-баллон из немагнитиого материала с размещенными в ней испарителем наносимого вещества и лепестковым экраном с держателем, снабжено коаксиально расположенным цилиидрическим экраном, выполненным нз немагнитного материала, а лепестковый экран имеет V-образный фиксатор, одно плечо которого закреплено на верхнем торце цилиндрического экрана, а на другом илече размещена пластина из магнитного материала, 65 На чертеже изображен вертика.чьнып разрез экранирующего устройства в положенин, когда ленеетковын экран закрявает испаритель. Держателем 1 к стек.чянному цнлиитрическому экрану 2, устанавливаемо ;у каждый )аз внутрь камеры-ба,:1лона 3, нри напылении прикрепляется ленесткои1)н экран 4 с помонцоЮ зажима 5. С нротпвоположпой еторопы держателя 1 на предусмотренную на цилиндрическом экране 2 фаску с номощью крючка зацепляется V-образный фиксатор 6 с отогиутым концом, па котором в горизонтальном положепци перед каждым папыленнем устанавливаетея лепестковый экран 4. Д,ля обеспечеппя открываппя .ченссткового экрапа 4 к V-образпому фнксатору () нрпварпвается из магнитиого материала пластппа 7. Экраппруюи1,ее устройство работает следующим образом. Устанавлпвают на свое .место нснар тель 8 с исиаряс.мым вен1еством. Леисстковый экран 4 и У-образпый фиксатор ( зацепляют своими крючка.ми к фаскам, предусмотрепиым на цилипдрическом экраие 2. Лепестковый экран 4 с иомои-ыо V-образноГо фиксатора 6 устанавливаю: в горПзоцтальное иоложеиие, цилиндрический экран 2 устанавливают на место. Камерубаллон 3-, подготовленную для напыления, насаживают на цплнндрический экран 2. Внутрн камеры-баллона 3 обеспечивают с помощью вакуумной системы пеобходимое давление п на нее устанавливают высокочастотный индуктор 9. Высокочастотным индуктором разогревают испаритель 8 до ннтенснвного нспареПИЯ веи1,ества, заложенного в него, и с иомондзЮ магнита 10, установленного нротив нласт11ны 7, оттягивают фиксатор от лепесткового экрана 4. Последний под евои.м собствеииым ьесом па шарнире перемегцается вниз и занимает вертикальиое положение, обеспечивая доступ чистого испаряемого BemejTBa внутри камеры-баллопа 3 па его мин1епь, в задаппый момепт времени. Устройст1ю имеет еледующпе иреимуигества: иростоту конструкции и .малую ее .мета.Кшемкость; удобство сборки п разборки составны.х частей устройства перед каждым наныленнем, которая необходима для чистки дета.лей экранируюп его устройства, с це.лыо ио.лучения па мппгени наибо.lee чистьгх с:1оев, ()ии1. задаппым параметрам; открывание лепесткового экрана но.ч действнем собственного веса випз, обесиечинающес более надежпую работу yc1poiiciBa. Ф о ) м у л а и 3 о б ) с т е и и я Устройство для нанесения иокрытий в вакуу.ме, содержащее камеру-баллои из пемаги1ггио10 .материала с размеи1,еиными в пей испар|ггелем папосимого вепдества и лсиестковым экраиом с держателем, отличающееся тем, что, с целью упрощеппя коиструкции, устройство спабжено коаксиа;1ьио расположепиым цплиидрическим экрапом, выиолиеииым из немагннтиого материала, а .чсиестковый экран снабжен V-образным фиксатором, одно н,1ечо которого закреилеио иа верхнем торце цплнндричеекого экрапа, а на другом нлече разMCHiena иластииа пз магннтного материала.