ДАТЧИК ТЕМПЕРАТУРЫ Российский патент 1995 года по МПК G01K7/22 

Описание патента на изобретение RU2034247C1

Изобретение относится к области термометрии и может быть использовано для низкотемпературных измерений.

Известны датчики температуры, содержащие чувствительные элементы (ЧЭ) из нитевидного кристалла GaAs, к которому подсоединены электрические выводы, установленные в цилиндрическом корпусе или на пленочном основании [1]
Контакт ЧЭ с поверхностью объекта и теплообмен между ними осуществляются, как правило, через корпус и слой наполнителя.

Недостатками известных датчиков являются низкая надежность из-за отсутствия герметизации ЧЭ, а также невозможность измерения тепловых потоков.

Наиболее близким к предлагаемому изобретению по технической сущности и достигаемому результату является датчик температуры, содержащий ЧЭ из нитевидного монокристалла GaAs с электрическими выводами, выполненными из двух проводников разного поперечного сечения, и наполнитель, размещенные в полости герметизированного металлического корпуса [2] В качестве теплообменной среды (наполнителя) в устройстве используется газообразный гелий.

Недостатками этого температурного датчика являются ограниченные функциональные возможности, а также высокая инерционность.

Цель изобретения расширение функциональных возможностей датчика за счет обеспечения измерения лучистых тепловых потоков при одновременном снижении инерционности и повышении надежности в условиях вибрации.

Для этого в известном датчике температуры одна из граней нитевидного монокристалла покрыта графитом, его электрические выводы закреплены на стенках корпуса, выполненного из монокристаллического корунда, по длине проводников большего поперечного сечения, а в качестве наполнителя использован порошок Аl2О3.

Благодаря высокой теплопроводности монокристаллического корунда при низких температурах (его коэффициент теплопроводности при Т=30-40оК достигает 6000 Вт/м˙ К, при 77оК-1300 Вт/м˙ К, а также использованию в качестве теплообменной среды порошка Аl2О3 улучшаются тепловые характеристики датчика повышается быстродействие.

Прикрепление электрических выводов ЧЭ к корпусу, а также высокая прочность последнего повышают надежность устройства в условиях вибрации.

Покрытие тепловоспринимающей поверхности ЧЭ графитом, а также высокая оптическая прозрачность монокристаллического корунда позволяют использовать данный датчик в качестве микроболометра для измерения лучистых тепловых потоков в полосе пропускания корунда (0,145-6 мкм).

На чертеже представлена схема датчика температуры.

На чертеже показаны чувствительный элемент (ЧЭ) 1, графитовое покрытие 2, золотые электрические выводы 3, медные электрические выводы 4, корпус 5 из монокристаллического корунда, отверстие 6 с наполнителем 4 и эпоксидный компаунд 7.

Датчик температуры содержит ЧЭ1 из нитевидного монокристалла GaAs, который посредством электрических выводов 3 и 4 подсоединяют к измерительному прибору. ЧЭ установлен в отверстии 6 корпуса 5 вблизи дна, засыпан наполнителем (порошок Аl2О3) и загерметизирован компаундом 7.

Датчик изготавливается следующим образом.

К ЧЭ 1 посредством сварки подсоединяют электрические выводы 3 из золотого микропровода ⊘ 30 мкм, к которым затем также с помощью сварки подсоединяют выводы 4 из медного провода в лаковой изоляции ⊘ 0,1 и 0,05 мм. Одну из граней нитевидного монокристалла покрывают слоем диэлектрического графитового порошка на клеевой основе. ЧЭ 1 вместе с электрическими выводами 3 и 4 располагают в отверстии 6 корундового корпуса 5. Проводник 4 большего диаметра прикрепляют к стенке отверстия 6 посредством клея. После этого производят засыпку отверстия 6 порошком Аl2О3 с размером зерна 3-5 мкм. Корпус 5 изготавливают из монокристалла корунда в форме параллелепипеда с размерами 2,0х1,0х0,7 мм. Отверстие 6 в корпусе 5 высверливают ⊘ 0,3 мм. Герметизирующий компаунд 7 содержит эпоксидную смолу "ЭДП" с 30%-ной добавкой Аl2О3.

Для измерения температуры предварительно проградуированный датчик (измерена зависимость R/T) устанавливается на исследуемой поверхности или в объеме. При измерении лучистых тепловых потоков датчик градуируют как болометр (в В/Вт), при этом излучение должно падать перпендикулярно зачерненной поверхности ЧЭ1, покрытой графитовым слоем.

Показатель тепловой инерции датчика не превышает 1 мс.

Похожие патенты RU2034247C1

название год авторы номер документа
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО SiC 2014
  • Авров Дмитрий Дмитриевич
  • Лебедев Андрей Олегович
  • Таиров Юрий Михайлович
RU2557597C1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО SiC 2016
  • Лебедев Андрей Олегович
  • Авров Дмитрий Дмитриевич
  • Таиров Юрий Михайлович
  • Лучинин Виктор Викторович
RU2633909C1
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПОЛЯРНЫХ ГРАНЕЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СОЕДИНЕНИЙ 1994
  • Денисов В.М.
  • Овчинникова Т.Ю.
  • Бахвалов С.Г.
RU2105286C1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО SiC 2017
  • Авров Дмитрий Дмитриевич
  • Быков Юрий Олегович
  • Гладкий Сергей Витальевич
  • Лебедев Андрей Олегович
  • Таиров Юрий Михайлович
RU2671349C1
ТРЕХФАЗНЫЙ ГРАФИТОВЫЙ ТРУБЧАТЫЙ НАГРЕВАТЕЛЬ 2008
  • Синельников Борис Михайлович
  • Лопатин Алексей Александрович
  • Шипилов Владимир Михайлович
  • Никульников Алексей Иванович
RU2383108C1
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО SiC 2016
  • Авров Дмитрий Дмитриевич
  • Лебедев Андрей Олегович
  • Таиров Юрий Михайлович
  • Фадеев Алексей Юрьевич
RU2621767C1
Способ анализа газов 1980
  • Вечер Алим Александрович
  • Гришин Василий Козьмич
  • Шуваев Леонид Егорович
  • Юхневич Анатолий Викторович
SU930092A1
ДАТЧИК МИКРОКАЛОРИМЕТРА И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ 1985
  • Иванов Г.А.
  • Дивин Н.П.
SU1382138A1
Способ получения монокристаллического SiC 2023
  • Авров Дмитрий Дмитриевич
  • Андреева Наталья Владимировна
  • Быков Юрий Олегович
  • Латникова Наталья Михайловна
  • Лебедев Андрей Олегович
RU2811353C1
Устройство для измерения температуры 1990
  • Воронин Валерий Александрович
  • Красноженов Евгений Павлович
  • Байцар Роман Иванович
  • Радионов Аркадий Васильевич
  • Жирков Александр Николаевич
  • Маковский Николай Людвигович
SU1747944A1

Иллюстрации к изобретению RU 2 034 247 C1

Реферат патента 1995 года ДАТЧИК ТЕМПЕРАТУРЫ

Использование: изобретение используется при измерении низких температур в условиях повышенной вибрации и лучистых тепловых потоков. Сущность изобретения: в полости герметизированного корпуса размещены чувствительный элемент (ЧЭ) из нитевидного монокристалла GaAs э электрическими выводами и наполнитель из порошка Al2O3. Корпус выполнен из монокристаллического корунда, одна из граней нитевидного кристалла покрыта графитом. Электрические выводы, каждый из которых выполнен из двух проводников разного поперечного сечения, закреплены на стенках корпуса по длине проводника большего сечения. Датчик может быть использован в качестве микроболометра. 1 ил.

Формула изобретения RU 2 034 247 C1

ДАТЧИК ТЕМПЕРАТУРЫ, содержащий чувствительный элемент из нитевидного монокристалла GaAs с электрическими выводами, каждый из которых выполнен из двух проводников разного поперечного сечения, и наполнитель, размещенные в полости герметизированного корпуса, отличающийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей датчика путем обеспечения измерения лучистых тепловых потоков при одновременном снижении инерционности и повышении надежности в условиях вибрации, одна из граней нитевидного монокристалла покрыта графитом, его электрические выводы закреплены на стенках корпуса, выполненного из монокристаллического корунда, по длине проводников большего поперечного сечения, а в качестве наполнителя использован порошок A12O3.

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 1995 года RU2034247C1

Аппарат для очищения воды при помощи химических реактивов 1917
  • Гордон И.Д.
SU2A1
Вепшек Я
Измерение низких температур электрическими методами
М.: Энергия, 1980, с.211-213.

RU 2 034 247 C1

Авторы

Варшава С.С.

Пелех Л.Н.

Чекаев А.М.

Щербай К.С.

Даты

1995-04-30Публикация

1991-02-20Подача